Устройство для химического травления

Устройство для химического травления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Использование: изготовление тонкопленочных микросборок. Сущность изобретения заключается в том, что заготовку 8 устанавливают на упоры 7 гнезда 4 и закрывают камеру 1. По напорной магистрали 2 в камеру 1 подают рабочий раствор, при этом в полости 3 создают избыточное давление раствора, который плоским круговым потоком , сформированным отражателем 6 и дистанционными втулками 5, заполняет камеру 1. Поток рабочего раствора, имея большую скорость движения, захватывает молекулы воздуха, находящиеся под нижним торцом заготовки 8, что приводит к разрежению и фиксации заготовки 8 к упорам 7 гнезда 4. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК,. SU, 1773947A1 (5!)5 С 23 F 1/08, С 25 0 17/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, ::;.:м

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4810760/26 (22) 06.04.90 (46) 07.11.92. Бюл. М 41 (71) Особое конструкторское бюро радиомашиностроения "Титан" (72) В.А.Головня, А.Д.Кушлак и Д.И.Лившиц (56) 1. Авторское свидетельство СССР

N 425991, кл. С 23 F 1/08. 1971, 2. Авторское свидетельство СССР

М 1100659, кл. С 25 0 17/06, 1981. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО

ТРАВЛЕНИЯ (57) Использование: изготовление тонкопленочных микросборок. Сущность изобретения заключается в том, что заготовку 8 устанавливают на упоры 7 гнезда 4 и закрывают камеру 1. По напорной магистрали 2 в камеру 1 подают рабочий раствор, при этом в полости 3 создают избыточное давление раствора, который плоским круговым потоком, сформированным отражателем 6 и дистанционными втулками 5, заполняет камеру 1. Поток рабочего раствора, имея большую скорость движения, захватывает молекулы воздуха, находящиеся под нижним торцом заготовки 8, что приводит к разрежению и фиксации заготовки 8 к упорам 7 гнезда 4. 2 ил.

1773947

Изобретение относится к технологическому оборудованию микроэлектроники для изготовления плат тонкопленочных микросборок и может быть использовано в технологических блоках установок для травления пленочных слоев и структур.

Известно устройство для одностороннего травления плоских изделий (1), содержащее ванну с расположенной внутри нее пластиной для подачи травителя, держатель изделия и нагнетатель в виде сильфона с приводом.

К недостаткам известного устройства относятся сложность конструкции, возможность засорения отверстий пластин для подачи травителя веществами, выделяемыми в процессе травления.

Наиболее близким к изобретению является устройство для химического травления (2), содержащее съемный фиксатор пластин в гнездах зубчатых колес, выполненный в виде втулки с фланцем, установленный с возмо>кностыо перекрытия среднего диаметра зубчатых колес, в котором выполнены отверстия для перемещения рабочей жидкости, кроме того, устройство снабжено магнитами, герметично установленными в теле кассеты и на приводе один напротив другого.

Недостатки известного устройства: не обеспечивается качество травления, в связи с контактом пластин с фиксатором и гнездом зубчатьix колес во время работы устройства; возмо>кность травления пластин только круглой формы определенного типоразмера.

Цель изобретения — повышение качества травления пленочных слоев и структур.

Цель достигается тем, что в устройстве для химического травления, содержащем цилиндрическую камеру с гнездом для заготовки и систему подачи рабочего раствора с напорной магистралью, гнездо для заготовки выполнено в виде полого цилиндрического выступа с упорами и отражателями в виде диска, установленными на торце выступа, при этом полость в выступе выполнена в форме усеченного конуса с большим основанием у торца выступа, а меньшим основанием полость соединена с напорной магистралью системы подачи рабочего раствора.

Сопоставление с прототипом показывает, что предлагаемое устройство отличается тем, что гнездо для заготовки выполнено в виде полого цилиндрического выступа с упорами и отражателями в виде диска, установленными на торце выступа, при этом по лость в выступе выполнена в форме.

55 усеченного конуса с большим основанием у торца выступа, а меньшим основанием полость соединена с напорной магистралью системы подачи рабочего раствора, Таким образом, заявляемое техническое решение соответствует признаку новизны, Известны технические решения, которые содержат отдельные отличительные признаки предлагаемого устройства для химического травления. Однако свойства этих технических решений не совпадают со свойствами предлагаемого технического решения, обусловленными наличием отличительных признаков, т.е. совокупность отличительных признаков в предлагаемом техническом решении создает новое свойство. Поэтому предлагаемое устройство соответствует признаку существенных отличий.

На фиг,1 изображена камера для травления; на фиг.2 — разрез А — А на фиг.1.

Устройство для химического травления содержит цилиндрическую разъемную камеру 1. соединенную напорной магистралью 2 с системой подачи рабочего раствора. Соосно полости 3 на верхнем торце гнезда 4, выполненного s виде цилиндрического выступа, с помощью дистанционных втулок 5 закреплен отражатель 6, а по периферии верхнего торца гнезда размещены цилиндрические упоры 7, на. которых устанавливают заготовку 8.

Устройство работает следующим образом.

Заготовку 8 устанавливают на упоры 7 гнезда 4 и закрывают камеру 1. По напорной магистрали 2 в камеру I системой подачи рабочего раствора подается раствор для травления. В полости 3 создается избыточное давление раствора, который плоским круговым потоком, сформированным отражателем 6 и дистанционными втулками 5, заполняет камеру 1.

Истекающий поток раствора, имея большую скорость движения, захватывает молекулы воздуха, находящиеся под нижним торцом заготовки 8, что приводит к возникновению разрежения. Заготовка 8 прижимается к упорам 7 гнезда 4.

Формула изобретения

Устройство для химического травления, содержащее цилиндрическую камеру с гнездом для заготовки и систему подачи рабочего раствора с напорной магистралью, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества травления, гнездо для заготовки выполнено в виде полого цилиндрического выступа с упорами и отражателем в виде диска, установленными на торце вы1773947

Составитель А. Кушлак

Техред М.Моргентал Корректор А. Козориз

Редактор

Заказ 3908 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r, Ужгород, ул.Гагарина. 101 ступа, при этом полость в выступе выполнена в форме усеченного конуса с большим основанием у торца выступа, а меньшим основанием полость соединена с напорной магистралью системы подачи рабочего раствора.