Устройство для изготовления пленочных схем
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
l7749l
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства T¹
Заявлено 01.11.1965 (№ 941302/26-9) Кл. 213(, 75 с присоединением заявки ¹
Приор iтeт.(((ПК Н Оlп
УД К 621.3.049.75.002.2 (088.8) Комитет по делам изобретеиий и открытий при Совете Министров
СССР
Опубликовано 18.Х11.1965. Бюллетень № 1
Дата опубликования описания 8.11.1966
Авторы изобретения
А. П. Румянцев и Ф. А. Коледа
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ СХЕМ
Известны устройства для изготовления пленочных схем, содержащие вакуумную камеру, снабженную испарителями наносимых иа подложку материалов, подвижные кассеты. слу?кящие для крепления подложек и масок, iiaгревятель подложек и ВВсденнь(й В Вакуум ну(0 камеру микроскоп. Зти устройства ие обеспечивают требуемого качества изготавливаемых пленочных схем.
Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что кассеты установлены на двух призмах, размещенных параллельно одна другой, кассеты дл я подло>кек выпол испы в виде профильной пластины, имеющей вырезы и снабженной плоскими пру>кипами, служащими для фиксации поло кения подложек, и контрольньlми Отметками для Определения пОложения подло>кек относительно масок, кассета Для мЯсок спЯбжена уГ1ругими зажихlами для кре((леиия вдоль одного из их торцов»асок, выполненных из упругого материала и снабженных контрольными отметками. Под масками установлена прижимная подпружиненная рамка и поворотный вал с двумя плоскими пружинами, опирающимися иа рамку.
Эта особенность повышает точность работы устройства и улучшает качество изготавливаемых схем.
На фиг. 1 изобра>кено предлагаемое устройство, поперечный разрез в рабочей плоскости; на фиг. 2 — кассета для подложек; на фиг. 3 — кассета для x(aco(ия фиг. 4 — подпружиненная рамка с поворотным валом.
Цилиндри (ескяя ва! уухii!aя (амера 1 снабжена патрубком 2 для присоединения се к дп(1>фузионному !(всосу 8, смотровым люком 4 микроскопом 3, (10.11:,a ii((1 6, пo 1 Оторым
1 (i III(1 BIOT ll a;1êðåï Iii(OT I Op06i(BTblli каркас 7, иесущ!ш размещенные параллельно
10 одна другой направляющие призмы 8 и 9. По направляющим призмам 8 и 9 при помощи ходовых винтов 10 и 11 могут перемещаться каретки 12 и 18. На каретке 12 закреплена легкосъемна я .яссстя 11 с (масками 1, >, 3 113 1 я15 ретке 18 — легкосъемиая кассста 16 с подa0>(I Ii 2l х! 1! 1 7. Ка с«c Tа 11 д;I я а(3 cО(16 cil3 á>KL
IIB уllp j(их(и зажи»ами 18 g:lil крепления ВинT3>(II 19 ра(св масок 1, >, Оторыс име(от (10HTрольные отметки 20.
20 Кассета 16 с подложками 17 выполнена в виде профильной пластины 21 с вырезами 22 по форме подложек, плоскими пружинами 28, слу?!.Ящими дл(1 фикс (U(l(I положения ИОдлОжеl, и коитpОльным(! Отхlетк3ми 21 для опре25 деления положения подложек относительно масок 15
Над кассетой 16 расположен регулируемый нагреватель 25 для подогрева подложек 17, а в нижней части — испяритель 26 наносимых
30 иа II0 .10>(iKA iAIBTcp(!Я,ПОВ.
177491
Под масками 15 на каркасе 7 закреплен патрубок 27, служащий для ограничения молекулярных пучков, поступающих из испарителя 26. На верхнем обрезе патрубка 27 под масками 15 установлена прижимная подпружиненная рамка 28, связанная указанными пружинами с каркасом 7, и поворотный вал 29 с двумя плоскими пру кипами 80, опирающимися на рамку 28.
При повороте вала 29 против часовой стрелки пружины 80 приподнимут рамку 28, которая при этом плотно прижмет находягцуюся над ней маску 15 к нижней поверхности кассеты 1б и подложки 17. Совмещение контрольной отметки 20 одной из масок 15 с контрольной отметкой 24 соответствующей подложки 17 производится с высокой точностью с помощью микроскопа 5 посредством перемещения кареток 12 и 18 ходовыми винтами 10 и 11.
Предмет изобретения
Устройство для изготовления пленочных схем, содержащее вакуумную камеру, снабженную испарителями наносимых на подложку материалов, подвижные кассеты, служащие для крепления подложек и масок, нагреватель подложек и введенный в вакуумную камеру микроскоп, отличаюи1ееся тем, что, с целью повышения точности работы устройства и улучшения качества изготавливаемых схем, кассеты установлены на двух призмах, разме10 щенных параллельно одна другой, кассеты для подложек выполнены в виде профильной пластины, снабженной вырезами и плоскими пружинами, служащими для фиксации положения подложек, и контрольными отметками для определения положения подложек относительно масок, кассета для масок снабжена упругими зажимами для крепления вдоль одного из их торцов масок, 2О .выполненных из упругого материала и снаб женных контрольными отметками, а под масками установлена прижимная подпружиненная рамка и поворотный вал с двумя пло25 скими пружинами, опирающимися на рамку
177491
Составитель Г. Фридолин
Редактор В. Ф. Чулкова Техред Т. П. Курилко Корректоры: Т. Н. Костикова и Т. В. Муллина
Заказ 8!1 Тираж 1100 Формат бум. 60;к,90 /а Объем 0,27 изд. л. Подписное
ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д, 4.
Типография, пр. Сапунова, д. 2.