Способ изготовления системы дискретных
Патент 177557
Авторы
Классы МПК
Способ изготовления системы дискретных
Иллюстрации
Реферат
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства ч
Заявлено 19.IX.1964 (№ 921330/26-25) 2I o., 11о> с присоединением заявки №
Приоритет
МПК Н 01 l
Н Oll
УДК 539.234;621.315.592 (088.8) Комитет ло делам изобретений и открытий лри Совете Министров
СССР
Опубликовано 18.XI I.1965, Еполлетень ¹ 1
Дата опубликования описания 5.II.1966
Авторы изобретения Э. И. Адирович, В. М. Рубинов, Ю. М. Юабов, П. К. Ощепков, Л. М. Дун, Н. И. Сиприкова и M. К. Рождественская
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СИСТЕМЫ ДИСКРЕТНЫХ
ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
С ВЪ|СОКОЙ РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТЬЮ
Предмет изобретения
Известен способ изготовления системы дискретных фоточувствительных пленочных элементов на стеклометаллической пластине, напылением полупроводника в вакууме через маску, отверстия которой совпадают с электродами пластины.
Предлагаемый способ позволяет изготовить дискретные системы фоточувствительных пленочных элементов с высокой разрешающей способностью, не прибегая к технике масок.
Для этого на одну из поверхностей стеклометаллической пластины катоднhlì распылением наносят слой платины, затем пластину со стороны платины травят в коваровом травптеле.
Процесс травления длится 10 — 20 лик в зависимости от размеров электродов и требуемой глубины ячеек. Слой платины па стекле не стравливается.
Фоточувствительная пленка с аномально большим фотонанря?кением (афи-пленка) наносится на поверхность подготовленной стеклометаллической пластины испарением в вакууме, причем ось молекулярного пучка составляет с нормалью к поверхности острый угол. При этом участки фотослоя, ле?кащие на поверхности пластины, закорачиваются платиновым слоем, а на боковых поверхностях каждой ячейки образуется дискретный фоточувствительный элемент.
Прн пспользовгншп в качестве фоточувствительного слоя полупрогоднпковой пленки с аномально большим фотоняпряженнем при освещешш полученной системы генерируется эле1 .Тр1п".LcKoc напр я?кение ме?кд ка?Кдым Выводом элементарной ячейки н общим платиновым электродом.
Способ может найти применение в схемах микроэлектроники прн разработке преобразователей распределенных радиационных потоков в электрический потенцпальшш рельеф н устройств электрографпп.
Способ изготовления системы дискретных фоточувстьнтелгп ы.; пленочных элементов с высокой разрешающей способностью на стеклометаллической пластине с анпзотропной элсктропроводностью, or iuva>ou ui тем, что, с целью упрощения ее изготовления, на поверхность стеклометяллпческои пластины ня пыляют слой пlBTllltbI, затем пластину со стороны платины травят в коьаровом травнтеле, после чего наносят испарением в вакууме фоточувствительную пленку молекулярным пучк о и, н а и 1? я в л е н н г л и lI o Q $ l l o 3 1 5 1 е 11 b lll p 9 0 поверхности напь1ле1 ия.
Редактор И. Г. Карпас
Составитель О. Б. Федюкина
Текред T. П. Курилко Корректоры: Е. Д. Курдюмова и В. П. Федулова
Заказ 11/12 Тираж 1475 Формат бум, 60 90 18 Объем 0,07 изд. л. Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, д. 2