Патент ссср 178495

Патент ссср 178495

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Х АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

l78495

Сом Советскик

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 19.X 1.1964 (№ 929780i25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 22.1.1966. Бюллетень ¹ 3

Дата опубликования описания 2.111.1966

Кл. 42Ь, 12ез

МПК G 01Ь

УДК 531.717.55:621., 357.76 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изооретения

Я. И. Спиваков и В. В. Пузан

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ХИМИЧЕСКИХ

ПОКРЫТИЙ В ПРОЦЕССЕ ОСАЖДЕНИЯ

Известны устройства для контроля толщины химических покрытий в процессе осаждения по изменению сопротивления эталонной проволоки, находящейся в ванне вместе с обрабатываемыми деталями. Они содержат датчик, в котором установлена неизолированная эталонная проволока, включенная в мостовую измерительную схему, в измерительном стрелочном приборе которой помещено фотореле для сигнализации заданного положения стрелки прибора.

Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что для уменьшения погрешностей измерений путем температурной компенсации в датчике установлена включенная в мостовую измерительную схему покрытая изоляцией компенсационная проволока тех же размеров и из того же материала, что и эталонная проволока.

На фиг. 1 представлена конструкция датчика; на фиг. 2 — мостовая измерительная схема.

Устройство содержит датчик, в корпусе 1, которого находятся неизолированная эталон-, ная проволока 2 и покрытая изоляцией ком-, пенсационная проволока 8, измерительный стрелочный прибор 4 и мостовую измерительную схему, в которую включены проволоки 2 и 3, прибор 4, потенциометры 5, б и 7 и сопротивления 8, 9, 10, 11 и 12.

Для сигнализации о положении стрелки прибора и, следовательно, о заданной толщине покрытия вблизи нуля шкалы прибора установлено фотореле (не показано) .

5 Зталонная и компенсационная проволоки имеют одинаковые размеры, выполнены нз того же материала, что и обрабатываемые детали, и соединены кабелем с мостовой измерительной схемой.

10 Устройство работает следующим образом.

Перед началом работы потенциометром 7 устанавливают входное напряжение питания измерительной схемы, соотвествующее данному виду покрытия. Затем разрывают цепь по15 тенциометра 5 и потенцнометром б устанавливают баланс моста, после чего при помощи потенциометра 5 по шкале прибора, отградунрованной в микронах, ставят стрелку прибора в положение, соответствующее заданной тол20 щине покрытия, т. е. устанавливают разбаланс моста, соответствующий заданной толщине покрытия. Потом датчик с проволоками

2 и 8 помещают в ванну для химического покрытия деталей и проволоки 2. По мере уве25 личения покрытия на проволоке 2 сопротивление последней изменяется, вследствие чего разбаланс моста уменьшается и стрелка прибора приближается к нулю шкалы. Когда толщина покрытия достигает заданного зна30 чения, наступает разбаланс моста, стрелка l 78495

Предмет изобретения

Фиа 2

Фиг. 1

Составитель В. )Кук

Редактор Л. М. Жаворонкова Техред А. А. Камышникова 1(орректоры: О. Б. Тюрина и Е. Д. Курдюмова

Заказ 411/9 Тираж 1050 Формат бум. 60;(90 /а Объем 0,21 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, д. 2 прибора устанавливается на нуле шкалы и включает фотореле, которое автоматически подает сигнал о том, что толгцина покрытия достигла заданного значения.

Температурная компенсация погрешностей измерений осуществляется вследствие того, что проволоки 2 и 8 имеют одинаковое сопротивление до начала процесса осаждения и одинаковую температуру в процессе осаждения, причем сопротивление проволоки 8, защищенной изоляцией, не изменяется в процессе осаждения покрытия на проволоке 2. Это приводит к тому, что изменение величины разбаланса мостовой схемы в процессе осаждения не зависит от температуры проволоки 2 и определяется только сопротивлением покрытия проволоки 2, соответствующим толщине покрытия.

Устройство для контроля толщины химических покрытий в процессе осаждения по изме5 нению сопротивления эталонной проволоки, находящейся в ванне вместе с обрабатываемыми деталями, содержащее датчик, в котором установлена неизолированная эталонная проволока, включенная в мостовую измери10 тельную схему, в измерительном стрелочном приборе которой установлено фотореле для сигнализации заданного положения стрелки прибора, отличающееся тем, что, с целью уменьшения погрешностей измерений путем

15 температурной компенсации, в датчике установлена включенная в мостовую измерительную схему покрытая изоляцией компенсационная проволока тех же размеров и из того же материала, что и эталонная проволока,