Способ изготовления мишеней для установок вакуумного распыления

Способ изготовления мишеней для установок вакуумного распыления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Сущность способа: смешивают порошки керамических материалов и алюминия, прессование и спекание заготовки при температуре 680 ± 20°С в кислородсодержащей среде.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

<51)5 В 22 F 3/12

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) /

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4875643/02 (22) 20,08.90 (46) 15.01.93. Бюп. N 2 (71) Ровенский государственный педагогический институт им. Д.З.Мануильского (72) О.Б.Пастошук (56) Заявка Великобритании !ч 1554856, кл.

C7F, 1978, Авторское свидетельство СССР

N 834246, кл. С 23 С 15/00, 1981.

-Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к способам изготовления мишеней, преимущестьенно керамических, для установок вакуумного распыления.

Известны способы изготовления керамических мишеней, согласно которым измельченный материал мишени перемешивают, прессуют в пресс-формах и обжигают с различным чередованием этих операций.

Недостатком этих способов является то, что в изготовленных мишенях возникают термические напряжения в процессе распыления, что приводит к растрескиванию мишени, Эффективное охлаждение мишени по всей толщине невозможно из-за глохой теплопро водности, обусловленной. пористо-стью мишени.

Целью изобретения является повышение термостойкости мишени путем добавки в шихту порошка алюминия и проведения спекания при температуре 680 + 20 С.

Пример. Порошок чистого алюминия смешивают с исходным инертным наполни„„5U „1787685 A l (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КЕРАМИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ ДЛЯ УСТАНОВОК ВАКУУМНОГО РАСПЫЛЕНИЯ (57) Сущность способа: смешивают порошки керамических материалов и алюминия, прессование и спекание заготовки при тем пературе 680 4-20 С в кислородсодержэщей среде. телем (AIN, SI3N<, BN, А!20з и др.) Процесс спекания заготовки осуществляют в атмосфере кислорода или смеси кислорода с инертным газом при температуре

680+ 20 С.

Таким образом предложенный способ обеспечивает получение керамических мишеней малой пористости, что повышает теппопроводность и уменьшает чувствительность мишени к термическим нагрузкам, возникающим в процессе неравномерного прогрева при распылении, Это увеличивает срок службы мишеней и повышает надежйость процесса распыления.

Ф ормула изобретения

Способ изготовления керамических мишеней дпя установок вакуумного распыления, включающий смешивание порошков, прессовэние и спекание, о т и и ч а ю щ и йс я reM, что, с целью повышения термостойкости мишени, при смешивании в шихту добавляют порошок алюминия, а спекание ведут в кислородсодержащей среде при

680 + 20 С.