Способ выделения хлорсиланов из их газовой смеси с водородом и установка для его осуществления

Способ выделения хлорсиланов из их газовой смеси с водородом и установка для его осуществления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 С 01 В 33/08

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

BE OMCTBO СССР (ГО ПАТЕНТ СССР) ОЛИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ е в в-а б>.

:..„-" -иьг- -ы ед аяы 4

О (АЭ

К гйВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4912303/26 (22) 19.02,91 (46);30,01,93. Бюл. № 4 (71) Запорожский титано-магниевый комбинат

1 (72)(.Б.Беликов, Н.В.Лейбенсон, А,И.Семенов И.А.Тищенко, С,К,Тютюнник, Л,Я.Шварцма1н, М.М.Павловский и П.А.Данов (56),Патент ФРГ ¹ 1667444, кл. 01 В 33/08, 1970. (54) СПОСОБ ВЫДЕЛЕНИЯ ХЛОРСИЛАНО ИЗ ИХ ГАЗОВОЙ СМЕСИ С ВОДОРОДОМ И УСТАНОВКА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕ ТВЛ ЕНИЯ (57) Использование: регенерация отработан ых в процессе получения кремния газо изобретение относится к металлургии полупроводникового кремния, а именно — к ! спо1обаы выделения хлорсиланов из отработанной парогазовой смеси. Способ также мож т п рименяться в химической и электронной промышленности для очистки отходящих газов.

Наиболее близким по технической сущност и достигаемому результату является способ выделения хлорсиланов из их газовой меси с водородом, путем конденсации части хлорсиланов в диапазоне температур

0 — (-15) С, абсорбции хлорсиланов жидким абсорбентом и последующей десорбции хлорссиланов, В качестве абсорбента используется жидкость, темйература кипения которой равна 110 — 250 С, Это могут быть ароматизированный бензин с высо-! ким содержанием ксилола, триметилбенI

Я2„„1791380 А1 вых смесей, очистка газов. Сущность изобретения; газовую смесь хлорсиланов с водородом охлаждают до температуры конденсации хлорсиланов, конденсат отделяют, газовую фазу направляют на абсорбцию хлорсиланов, затем газовую фазу вновь охлаждают до -20 — 80"С, отделяют конденсат, газовую фазу направляют на абсорбцию xllopcM/lBH08 при -80 — -100 С и отделенный водород направляют на стадии охлаждения для рекуперации, в качестве абсорбента используют конденсат хлорсиланов. Установка содержит соединенные последовательно конденсатор. абсорбер, каплеотделитель, конденсатор. рециркуляционный адсорбер, каплеотбойник, 2 с.п. ф-лы, 1 ил., 2 табл. зола, тетраметилбензола, хлороксисиланы и их смеси, Известный способ не позволяет достичь достаточно высокой степени извлечения хлорсиланов. Экспериментально установлено, что при охлаждении газовой смеси до температуры — 10 С конденсируется только

45-50% хлорсилановой фракции. Последующая абсорбция хлорсиланов жидким абсорбентом позволяет повысить степень извлечения до 92%, при этом в газовой смеси остается 0.4 об.% хлорсиланов, Дальнейшее снижение содержания хлорсиланов в газовой смеси с использованием известных абсорбентов нерентабельно вследствие резкого увеличения объемов абсорбционной жидкости и загрязнения хлорсиланов примесями. содержащимися в абсорбенте, 1791380

40

55

Кроме того, недостатком известного способа является его дороговизна. Объясняется это высокой материало- и энергоемкостью процесса, обусловленными необходимостью последующего выделения хлорсиланов из абсорбента ректификационным методом.

Установка для выделения хлорсиланов из их газовой смеси с водородом, реализующая этот способ содержит многополостной конденсатор, абсорбер, каплеотделитель и узел регенерации абсорбента.

Известная установка не позволяет достичь достаточно высоких степеней извлечения хлорсиланов из газовой смеси. Максимальная степень извлечения хлорсиланов с использованием данной установки составила 92% Кроме того, недостатком известной установки является ее дороговизна за счет наличия в ней дорогостоящего узла регенерации абсорбента, представляющего собой ректификацион ную колонну для разделения жидкой смеси на абсорбент и хлорсиланы, теплообменник для охлаждения абсорбента и конденсатор для конденсирования хлорсиланов, выделенных из абсорбента, Целью изобретения является повышение степени извлечения хлорсиланов и удешевление процесса.

Поставленная цель достигается тем, что в способе выделения хлорсиланов из газовой смеси с водородом, заключающемся в последовательной конденсации и абсорбции хлорсиланов жидким абсорбентом, новым является то, что после абсорбции дополнительно проводят конденсацию при температуре (-20) — (-80) С и абсорбцию при температуре (-80) — (-100) С, регенерированный водород подают на конденсацию в качестве хладагенте, а в качестве абсорбента используют охлажденный конденсат хлорсиланов, Дополнительное проведение двух последовательных операций — конденсации и абсорбции при оптимальных, экспериментально установленных режимах с использовайием в качестве хладагента при конденсации охлажденного регенерированного водорода, а в качестве абсорбента — охлажденного конденсата хлорсиланов, позволяет повысить степень извлечения хлорсиланов за счет оптимизации тепло- и массообмейа при ауторегулировании.

Температурные режимы дополнительных операций — конденсации и абсорбции установлены экспериментально. Проведение дополнительной абсорбции именно при температуре (-80) — (-100) С взаимосвязано с оптимальным температурным режимом дополнительной конденсации (-20)+80) С и рациональным использованием холода регенерированного водорода за счет возврата

его в качестве хладагента на конденсацию.

Проведение дополнительной абсорбции при температуре ниже -100 С приводит к кристаллизации хлорсиланов, отложению кристаллов на стенках аппарата и ухудшению процесса абсорбции. Повышение температуры абсорбции выше -80 C приводит к снижению степени извлечения хлорсиланов, т,к. в этом случае не обеспечивается необходимый температурный режим конденсации.

Часть конденсата хлорсиланов, полученного в результате дополнительной абсорбции, возвращают в качестве абсорбента на дополнительную абсорбцию. Оставшийся конденсат соединяют с конденсатом хлорсиланов, п6лученным в результате первой конденсации и дополнительной конденсации и подают в качестве абсорбента на первую абсорбцию. В результате смешения конденсата хлорсиланов с газовой смесью образуется газожидкостная эмульсия с большой поверхностью контакта между газовой фазой и охлажденной жидкостью. в результате чего интенсифицируется тепло-и массообмен и, как следствие, повышается степень извлечения хлорсиланов из газовой смеси, Кроме того. при использовании в качестве абсорбента охлажденного конденсата хлорсиланов исключается возможность загрязнения конденсата примесями, содержащимися в абсорбционной жидкости, а также нет необходимости в проведении дорогостоящей операции по выделению хлорсиланов из абсорбента ректификационным методом.

То, что охлажденный регенерированный водород подают в качестве хладагента на конденсацию, позволяет рационально использовать его холод, обеспечивая при этом ауторегулирование. снизить расход хладагента, необходимого для конденсации хлорсиланов.

Поставленная цель достигается также тем, что в установке для выделения хлорсиланов из их газовой смеси с водородом, содержащей многополостной конденсатор, абсорбер. каплеотделитель, новым является то, что установка дополнительно содержит последовательно соединенные конденсатор, рециркуляционный абсорбер. охлаждаемый хладагентом, и каплеотбойник. причем промежуточные полости конденсаторов, выполненных трехполостными, соединены между собой каналами через абсорбер и каплеотделитель. Выходной канал рециркуляционного абсорбента для конденсата на высоте, равной 0.18-0.53 вы1791380 соты рабочей части рециркуляционного абсорбера, разделен на два канала, один из которых соединен с входом для конденсата рециркуляционного абсорбера,а другой соединен с каналами конденсаторов для отвода конденсата, каналом каплеотбойника для отвода конденсата и с входом абсорбера для конденсата, Канал рециркуляционного абсорбера для отвода регенерированного водорода через каплеотбойник последовательно соединен с наружными конденсаторов. Канал рециркуляционного абсорбера для отвода паров хла цагента последовательно соединен с внутренними полостями конденсаторов, 1 Выполнение установки с дополнительно веденными в нее конденсатором, рециркул ционным абсорбером, охлаждаемым хладагентом, и каплеотбойником в заявляем и взаимосвязи элементов позволяет за сче низкотемпературного охлаждения и фо мирования газожидкостной эмульсии, в которой и роисходит охлаждение газовой сме1и и абсорбция хлорсиланов из газовой смеси, повысить степень извлечения хло. силанов, акое выполнение позволяет.интенсифиц ровать тепло- и массообменные проi, реализуемые в установке. При этом наличия в установке ауторегулируювязей процессы протекают не только тимальных режимах, но и с минимальи энергетическими затратами. ля возврата охлажденного конденсата иланов, полученного в рециркуляцим абсорбенте, в абсорбер и рециркуляный абсорбер с целью использования качестве абсорбента выходной канал ркуляционного абсорбера для конденна высоте, равной 0,18 — 0,53 высоты чей части рециркуляционного абсорбеазделен на два канала, один из которых инен с входом для конденсата рециркуонного абсорбера, а другой соединен с лами конденсаторов для отвода коната, каналом каплеотбойника для отконденсата и с входом абсорбера для енсата. Именно заявленное соотное высоты разделения выходного канаециркуляционного абсорбера для енсата и высоты рабочей части рецирционного абсорбера, равное 0,18обеспечивает формирование в бере и рециркуляционном абсорбетойчивой газожидкостной эмульсии, в ой происходит охлаждение газовой и абсорбция хлорсиланов из газовой конденсатом хлорсиланов, что позвоповысить степень извлечения хлорси-!

) во ны хло онн цио

его рец сэта раб сое ляц кан ден вод кон шен ла кон куля

0,53 абсо реу кото смес смес ляет ланов

Соединение канала рециркуляционного абсорбера для регенерированного âoдорода последовательно с наружными полостями конденсаторов, а канала рецир5 куляционного абсорбера для отвода паров хладагента с внутренними полостями конденсаторов обеспечивает рациональное использование холода регенерированного водорода и паров хладагента за счет- со10 здания ауторегулирующих связей, что позволяет снизить расход хладагента; необходимого для конденсации хлорсиланов и, следовательно, удешевить процесс выделения хлорсиланов из газовой смеси.

15 Предлагаемый способ выделения хлорсиланов из их газовой смеси с водородом реализован следующим образом.

Газовую смесь, содержащую. об. 7;:

Водород 50-85

20 Хлористый водород До 8 Трихлорсилан 4 — 10

Тетрахлорсилан 2 — 6

Азот До 20, направляли последовательно на первую

25 конденсацию при температуре -10 С. первую абсорбцию при температуре -10 С, дополнительную конденсацию и дополнительную абсорбцию, при этом в качестве абсорбента использовали конденсат хлор30 силанов. Температуру дополнительной конденсации изменяли от -20 С в опыте 1 до

-80 С в опыте 3. при этом температуру дополнительной абсорбции поддерживали на уровне среднего значения, равного -90 С, В опытах 5 и 6 дополнительную конденсацию

35 проводили при температуре, равной -50 С. а дополнительную абсорбцию- при температурах соответственно -80"С и -100"С.

Были испытаны также запредельные температурные режимы дополнительной конден40 сации и дополнительной абсорбции (опыты

4 и 7).

В качестве хладагента на дополнительной абсорбции использовали жидкий азот, Пары азота и регенерированный водород

45 использовали в качестве хладагентов последовательно на дополнительной. а затем первой конденсации.

Отходящий водород, очищенный от хлорсиланов анализировали методом газо50 вой хроматографии на содержание хлорсиланов и рассчитывали степень извлечения хлорсиланов из газовой фазы.

Затраты на реализацию способа были рассчитаны с учетом расхода хладагента, 55 энергетических затрат, зарплаты обслуживающего персонала и амортизационных отчислений.

Результаты опытов и расчетов приведены в табл.1. Акт испытаний заявляемого спо1791380 соба прилагается к материалам настоящей заявки, Одновременно был проведен опыт 8 по выделению хлорсиланов из их газовой смеси с водородом путем конденсации при -10 С и абсорбции при -10 С с использованием в качестве абсорбента триметилбензола согласно техническому решению по прототипу.

Из табл.1 видно, что оптимальными условиями проведения процесса выделения хлорсиланов из их газовой смеси с водородом являются дополнительная конденсация в диапазоне температур (-20) — (-80) С и дополнительная абсорбция в диапазоне температур (-80)+100) С. При этом степень извлечения хлорсиланов составила от

95,0 до 98,9, а затраты на реализацию способа — от 299,00 до 309,99 руб/т хлорсиланов, Наилучшие результаты (степень извлечения хлорсиланов, равная 96,3, затраты на реализацию способа, равные

305,33 руб/т хлорсиланов) были достигнуты в случае проведения дополнительной конденсации при -50 С и дополнительной абсорбции при -90 С (опыт М 2).

Повышение температуры дополнительной конденсации до -18 С и температуры дополнительной абсорбции до-75 С приводит к снижению степени извлечения хлорсиланов до 92,8 за счет большого проскока хлорсиланов с водородом, вследствие чего забивается система санитарной очистки, что приводит к росту затрат на реализацию способа до 316,02 руб/т хлорсиланов.

Снижение температуры дополнительной конденсации до -85 С и температуры дополнительной абсорбции до -105 С приводит к замораживанию хлорсиланов в установке, что требует последующего отогрева ее теплым газом. В результате степень извлечения хларсиланов снижается до 93,2, а затраты на реализацию способа растут до

315,62 руб/т хлорсиланов.

Проведение конденсации при температуре -10 С и абсорбции при температуре

-10oC с использованием в качестве абсорбента триметилбензола согласно техническому решению по прототипу не обеспечивает достаточно высокой степени извлечения хлорсиланов. Кроме того, в этом случае затраты на реализацию способа составляют 342,33 руб/т. что объясняется необходимостью проведения дорогостоящей операции по выделению хлорсиланов из абсорбента ректификационным методом.

Таким образом, техническое решение по прототипу по всем основным показателям уступает заявляемому решению, 5

Заявляемая установка схематически изображена на чертеже, Установка для выделения хлорсиланов из их газовой смеси с водородом состоит из двух трехполостных конденсаторов 1 и 2, промежуточные полости 3 и 4 которых связаны между собой каналами 5, 6 и 7 через абсорбер 8 и каплеотделитель 9, рециркуляционного абсорбера 10 и каплеотбойника

11. Входной патрубок 12 для газовой смеси рециркуляционного абсорбера 10 соединен каналом 13 с промежуточной полостью 4 конденсатора 2, выходной патрубок 14 для регенерированного водорода рециркуляционного абсорбера 10 соединен каналами 15 и 16 через каплеотбойник 11 с наружной полостью 17 конденсатора 2, связанный каналом 18 с наружной полостью 17 конденсатора 2, связанный каналом 18 с наружной полостью 19 конденсатора 1. Выходной патрубок 20 для паров хладагента рециркуляционного абсорбера 10 каналом 21 соединен с внутренней полостью 22 конденсатора 2, связанный каналом 23 с внутренней полостью 24 конденсатора 1.

Выходной патрубок 25 для конденсата рециркуляционного абсорбера 10 связан с входным патрубком 26 для конденсата рециркуляционного абсорбера 10 каналом

27, от которого на высоте. равной 0.18-0,53 высоты рабочей части рециркуляционного абсорбера 10, отводится канал 28, соединенный с коллектором 29 для сбора конденсата. С коллектором 29 также соединены каналом 30 промежуточная полость 3 конденсатора 1, каналом 31 промежуточная полость 4 конденсатора 2, каналом 32 каплеотбойник и каналом 33 абсорбер 8.

Выходной патрубок 34 для конденсата каплеотделителя 9 соединен каналом 35 с емкостью 36 для сбора и хранения конденсата.

Входной патрубок 37 для жидкого хладагента рециркуляционного абсорбера 10 соединен каналом 38 с резервуаром 39 жидкого хлада гента.

Установка работает следующим образом.

Газовую смесь. содержащую. об, /:

Водород 50-85

Хлористый водород До 8

Трихлорсилан 4 — 10

Тетрахлорсилан 2 — 6

Азот До 20, подают в промежуточную полость 3 конденсатора 1. Температура подаваемой на установку газовой смеси 0 — -15) С. В наружную полость 19 конденсатора 1 по каналу 18, связанному с наружной полостью 17 конденсатора 2, противотоком к газовой смеси подают регенерированный водород, а во

1791380

55

9 ! внугреннюю полость 24 конденсатора 1 по кан лу 23, связанному с внутренней полостью 22 конденсатора 2, противотоком к газов и смеси подают пары азота. !

В результате теплообмена между газовой смесью, регенерированным водородом и и рами азота газовая смесь охлаждается до т мпературы (-10)-(-25) С. При этом хлорсил ны частично конденсируются и по каналу 30 сливаются в коллектор 29.

Газовую смесь затем подают по каналу

5 в бсорбер 8, соединенный каналом 33 с кол ектором 29. В абсорбере 8 газовая сме ь и жидкие хлорсиланы, поступающие из к ллектора 29, формируют газожидкостную эмульсию, в которой происходит охлаж ение газовой смеси и абсорбция хло силанов из газовой смеси конденсатом хло иланов. з абсорбера 8 газожидкостную эмульсию о каналу 6 подают в каплеотделитель, где роисходит разделение эмульсии на газов ю и жидкую фазы, Жидкость через выход ой патрубок 34 для конденсата кап отделителя 9 по каналу 35 сливается в емк сть 36 для сбора и хранения конденсата х орсиланов, а газовая смесь по каналу 7 пос пает в промежуточную полость 4 конден тора 2, В наружную полость 17 конден тора 2 по каналу 16, связанному с капл отбойником 11, противотоком к газовой меси подают регенерированный водород с температурой (-80)-(-100) С, а во внут еннюю полость 22 конденсатора 2 по кана у 21, связанному с выходным патрубком 0 для паров хладагента рециркуляционного абсорбера, противотоком к газовои смес подают испарившийся азот с температурой (-130) — (-170) C. При этом газовая смес охлаждается до температуры (-20)— (-80) С, хлорсиланы конденсируются и по каналу 30 сливаются в коллектор 29.

Газовую смесь с температурой (-20)+

80) (затем по каналу 13 подают в нижнюю частМ рециркуляционного абсорбера 10 через входной патрубок 12 для газовой смеси. ерез-входной патрубок 26 для конденсата |рециркуляционного абсорбера 10 по каналу 27, связанному с выходным патруб-! ком 25 для конденсата рециркуляционного абсорбера, подают конденсат хлорсиланов, В результате смешения газовой смеси с кондднсатом хлорсиланов формируется газожиДкостная эмульсия. Для охлаждения газоЖидкостной эмульсии в рециркуляционный абсорбер 10 через входной патрубок 37 для жидкого хладагента по каналу 38 из резервуара Зс подают жидкий азот.

В рециркуляционном абсорбере 10 газовая смесь охлаждается до температуры (-80) — (-100) С, а хлорсиланы абсорбируются конденсатом хлорсиланов. В верхней части

5 рециркуляционного абсорбера 10 происходит разделение гаэожидкостной эмульсии на газовую и жидкую фазы. Часть конденсата по каналу 27 возвращается в нижнюю часть рециркуляционного абсорбера 10 для

10 создания устойчивой газожидкостной эмульсии, а остальная часть коынденлсата по каналу 28, соединенному с каналом 27 на высоте, равной 0,18 — 0,53 высоты рабочей части рециркуляционного абсорбера 10, 15 сливается в коллектор 29.

Регенерированный водород с температурой (-80) — (-100) С через выходной патрубок 14 по каналу 15 подают в каплеотбойник

11 для отделения регенерированного водо20 рода от капель увлеченного им конденсата, а затем по каналу 16 в наружную полость 17 конденсатора 2 для охлаждения газовой смеси. Конденсат хлорсиланов, отделенный от регенерированного водорода в каплеот25 бойнике 11, по каналу 32 подают в коллектор 29.

Соотношение высоты разделения выходного канала рециркуляциойного абсорбера для конденсата на два канала и высоты

30 рабочей части рециркуляционного абсорбера изменяли от 0,10 до 0.60.

Отходящий водород, очищенный от хлорсиланов, методом газовой хроматографии анализировали на содержание в нем

35 хлорсиланов и рассчитывали степень извлечения хлорсиланов из газовой фазы.

Затраты на реализацию способа были рассчитаны с учетом расхода хладагента, энергетических затрат, зарплаты обслужи40 вающего персонала и амортизационных отчислений.

Результаты опытов и расчетов приведены в табл,2. Акт испытаний заявляемой установки прилагается к материялам насто45 ящей заявки.

Иэ табл,2 видно, что, оптимальным соотношением высоты разделения выходного канала рециркуляционного абсорбера для конденсата на два канала и высоты рабочей

50 части рециркуляционного абсорбера является 0,18 — 0,53. При этом степень извлечения хлорсиланов составила пт 94,4 до

97,3%, а затраты на реализацию способа— от 304,15 до 308.12 руб/т хлорсиланов.

Наилучшие результаты (степень извлечения, равная 96,9-97,3%, затраты на реализацию способа, равные 304.15 — 304,89 руб/т хлорсиланов соответственно) были достигнуты при соотношении указанных высот, равном 0,27 — 0.35.

1791380

Таблица 1 траты н ализаци пособа б/т хло иланов

299.00

305.33

309,99 )

316,02

При изменении этого соотношения до

0,10 степень извлечения хлорсиланов снижается до 92,1%, а затраты на реализацию способа растут до 312,08 руб/т хлорсиланов, т, к. в этом случае полностью разбалансируется работа установки эа счет проскока газовой смеси из нижней части рециркуляциойного абсорбера 10 в канал 27 через входной патрубок 26 для конденсата. При изменении соотношения высоты разделения выходного канала рециркуляционного абсорбера для конденсата на два канала и высоты рабочей части рециркуляционного абсорбера до 0,60 в рециркуляционный абсорбер возвращается избыточное количество конденсата хлорсиланов, что приводит к образованию большого числа мелких капель конденсата, вследствие чего возрастает нагрузка на каплеотбойник. При этом степень извлечения хлорсиланов снижается до 90,6% а затраты на реализацию способа растут до 318,23 руб/т хлорсиланов.

Предлагаемые способы выделения хлорсиланов из их газовой смеси с водородом и устройство для его реализации имеют технико-экономические преимущества Ilo сравнению с существующими, так как позволяют повысить степень извлечения хлорсиланов при одновременном удешевлении процесса за счет: — новой последовательности и режимов проведения способа, используемых при этом материалов;

- новой совокупности конструктивных элементов, их взаимного расположения и новых связей между их частями в устройстве.

Высокая стейень очистки делает процесс экологически безвредным и позволяет повысить выход целевого продукта.

Формула изобретения

1. Способ выделения хлорсиланов из их газовой смеси с водородом, включающий охлаждение смеси при косвенном теплообмене с хладагентом до температуры конденсации хлорсиланов, выделение конденсата, 5

45 абсорбцию хлорсиланов из отделенной гавовой фазы, отличающийся тем, что, с целью повышения степени извлечения хлорсиланов и удешевления процесса, после стадии абсорбции дополнительно проводят охлаждение газовой фазы при косвенном теплообмене с хладагентом до температуры (-20) — (-80) С, выделение конденсата, абсорбцию хлорсиланов из отделенной газовой фазы при (-80)+100) С, причем в качестве абсорбента используют конденсат хлорсиланов и отделенный после абсорбции водород направляют на стадии охлаждения для рекуперации.

2, Установка для выделения хлорсиланов из их газовой смеси с водородом, содержащая многополостной конденсатор, абсорбер и каплеотделитель, о т л и ч а ющ а я с я тем, что. с целью повышения степени извлечения хлорсиланов и удешевления процесса, она дополнительно содержит конденсатор. рециркуляционный абсорбер, охлаждаемые хладагентом. и каплеотбойник, причем промежуточные полости для охлаждения газовой смеси конденсаторов, выполненных трехполостными, соединены между собой каналами через абсорбер и каплеотделитель, и последовательно соединены с входным каналом для газовой смеси рециркуляционного абсорбера. выходной канал которого для конденсата на высоте

0,18 — 0,53 высоты рабочей части рециркуляционного абсорбера разделен на два канала, один из которых соединен с входом для конденсата рециркуляционного абсорбера, а другой соединен с каналами конденсаторов для отвода конденсата, каналом каплеотбойника для отвода конденсата и с входным каналом абсорбера для конденсата, канал рециркуляционного абсорбера для отвода отделенного водорода через каплеотбойник последовательно соединен с наружными полостями конденсаторов, а канал рециркуляционного абсорбера для отвода хладагента последовательно соединен с внутренними полостями конденсаторов..

1791380

Продолжение табл, 1

Таблица 2

Составитель

Техред М.Моргентал

Корректор Л. Ливринц

Редактор

Тираж Подписное

ВНИИПИ Государсгвенного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственн >-изрательский комбинат "Патент", г. Ужгород. ул.Гагарина, 101