Способ измерения влажности

Способ измерения влажности

Реферат

Способ измерения влажности в герметичном корпусе гибридной интегральной схемы, заключающийся в том, что в корпус помещают подложку, на которой нанесены два электрода, измеряют в процессе эксплуатации сопротивление между электродами, по которому судят о влажности, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей способа, электроды выполнены из материала тонких пленок гибридных интегральных схем, и по технологии их изготовления дополнительно в процессе эксплуатации измеряют сопротивление, по крайней мере, одного электрода, находят отношение измеренного сопротивления к сопротивлению электрода перед эксплуатацией и по этому отношению судят о степени коррозии тонких пленок внутри корпуса гибридных интегральных схем.