Устройство для получения металлического циркония из тетраиодида в низкотемпературной плазме

Устройство для получения металлического циркония из тетраиодида в низкотемпературной плазме

Реферат

 

Изобретение относится к получению металлического циркония, в частности к устройствам для получения металлов из их йодидов в низкотемпературной плазме. Сущность изобретения: устройство снабжено медным кольцом, установленным на трубке, соединяющей испаритель и реактор, при соблюдении следующих соотношений: Н=0,4-0,6 d_инд. и d_инд.dd_тр., где Н - расстояние между индуктором и кольцом, d - диаметр кольца, d_инд. - диаметр индуктора, d_тр. - диаметр соединительной трубки. Подложку, на которой осаждают металл, дополнительно заземляют. 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 табл.

Изобретение относится к металлургии редких металлов, а именно к устройствам для получения металлов из их йодидов в низкотемпературной плазме. Целью предлагаемого изобретения является упрощение процесса и увеличение скорости осаждения циркония. На чертеже изображено предлагаемое устройство в статике. К реактору 1 через соединительную трубку 2 подсоединен испаритель тетрайодида циркония 3. На трубку надето медное кольцо 4. В реакторе над соплом 5 подвешивается подложка 6, нагреваемая индуктором 7. Дополнительно подложку заземляют. Пример работы устройства. Порошок тетрайодида циркония загружают в испаритель 3, подложку 6 устанавливают в вертикальном реакторе 1 и откачивают систему до остаточного давления приблизительно 110^-1 торр. Затем подложку нагревают индуктором 7 ВЧ-генератора до 1500^oC, при этом в области подложки возбуждается разряд. При нагреве испарителя тетрайодид через соединительную трубку 2 и сопло подачи тетрайодида циркония 5 подается в реактор с расходом 60 г/ч. Проходя через зону медного кольца 4 высотой 25 мм, он дополнительно нагревается и разлагается на подложке до металлического циркония и йода. Как следует из таблицы, предлагаемое устройство позволяет осуществить процесс без аргона, что позволяет избежать загрязнения получаемого металла примесями, содержащимися в аргоне, при высоких скоростях осаждения.

Формула изобретения

1. Устройство для получения металлического циркония из тетрайодида в низкотемпературной плазме, включающее испаритель, реактор осаждения с подложкой, установленной в индуктор, трубку, соединяющую реактор и испаритель отличающееся тем, что, с целью упрощения процесса и увеличения скорости осаждения металла, оно снабжено медным кольцом, установленным на соединительной трубке при соблюдении следующих соотношений: H 0,4-0,6 d_инд и d_индdd_тр, где H расстояние между индуктором и кольцом; d диаметр кольца; d_инд диаметр индуктора; d_тр диаметр соединительной трубки. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что подложка дополнительно заземлена.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2

MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Дата прекращения действия патента: 26.01.2003

Номер и год публикации бюллетеня: 13-2004

Извещение опубликовано: 10.05.2004