Способ измерения скорости напыления пленок при испарении в вакууме

Способ измерения скорости напыления пленок при испарении в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

I8O457

Союз Советскиз

Социзлистическик

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 48Ь, 13/00

Заявлено 29.V1,1964 (№ 909084)22-2) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 21.111.1966. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 4Л .1966

МПК С 23с

УД К 621.793.14 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

H. И. Шпиньков, А. А. Пинчук, Б. В. Сныткин и В, Д. Горбунова !

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК

ПРИ ИСПАРЕНИИ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Свойства топких пленок, получаемых licit;tрением в вакууме, зависят от скорости ltx осаждения, влияющей на кристаллическую структуру. пленки и, в связи с этим, на ее магнитные и другие свойства.

Известны способы измерения скорости напыления пленок при испарении в вакууме.

Цель изобретения — — упростить измерения и повысить степень точности. Достигается это тем, что по предлагаемому способу используют самопроизвольную ионизацию испаряемого вещества. Ионы испаряемого вещества непосредственно переносят свой заряд на электрод.

Измерительный электрод соединяют с испарптелем через микроамперметр. Ионный ток, измеряемый мпкроамперметром, пропорционален скорости напыления.

Способ измерения скорости напыления пленок прп пспарс,ши в вакууме, основанный на понпзацип пспаряемого вещества, от.шкаюи ийся тем, что. с целью упрощения измерений

10 п уточнеш|я показаний, на пути ионов, самопроизвольно образующихся прп испарении наносимого веществ;;, помещают электрод, сосдппсппый с мпкроампсрметром, измеряющим ионный ток, прон орцпон скорости пс15 парения.