Полимерная пленкообразующая композиция для изготовления пелликлов

Полимерная пленкообразующая композиция для изготовления пелликлов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Использование: проекционная фотометография для предохранения фотошаблонов от пылевидных частиц. Сущность изобретения: композиция для изготовления пелликлов содержит 3-%5% ацетобутирата целлюлозы, 10-45% растворителя с температурой кипения 70-160°С и 50-85% бутилацетата. Растворителем являются этилацетат, диоксан, циклогексанон, ацетилацетон. 1 з.п. ф-лы, 1 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К ПАТЕНТУ (21) 4953787/05 (22) 08.05.91 (46) 30.03,93. Бюл. № 12 (71) Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной химии (72) Ю,С,Кольцов, А.П,Чавгун, Н.В.Беликова, Т.Л.Темченко, О,П.Гущин и M.Ñ.Âèëåñîва (73) Научно-производственное объединение

"Государственный институт прикладной химии" (56) 1. B runner Т.А., Ausschnltt С.Р., Duly Ол, . Рейс!е Mask Propection for 1:1 Projection

Lithography. Solid State Technology, Мау

1983, рр, 1.35 — 143.

2. Патент США ¹ 4131363, кл. С 08 L 1/14 опублик. 1978, 3, Патент США ¹ 4476172, кл. С 08 L 83/06, опублик. 1984, 4. Патент Франции № 2573219, кл. G 02 В 5/22, опублик. 1985.

Изобретение относится к области полимерных пленкообразующих композиций, а именно: композиций для изготовления пленок пелликлов — специальных рамок, накладываемых сверху на фотошаблоны и предотвращающих попадание на их поверхность пылевидных частиц, Целью изобретения является увеличение времени эксплуатации пленок, получаемых из полимерных пленкообразующих композиций.

Поставленная цель достигается тем, что полимерная пленкообразующая композиция на основе АБЦ и растворителя дополнительно содержит бутилацетат, à в качестве

« Ы 18ОО15О АЗ

ts)>s С 08 L 1/14, С 08 J 5/18 (54) ПОЛИМЕРНАЯ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩАЯ КОМПОЗИЦИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

ПЕЛЛИКЛОВ (57) Использование: проекционная фотометография для предохранения фотошаблонов от пылевидных частиц. Сущность изобретения: композиция для изготовления пелликлов содержит 3 — 5$ ацетобутирата целлюлозы, 10 — 457; растворителя с температурой кипения 70 — 160 С и 50-85 бутилацетата. Растворителем являются зтилацетат, диоксан, циклогексанон, ацетилацетон. 1 з.п. ф-лы, 1 табл. растворителя используют растворитель с температурой кипения в интервале 70- О

160 С при следующем соотношении компонентов, мас,: iQl

АБЦ 3 — 5 (Растворитель с температурой кипения 70 — 160 С 10-45

Бутилацетат 50 85 4

В качестве растворителя можно использовать органические жидкости, хорошо растворяющие АБЦ, температура кипения которых находится в пределах 70-160 С, например, этилацетат, диоксан, циклогексанон, ацетилацетон. При использовании рас1806150

61

45 творителей с температурой кипения меньшеМ, чем 70 С не удается получить пленки с требуемым уровнем равнотолщинности.

При больших, чем 160 С значениях температуры кипения, скорость испарения растворяющей системы мала и, соответственно, время формирования полимерной пленки превышает технологически допустимое (10 мин).

Принципиальное значение имеет содержание БА в композиции. При содержании БА меньшем, чем 50 мас. происходит резкое снижение времени стабильности полимерной пленки в натянутом состоянии.

А при большем, чем 85 мас. наблюдается плохая гомогенизация раствора, что существенно сказывается на однородности формируемых из ПОК пленок, Получаемые при этом значения разнотолщинности существенно больше нормы (табл.1). Введение БА 20 в композицию неочевидно, поскольку он не является растворителем для АБЦ, что и приводит к выпадению полимера из системы при увеличении содержания БА свыше 85 мэс.%. 8 то же время введение БА в компо- 25 зицию в количествах, указанных в формуле изобретения, позволяет получать пленки с удовлетворительным уровнем свойств.

Таким образом, при реализации изобретения в объеме признаков, представлен- 30 ных в формуле изобретения, в заявляемых пределах по температуре кипения растворителя и соотношении компонентов, получают пленки требуемого качества, При этом использование предлагаемой рецепту- 35 ры позволяет в 2-3 раза повысить время эксплуатации пленки АБЦ в составе пелликлы.

П риме р;

Пленкообразующая композиция, содер- 40 жащая, мас.Я .

АБЦ

Циклогексанон

Бутилацетат

Композицию готовят путем растворения 4 мас.ч, АБЦ в 35 мас.ч. циклогексанона. 8 полученный раствор затем добавляют

61 мас,ч. бутилацетата и перемешивают полученную систему при комнатной температуре до ее полной гомогенизации. Для получения пленки 3-5 мл ПОК выливают на вращающуюся со скоростью 700-1000 об/мин полированную кремниевую пластину и сушат на воздухе при нормальных условиях в течение 10 мин.

Качество полученной пленки: разнотолщинность 0,02 мкм время эксплуатации 45 сут.

Остальные примеры, подтверждающие возможность получения положительного эффекта только в объеме признаков, указанных в формуле изобретения, приведены в таблице.

Примеры пленкообразующих композиций на основе АБЦ, Формула изобретения

1. Полимерная пленкообраэующая композиция для изготовления пелликлов, включающая ацетобутират целлюлозы и органический растворитель, о т л и ч а ю щ ая с я тем, что, с целью. увеличения времени эксплуатации пелликлов, в качестве органического растворителя она содержит растворитель с температурой кипения 70-160 С и дополнительно бутилацетат при следующем содержании компонентов,мас. : ацетобутират целлюлозы 3 — 5 растворитель с температурой кипения 70 — 160 С 10 — 45 бутилацетат 50-85, 2. Композиция по п.1, отл ич а ю щаяс я тем, что, в качестве органического растворителя с температурой кипения 70160 С она содержит этилацетат, диоксан, циклогексанон и ацетилацетон.

1806150

Примеры пленкообразующих композиций на основе АБЦ

Свойства пленки

Состав ПОК,мас

Растворитель (кип., С) 8ремя формирования, мин

Удовлетворение всем требованиям

Растворитель

АБЦ

БА разнотолщинность, мкм время эксплуатации, сут

Циклогексанон (155,6) Тот же

Тот же

0,15

72

72

0,05

72

0,04

44

0,03

120

0,03

35

Циклогексанон (155,6) Этилцеллозольв

20

0.03

Составитель И.Девнина

Техред М.Моргентал Корректор Е.Папп

РедакторЗаказ. 963 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва. Ж 35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина. 101

Ацетон (5S,2)

Этилацетат (77,2)

Диоксан (101,3)

Ацетилацетон (139)

Диметилсульфсид (189) 2

4

6

4

24

24

24

24

24

9 11

46

47

74

73

72

71

87

51

49

66

5

5

5

5

8

8 7

0,02

0,02

0,02

0.02

0,06

0,07

0,06

0,02

0,02

0,02

0,02

0,09

19

42

26

24

50 .54