Патент ссср 180701
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСИОМУ СВЙДЕТЕЛЬСТВУ
I807OI
Союз Соеетскиа
Социалистическил республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 21 > 10с е "З. l
МПК H 01g
Заявлено 04Х.1965 (№ 1005777/26-9) с прпсоедипснпем заявки №
Приоритет
Опубликоuàllo 26.111.1966. Бюллетень .¹ 8
Дата опубликования описания 12Л .1966
Комитет ло делам изобргтеиий и открытий лри Co"..ãòå 1Лииистроа
СССР
УДК 621.319.4.002.2 (088,8) Авторы изобретения
В. С Крикоров, Г. А. Блинов, В. Д. Желнинекий, а.:11 и Э. А. Маркарянц,
1 ркнк-... т \
Заявитель! ь-:i.
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК
Предмет изобретения
Известные способы изготовления диэлектрических пленок, основанные на испарении в вакуумной камере двуокиси кремния, характеризуются сравнительно высокой температурой испарения, равной 2000 †22 С, что усложняет технологию и уменьшает воспроизводимость результатов.
В описываемом способе снижение температуры испарения двуокиси кремния без ухудшения диэлектрических свойств пленки достигнуто применением смеси, состоящей 11з двуокиси кремния и лантана, взятых в эквиполярных количествах.
Технология получения таких пленок заключается в следующем.
Исходные материалы: двуокись кремния и лантан измельчают в атмосфере инертного газа на струйной мельнице до величины частиц
20 — 40 лгк.
Соотношение двуокиси кремния и лантана берут в эквиполярных количествах.
Полученную смесь прессуют в таблетки весом 1 — 4 г ll загружают в пспаритель. На подложку, нагретую до температуры 200 — 300" С, производят напыление в ьакууме 2 10 л.lt рт. ст. при температуре пспарителя 1400 ——
1500" С.
Пленки обладают диэлектрическими характеристиками, близкими к параметрам пленок, ИЗГОТОВЛЕНПЫХ 113 ДВ ОК::1СИ КРЕМН1111.
Способ изготовления дпэлектрггческпх пленок па основе двуокиси кремния напылением в вакуумной «амере, откгггчпгошггггся тем, что, с целью снижения температуры пспарешгя двуокиси кремния без ухудшения диэлектрических свойств пленки, применяют смесь пз
2р двуокиси кремния и лантана. взятых в эквпполярных количествах.