180702 - Патент ссср 180702

Патент ссср 180702

Иллюстрации

Показать все

Реферат

О П И С А Н И Е l80702

ИЗОБРЕТЕНИЯ

N АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зав1симое от авт. свидетельства №

Кл. 21<7, 10/02 aaI,„„eIIo 04.V.1965 (¹ 1005776 26-9) с и рисоед11пеи нем заявки №

Приоритет

IHK H 01g

, 3K 621.319.4:546.289. .002.2 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Иииистров

СССР

Опубликовано 26.111.1966. В|оллстсиь ¹ 8

Д<1та опубликования описания 12Л .1966

Авторы изобретеш1я

Г. А. Блинов, В. Д. Желнинский, В. К. Кокни, В. g., -Крикоров и Э. А. Маркарянц

Заявитель

ПЛЕНОЧНЬ1Й КОНДЕНСАТОР ПОСТОЯННОЙ:MKOC1 È

Известные диэлектрики, применяемые в пленочных конденсаторах постояпиой емкости, характеризуются вь1сокой температурой испарения, изменением диэлектрических свойст13 и ие IOCTIIТО !IIO!1 130CIIp0;!3130 и 31 OCTblO.

В предлагаемом плсиочиом конденсаторе повышение воспроиз1юдимости, улучшеи1131 диэлектрических свойств и упрощение технологического процесса достигнуто применением в качестве диэлектрика окс11карбида кремния.

На подложку, пагретую до температуры

150 вЂ” 300 С,:1аиосят требуемое количество оксикарбида кремния из испарителя с температурой 1100 С и вакууме, равиом (1 вЂ” 2) ° 10 лл рт. cz

Сред1ше характеристики полученных диэлектрических пленок из оксикарбида кремния следующие: толщина плеши 0,45 11к; удельпая емкость 1600 лф cч-, диэлектрическая проницаемость е = 8 при частоте 1 кг11; пробивное иапряже1111с до 3 11в/с.11, тангенс угла

5 лиэл1. кори 1ссlы1х потерь lo 0 = 0,008 пpII 1<1стоте 1 «ги.

BocIlp01I3i30Il3 Iocть колебалась в предел ах 10с/с.

Предмет изооретеиия

Пленочный конденсатор постоянной емкоcTI1, содержащий д11электрический слой и слой металла, от.тича10и1иисл тем. что, с целью упрощеш1я технологического процесса. повышс15 пия воспроизводимости и улучшеш1я диэлектрически., свойстг, в качестве диэлектрика применен оксикароид крем1шя,

Патент ссср 180702

Патент 180702