Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Сущность изобретения: турбинная ступень корпуса образована рядами лопаток ритора и статора. Со стороны нагнетения расположены вспомогательные промежуточная и выходная ступени. Промежуточная ступень образована спиральными пазами ротора и выступами статора переменной глубины и встречного направления. Сопряженные поверхности ротора и статора промежуточной ступени выполнены ступенчатыми. Малый ротор установлен на валу. Выходная ступень образована спиральными пазами внутренней поверхности выступа статора и спиральными пазами, выполненными на поверхности малого ротора, обращенной к выступу статора, встречного направления. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 F 04 D 19/04

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4877432/29 (22) 24.10.90 (46) 07.04.93. Бюл. М 13 (71) Научно-исследовательский институт точного электронного машиностроения

"Слава" (72) А.В.Малышев и А.Г,Алин (56) Авторское свидетельство СССР

М 1573234, кл. F 04 Р 19/04, 1988. (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ

НАСОС (57) Сущность изобретения: турбинная ступень корпуса образована рядами лопаток ротора и статора. Со стороны нагнетения

Изобретение относится к машиностроению.

Цель изобретения — повышение степени сжатия.

На фиг. 1 изображен общий вид насоса; на фиг. 2 — узел f на фиг. 1.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с турбинной ступенью, образованной рядами лопаток 2 и 3 ротора

4 и статора 5, расположенные со стороны нагнетания вспомогательные промежуточную и выходную ступени 6 и 7. Промежуточная ступень 6 образована спиральными пазами 8, 9 ротора 4 и выступами 10 статора

5 переменной глубины и встречного направления, при этом сопряженные поверхности ротора 4 и статора 5 промежуточной ступени выполнены ступенчатыми, насос снабжен малым ротором 11, установленным на валу 12 насоса, э выходная ступень 7 образована спиральными пазами 13 внутренней поверхности выступа статора.5 и спиральными пазами 14, выполненными на поверхЯЯ,, 1807242 А1 расположены вспомогательные промежуточная и выходная ступени. Промежуточная ступень образована спиральными пазами ротора и выступами статора переменной глубины и встречного направления. Сопряженные поверхности ротора и статора промежуточной ступени выполнены ступенчатыми. Малый ротор установлен на валу. Выходная ступень образована спиральными пазами внутренней поверхности выступа статора и спиральными пазами, выполненными на поверхности малого ротора, обращенной к выступу статора, встречного направления. 2 ил. ности малого ротора 11, обращенной к выступу 10 статора 5 встречного направления.

Насос работает следующим образом.

Молекулы газа из откачиваемого объема, соударяясь с лопатками 2 вращающегося ротора 4, приобретают импульс в направлении откачки и поступают в промежуточную ступень 6, где происходит дополнительное сжатие откачиваемого газа, а затем его откачка в выходную ступень 7.

Благодаря конструктивному исполнению промежуточной ступени 6, в результате чего зазор в атой ступени между ротором

4 и статором 5 оптически. непрозрачен, а также дополнительным спиральным павам

14 в малом роторе 11 ступени 7 практически исключается обратный переток газа в на.сос, а повышение степени сжатия позволяет отказаться от насоса, заменив его на более простой и дешевый, Формула изобретения

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с турбинной ступенью, 180724 .>

Составитель В,Рязанов

Техред М.Моргентал Корректор С.Патрушева

Редактор

Заказ 1369 Тираж, Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 образованной рядами лопаток ротора и статора, расположенные со стороны нагнетания вспомогательные промежуточную и выходную ступени, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, промежуточная ступень образована спиральными пазами ротора и выступами статора переменной глубины и встречного направления, при этом сопряженные поверхности ротора и статора промежуточной ступени выполнены ступенчатыми, насос снабжен малым ротором, устанвленным на валу, а выходная ступень образована спиральными пазами внутренней поверхности выступа статора и спиральными пазами, выполненными на поверхности малого ротора, обращенной к выступу статора, встречного направления.