Способ получения кремния
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Использование: в качестве полупроводника . Сущность изобретения: смешивают волластонит с плавиковым шпатом, расплавляют , вводят силумин в количестве, обеспечивающем массовое соотношение в расплаве волластонит : плавиковый шпат : силумин 1 : (0,1-0,15): (0,35-0,4). Всплывший на поверхность кремний обрабатывают смесью белой сажи и серы при их массовом соотношении 1 : (0,5-0,8), взятой в количестве 12-15 мас.% от массы силумина. 1 табл.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (sos С 01 В 33/023
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ
ВЕДОМСТВО СССР (IOCflATEHT CCCP) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
О
1СО
ЬЭ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4947112/26 (22) 17.06.91 (46) 15,04;93. Бюл, ЬЬ 14 (71) Казахский химико-технологический институт (72) Ж.О.Оспанов, Б.А.Бекетов и А.А,Туякбаев (56) Патент США 1ч. 3057691, кл. 23-2235, 1962.
Изобретение относитСя к области металлургии, а именно к способам получения кремния, применяемого в полупроводниковой технике.
Цель изобретения — повышение чистоты
I получаемого кремния.
Поставленная цель достигается тем, что в способе включающем смешение кремнийсодержащего компонента с оксидами щелочных и щелочноземельных металлов с последующим сплавлением с алюминием, отличающийся тем, что с целью повышения чистоты кремния, в качестве кремнийсодержащего компонента используют смесь волластонита и плавикового шпата с восстановителем силумином при их соотношении
1: (0-1-0,15); (0,35-0,4), с последующей ра.финацией кремниевого расплава смесью белой сажи и серы. при их соотношении 1: (0,5-0,8), в количестве 12-15 от массы силумина, Восстановление волластонита сплавом восстановителем силумином проходит по следующей реакции с образованием кремния и вторичного шлака — алюмокальцинатов.. ц,» 1808812 А1 (54) СПОЧОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЯ (57) Использование: в качестве полупроводника. Сущность изобретения; смешивают волластонит с плавиковым шпатом, расплавляют, вводят силумин в количестве, обеспечивающем массовое соотношение в расплаве волластонит; плавиковый шпат . силумин = 1; (0,1 — 0,15); (0,35 — 0,4). Всплывший на поверхность кремний обрабатывают смесью белой сажи и серы при их массовом соотношении 1: (0,5-0,8), взятой в количестве 12-15 мас. от массы силумина. 1 табл.
2Саз$10з09+ 8AI - 6Sl + 3(СаО AlgOq) +
+ 2СаО А120з (I)
Плавиковый шпат вводится в волластонит для снижения температуры плавления до 1450-1550 С и для снижения вязкости расплава до 0,2Н сек/м (2пз) (СаО-%02А120з-CaF2). Исходя иэ этого выбрано соотношение вводимого в волластонит, снижение плавикового шпата ниже весового соотношения волластонит: полевой шпат — 1: 0,1, т.е. 1:
0,09 вызывает повышение вязкости расплава, что затрудняет отделение кремния от вторичного шлака, а увеличение количества полевого шпата т.е. при соотношении выше
1: 00,15, т.е. — 1: 0,16 вызывает удорожание процесса.
Количество силумина рассчитано по стехиометрическому уравнению (I) с 10-.
15 избытком для частичногс1 восстановления примесей (MgO,ÑàO и др,).
Рафинация образующегося расплава кремния с смесью белой сажи и серы продиктовано тем, что при введении одной белой сажи (аморфный S10g) в расплав кремния, удается только избавится от алю1808812 миния, при совместном вводе белой сажи и серы происходит рафинирование (удаление) не только алюминия. но железа, меди. марганца, титана, кобальта, олова, цинка по, следующим реакциям:
2FeSIAtg+ S - 2Ге$+ 5А1231з+ 2Si
2СозРеА1т+ 2bS = ЗСо2Я + 2FeS +
+ 7АЫз
А125з+ ÇCaO = 2CaS + Alz03
А14Сз+ 6S = 2А12Яз+ ÇC
FezSls+ 2S = 2FeS +5Si
А14Ре$12 + 7$ = FeS + 2А!2$з + 2%
Таким образом происходит полная очистка кремния от алюминия, железа, меди, марганца, титана, при этом образующиеся сульфиды наряду с CaS переходят во вторичный шлак в виде штейна FeS — CupS — CaS либо отдельно образуют нижний слой шлака.
Вторичный высокоглиноземистый шлак имеет плотность 2,69 — 2.72 г/см, а штейн типа FeS — CuzS-CaS имеет плотность
5 г/см
Количество смеси белой сажи и серы (1: (0,5 — 0,8) также рассчитано в зависимости от содержания примесей в расплаве кремния, Ввод серы в смесь белой сажи: -серы при рафинировании кремния ниже теоретического соотношения т.е. 1: 0,4, вызывает незначительному удалению особенно меди, железа, и алюминия, марганца, а увеличение ввода серы сверх этого соотношения т,е, 1: 00,9 вызывает частичному удалению кремния в виде сульфидов, что нежелательно, Температура процесса 1450-1500 С .и состав компонентов выбраны исходя из того, чтобы металлургический процесс разделения продуктов плавки, вторичного высокоглинеземистого шлака и кремния протекал полностью, при отсутствии газовыделения, что облегчает экологическую часть предлагаемой технологии.
Волластонит минерал типа граматов
СазЯ!з09, с температурой плавления
1910 С. состав 48,25% СаО и 51,65%
ЯОг, примеси 0,1 MgO и т.д. в виде минерала диопсида CaMg(SIOa)z, А120з в виде СазА1(Я!Оа)з, и везувина
СазА 12((Я 10а)2(О На)).
Ti) в количестве 109,06 г. Образуется 95,475 r кремниевого сплава С химическим составом в %: Si — 93,07, Al — 6,28, FeO — 0,36, CuO—
0,036, Са — 0,12. Ti — 0,11.
Жидкий кремний срабатываем смесью белой сажи и серы при их весовом соотношении SION.: S = 1: 0,65 в количестве 100 r белой сажи и 6,5 г элементарной серы (13,8% от веса исходного силумина), Температура обработки 1450 С. Получают 93,56 г
Месторождения этого минерала находятся в Джесказганской обл. вблизи города
Балхаш, Аксоранское месторождение.
Силумин марки СИЛ-О. имеет следую.
5 щий химический состав, %: Si — 10-13, Fe—
0,35 — 0,39, Мп — 0,1 — 0,3, Са — 0,1-0,3, Ti—
0,1 — 0,2, Cu — 0.3-0,4, Zn — 0,08-0.009, остальное алюминий.
Белая сажа Гост 9428-73, с химическим
10 составом в %; 5102 — 99, остальное примеси:
Fe, S04, и др, Сера — химический состав в %: S — 99,99 примеси. As, Se, и т.д.
Способ осуществлен в лабораторных ус"5 ловиях на индукционной печи в графитовом тигле. Необходимое количество волластонита и плавикового шпата тщательно смешивают и загружают в тигель. включают нагрев, Температуру в тигле поднимают до
20 1600 С, после расплавления шихты в расплав вводят расчетное число алюминия, П роисходит реакция ал юмоте рмия. В осстановленный кремний всплывает на поверхность шлака. Кремний обрабатывают смесью белой сажи и серы в течение 10—
15 мин: Затем кремний отделяют от шлака, охлаждают в изложнице, а вторичный шлак в воде. Порошок кремния далее обрабатывают смесью уксусно-соляной кислотой.
30 Обработанный смесью кислот кремний отделяют от раствора декантацией. промывают водой, этиловым спиртом, брикетируют и плавят в индукционной вакуумнрй печи при температуре 1450-1500 С.
35 Измельченный вторичный шлак испытывают на активность цементного теста по
Госту 969-66, 4
Пример 1, 300 г смеси волластонита и плавикого шпата при весовом соотноше40 нии их 1: О, 12, т.е. 264 г волластонита с химическим составом: 48,25% СаО, 52,65%—
SION, примеси; MgO, А120з и 36 г плавиково- . го шпата с химическим составом 98,5%—
СаЕ2, 1,2% — Я!02 примеси 0,3% М90. и
45 другие, плавят в графитовом тигле индукционной печи при температуре 1550 С в течение 30 — 45 мин, после чего в расплав вводят силумин с химическим составом в % Si — 13, А! — 86, остальное примеси (Fe, Мп, Си, 2п, 18088!2!
16 см в количестве 12 штук. Через 3-е суток проверяют прочность кубиков на сжатие.
Определяют прочность цементного камня, Данные экспериментов получения кремния приведены в таблице. кремния с химическим составом в : Si—
99,95, примеси 0,05(Fe, Си, Са. Ti, A!).
Самоизмельченный порошок кремния обрабатывают в смеси соляной и уксусной кислот при Т: Ж = 3: 1 при температуре 70 С 5 в течение 60 мин. Обработку кремния ведут до прекращения выделения газов. Кремний отделяют от раствора кислот декантацией, промывают водой, этиловым спиртом, брикетируют и плавят в вакуумной печи при 10 температуре 1450 С после переплавки получают 92,0 г кремния с химическим составом, мас,%: Si — 99,997, примеси — 0,003.
Вторичный шлак, охлаждают водой, получают 354 г высокоглиноземистого шла- 15 ка с следующим химическим составом в %:
А!гОз — 52,8, СаΠ— 40,9, MgO — 0,27, СаЕг—
4,9, $!Ог — 0,2 примеси сернистых соединений 0,83 (FeS, CuzS, MnS, Са$ и др.) с минералогическим составом; СаО А!гОз — 20
75%, ЗСаО А!гОз — 22%, 2СаО СаГг А!гОз, Измельченный шлак с удельной поверхностью 3500 г/см (по прибору ПСХ-4) тщаг тельно перемешивают волжским песком при весовом соотношении 1: 3, при В/Ц = 25
- 0,4. Затем отливают кубики размером 4 4
Формула изобретения
Способ получения кремния, включающий плавление шихты, содержащей источники оксидов кремния, алюминия. щелочноземельных металлов, введение в расплав алюминийсодержащего вещества, рафинирование образовавшегося кремния обработкой его реагентом, о т л и ч а ю щ ий с я тем, что, с целью повышения чистоты продукта, используют шихту, содержащую волластонит и плавиковый шпат, в качестве алюминийсодержащего вещества берут силумин в количестве, обеспечивающем массовое соотношение в расплаве волластонит; плавиковый шпат: силумин= 1: (0,1 — 0,15):(0,35 — 0,4), и в качестве реагента используют смесь белой сажи и серы при их массовом соотношении 1; (0,5-0 8), взятой в количестве 12-15% от массы силумина.
Количество белой сажи в серы от массы силумина, мас, %
Массовое соотношение
Чистота кремния, %
Массовое соотношение
Волластонит
Сера
Силумин
Плавиковый шпат
Белая сажа
0,3
0,35 .0,4
0,5
0,35
0,35
0,35
0,35
0,35
0,35
0,35
0,35
0,35
0,35
0,35
0,35
0,35
0,35
0.35
0;35
1
1
0,9
1,2
1
1
1
1
1 .1
1
00;12
0,12
0,12
0,12
0,12
0,12
0,09
0,1
0,15
0,16
0,12
0,12
0,12
0,12
0,12
0,12
0,12
0,12
0,12
0,12
1
1
1
1
0,9
1,2
1
1
1
0,5
0,5
0,5
0,5
0,5
0,5
0,5 .
0,5
0,5
0,5
0,5
0,5
0,4
0,7
0,8
0;9
0,5
0,5
0,5
0,5
13
13
13
13
13
13
13
13
13
13
13
13
13
13
13
13
12
99,95
99,95
99,95
99,9
99,93
99,95
99,94
99,95
99,94
99,92
99,93
99,95
99,94
99.95
99,95
99,95
99,95
99,92
99,96
99,96