Коммутационный проводник для интегральной схемы

Коммутационный проводник для интегральной схемы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

союз соВетских

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВедомстВО сссР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4919861/21 (22) 19.03,91 (46) 30.04.93. Бюл. % 16 (71) Завод "Позитрон" (72) Е.В.Александров, И.Е.Илюк, К.В.Молчанов, И.Б.Пенцак и Я.Н.Сарапин (56) Коледов Л.А.:Технология и конструкция микросхем, микропроцессоров и микросборок. М,; Радио и связь, 1989,с. 71-73, .Заявка Японии М 62-174948, . кл, Н 01 L21/88, 1987. (54) КОММУТАЦИОННЫЙ ПРОВОДНИК

ДЛЯ ИНТЕГРАЛЬНОЙ СХЕМЫ

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано при изготбвлении межсоединений интегральных микросхем (ИС).

Целью изобретения является увеличение надежности межсоединения, На фиг.1 изображен коммутационный .проводник в разрезе; на фиг.2 — общий вид проводника с возможными дефектами.

Межсоединение состоит из ряда отдельных токопроводящих дорожек 1, размещенных между защитным покрытием 2 и изолирующей пленкой 3, расположенной на полупроводниковой подложке 4, Соседние дорожки соединены токопроводящими перемычками 5, При количестве дорожек 1 более двух перемычки 5 расположены- в шахматном порядке, Токопроводящие до« рожки 1 соединяют коммутируемые элементы А и В (фиг,2) при наличии дефектных областей С (повреждения, полученные в процессе фотолитографии) и D (механические повреждения, царапины).

„„5g„, 1812578 А1 (51)5 Н 01 1. 21/60

2 (57) Назначение: коммутационный проводник интегральной схемы предназначен для изготовления межсоединейий. Сущность изобретения: коммутационный проводник состоит из набора. отдельных токопроводя щих дорожек, размещенных между защитным покрытием и изолирующей пленкой, расположенйой на полупроводниковой подложке. Соседние дорожки соединены токопроводящими перемычками. При количестве дорожек более двух перемычки расположены в шахматном порядке. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Поврежденйе части дорожек 1 ведет к тому, что в области нарушения проводника ток течет по перемычкам 5 в обход дефектного участка (см. фиг,2) причем - Я

lgA = 1 + 2 + f3 = tg B = I 3 + l2 + !3

Перемычки 5 нецелесообразно располагать в один ряд, так как это ведет к возникнове.нию значительных поперечных напряжений, составляющих например, для алюминия, по- рядка(1...2).10 Н/м . Поэтому предлагается для компенсации этих напряжений перемычки располагать попеременно с каждой стороны токопроводящей дорожки, 1..е. в шахматном порядке, Предложенную конструкцию прбводника целесообразно использовать для коммутации наиболее нагруженных элементов интегральной схемы. При этом перемычки повышают надежность проводника, который сохраняет работоспособность даже при повреждении части токопроводящих дорожек в различных местах проводника.

1812578 увеличения надежности, соседние дорожки соединены токопроводя щими перемычками, Составитель Е, Александров

Техред M,Ìîðãåíòàë . Корректор M. Петрова

Редактор

Заказ 1577 . Тираж Подписное

В lMNflM Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r, Ужгород» улХагарина, 101

Формула изобретения

1. Коммутационный проводник для интегральной схемы, содержащий по крайней мере две параллельные токопровадящие дорожки, покрытые защитйым слоем и размещенные на изолирующей пленке, расположенной на полупроводниковой подложке, отличающийся тем, что, с целью

2. Проводник по п.1, о т л и ч ai ю щ и йс я тем, что количество дорожек выбрано превышающим две, а перемычки расположены в шахматном порядке.