Устройство управления процессом гальванического осаждения металла
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Использование: гальванотехника и системы управления процессами осаждения металлов для получения заданных толщин покрытий. Сущность изобретения: устройК исполнитель -А нону органу ство содержит рабоч ю ванну 1, анод, катод, датчик 2 толщины по рытия, устройство из мерения толщины, блок управления 7. Датчик 2 толщины покрытия выполнен в виде проволоки (закреплен в механизме 3 пере мещения, который состоит из привода и направляющего ролика 4), проходит через нагреватель 5, выполненный в виде трубки, и соединен с блоком управления, первый выход которого подключен к приводу механизма перемещения, второй к исполнительному органу, третий к устройству измерения толщины, которое является измерителем 11 термоэлектродвижущей силы и подключено к входу блока управления 7. состоящего из коммутатора 8 сигналов и таймера 9. Для сокращения уточненного времени нанесения покрытия оно снабжено блоком 10 задержки (корректирующим таймером). 3 ил. К сиг и a ft ному ycmpoucmoi/ ел с
союз советских
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (sl)s С 25 0 21/12
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ
ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ нан
«лридад некаж лн леренеисе
l(а пад
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4850363/26 (22) 23.04.90 (46) 07.05.93. Бюл. % 17 (71) Белогородский филиал Всесоюзного научно-исследовательского витаминного института (72) П.И,Стальнов, A.È.Ëèìàðîâ и Я.И,Чепчуров (56) Авторское свидетельство СССР
М 1260419, кл. С 25 0 21/12, 1985.
Авторское свидетельство СССР
М 1650793, кл, С 25 0 21/12, 1988. (54) УСТРОЙСТВО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ. ГАЛЬВАНИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ
МЕТАЛЛА (57) Использование: гальванотехника и системы управления процессами осаждения металлов для получения заданных толщин покрытий. Сущность изобретения: устройХ иглалнител. Ж «1813813 А1 ство содержит рабоч е ванну 1, анод, катод, датчик 2 толщины по рытия, устройство измерения толщины, блок управления 7. Датчик 2 толщины покрытия выполнен в виде проволоки (закреплен в механизме 3 пере" мещения, который состоит из привода и направляющего ролика 4), проходит через нагреватель 5, выполненный в аиде трубки, и соединен с блоком управления, первый выход которого подключен к приводу механизма перемещения, второй к исполнительному органу, третий к устройству измерения толщины, которое является измерителем 11 термоэлектродвижущей силы и подключено к входу блока управления 7. состоящего из коммутатора 8 сигналов и таймера 9. Для сокращения уточненного времени нанесения покрытия оно снабжено блоком 10 задержки (корректирующим таймером). 3 ил, 1813813
Изобретение относится к гальванотехнике и может быть использовано в системах управления процессами осаждения металла для получения заданной толщины покрытия.
Цель изобретения — повышение точности нанесения тонких покрытий за счет сокращения уточненного времени покрытия.
На фиг.1 показана блок-схема устройства управления процессом гальванического осаждения металла; на фиг,2 — положение датчика толщины и механизма перемещения в момент измерения текущего значения толщины покрытия; на фиг.3 — схема блока задержки (корректирующего таймера).
Устройство управления процессом гальванического осаждения металла (фиг.1) содержит рабочую ванну 1, анод, катод (на фиг.1 не показаны), датчик толщины покрытия 2, выполненный в виде проволоки, механизм перемещения 3, состоящий из привода (на фиг.1 не показан) и направляющего ролика 4, нагреватель 5, скользящие контакты 6, блок управления 7, состоящий из коммутатора сигналов 8, таймера 9, блока задержки (корректирующего таймера) 10, измеритель ТЭДС 11.
Датчик толщины покрытия 2 закреплен в механизме перемещения 3 и через скользящие контакты 6 соединен с коммутатором сигналов 8, который по команде таймера 9 может производить соединения датчика толщины покрытия 2 с катодом рабочей ванны 1 или измерителем ТЭДС 11. Выходтаймера соединен с приводом механизма перемещения 3, Измеритель ТЭДС 11 соединен с блоком задержки (корректирующим таймером) 10.
Устройство работает следующим образом. Таймеру 9 задается время покрытия
t датчика толщины покрытия 2. Датчик толщины покрытия 2 через скользящие контакты 6 и коммутатор сигналов 8 соединен с катодом рабочей ванны 1 при помощи механизма перемещения 3 погружен в электролит вместе с покрываемыми деталями (на фиг.1 не показаны). По истечении времени, заданного таймеру 9, от него подается команда на коммутатор сигнала 8, по которой он производит отключение датчика толщины покрытия 2 от катода рабочей ванны 1 и
50 подключение его к измерителю ТЭДС 11.
Одновременно от таймера 9 подается команда на включение привода механизма перемещения 3, в результате чего датчик толщины покрытия 2 перемещается в положение, показанное на фиг.2. Измеритель
ТЭДС 11 регистрирует сигнал ТЭДС, возникающий при нагреве в т.А и имеющий функциональную зависимость с толщиной покрытия, Сигнал от измерителя ТЭДС 11 поступает на блок задержки (корректирующий таймер) 10. Схема блока задержки (корректирующего таймера) 10 показана на фиг.3. Он содержит времязадающий мост
R1-Rç и конденсатор С, ключ сброса и нульорган. При поступлении сигнала от измерителя ТЭДС 11 конденсатор заряжается через Вз. При равенстве напряжений на конденсаторе С и делителе R1, R2 срабатывает нуль-орган и запускает ключ сброса, который разряжает конденсатор С до исходного значения по определенному закону, который определяется амплитудой входного сигнала, т.е. текущим значением толщины покрытия и временем покрытия (время г заданное таймеру 9), Таким образом длительность задержки определяется действительной скоростью покрытия, Величина
t являегся постоянной времени цепи блока задержки (корректирующего таймера) и определяется параметрами времяэадающего моста t = Кз С. По истечении остаточного времени покрытия (полного разряжения конденсатора С) от блока задержки (корректирующего таймера) 10 подается команда исполнительному органу на отключение тока рабочей ванны 1.
Формула изобретения
Устройство управления процессом гальванического осаждения металла, содержащее рабочую ванну, анод, катод, датчик толщины покрытия в виде проволоки, закрепленный в механизме перемещения, трубчатый нагреватель, блок управления, измеритель ТЭДС, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности нанесения тонких покрытий за счет сокращения уточненного времени покрытия, оно дополнительно снабжено блоком задержки (корректирующим таймером). от
Car. Э
Редактор
Заказ 1814 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва. Ж-35, Раушская наб„4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 измерителя т.э.д.с.
Составитель А.Лимэров
Техред М.Моргентал Корректор Л,Ливринц