Способ получения изображения микросхемы методом трафаретной печати

Способ получения изображения микросхемы методом трафаретной печати

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Использование: в трафаретной печати. Сущность изобретения: в начале процесса нанесения пасты заполняют ею отверстия трафарета контрракелем, а затем проводят выравнивание пасты в отверстиях трафарета с одновременным ее продавливанием на подложку ракелем, расположенным под углом 100-160° к поверхности печати. 1 ил., 1 табл.

СОЮЗ СОВЕ СКИХ сОциАлистических

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕ НТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

Ъ

1()()

1 Ql Ю ()

1 ()

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4827038/12 (22) 04,04.90 (46) 15.05.93. Бюл, М 18 (71) Научно-производственное объединение

"Плазма" (72) А.Н.Ивлюшкин, В.А.Смирнов, P.Н.Фомина и И.П.Харитонов (56) Книга Д.Хамер, Дж. Биггерс "Технология толстопленочных гибридных интегральных схем", "Мир", М., 1975.

Изобретение относится к технике, в которой возможно применение трафаретной печати, в частности в производстве газоразрядных приборов (ГРП).

Целью настоящего изобретения является повышение качества отпечатков.

На чертеже показана схема предлагаемого способа получения изображения.

Способ заключается в прижатии к подложке 1 трафарета 2, заполнение с помощью контрракеля 3 отверстий в трафарете 2 пастой

4 и последующим выравниванием ее в отверстиях трафарета с одновременным продавливанием пасты на подложку ракелем 5, расположенным под углом 100-160 к поверхности трафарета.

Если в процессе печати угол наклона ракеля будет менее 100 ; то лезвие ракеля оказывает сильное давление на пасту и она может затекать под трафарет, В результате этого происходит раздавливание отпечатка на подложке и как следствие резко возрастает разброс геометрических размеров отпечатка.

При угле наклона ракеля более 160 давление на пасту, вызванное движением.SU 1815239 А1 (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ

МИКРОСХЕМЫ МЕТОДОМ ТРАФАРЕТНОЙ ПЕЧАТИ (57) Использование: в трафаретной печати.

Сущность изобретения: в начале процесса нанесения пасты заполняют ею отверстия трафарета контрракелем, а затем проводят выравнивание пасты в отверстиях трафарета с одновременным ее продавливанием на подложку ракелем. расположенным под углом

100-160 к поверхности печати. 1 ил„1 табл. ракеля, недостаточно и не обеспечивает

Полное выдавливание пасты из отверстий в трафарете на подложку. Следствием этого является большой разброс толщины отпечатка на подложке.

Для достижения требуемой точности при формировании отпечатков по предлагаемому техническому решению необходимо использовать пасты с вязкостью от 2000 до

10000 Пэ. При использовании паст с вязкостью менее 2000 Пэ отпечаток имеет увеличенные геометрические размеры из-за растекания ее после отрыва трафарета.

Использование паст с вязкостью более

10000 Пэ не позволяет полностью заполнить все отверстия в трафарете. И при движении ракеля она очищается, не продавливаясь на подложку.

Изобретение иллюстрируется примером.

Для формирования отпечатков в виде полос использовали трафарет, изготовленный из металлической ленты толщиной 0,2 мм. Отпечаток формировался на стеклянной подложке с элементами в виде барьеров выl

1815239 сить точность отпечатков и дает воэможность формировать разделительные элементы на рельефной поверхности, Составитель .Н. Комаров,, Техред M.Моргентал Корректор С. Шекмар

Редактор

Заказ 1616 Тираж .. Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 сотой 0.15 мм, в направлении, перпендикулярном расположению барьеров. Режим печати: скорость перемещения ракеля 52 мм/сек, пневматическое давление на ракель — 9,81 10 н/м . Формирование элеа г ментов проводилось согласно способу при углах наклона ракеля 95О, 100 о, 110О, 160О, 165", а контрракеля — 60О. Вязкость пасты

8400 Пз. Рисунок на трафарете выполнен в виде сквозных продольных полос шириной

0,47 мм и длиной 190 мм. Расположение полос параллельно ходу.ракеля. Параметры отпечатков приведены в таблице.

Таким образом, предлагаемый способ получения иэображения позволяет повыФормула изобретения

Способ получения изображения микросхемы методом трафаретной печати, заключающийся в выравнивании пасты на трафарете с помощью контрракеля и про10 давливании ее через трафарет посредством ракеля,отличающийся тем,что,с целью повышения качества отпечатков при продавливании пасты через трафарет, ракель располагают под углом 100-160 к поверхности трафарета.