Способ получения магнитного носителя из тонких пленок оксида железа и устройство для его осуществления

Способ получения магнитного носителя из тонких пленок оксида железа и устройство для его осуществления

Реферат

 

1. Способ получения магнитного носителя из тонких пленок оксида железа химическим осаждением из паровой фазы путем разложения пентакарбонила железа в окислительной среде на подложке при температуре 250 - 450^oC при фиксированном отношении давления продуктов реакции разложения к парциальному давлению кислорода и давлении в камере осаждения 10^-2 - 1,0 мм рт.ст. при непрерывном удалении из нее газообразных продуктов, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости, коррозионностойкости и магнитных свойств пленок, в паровую фазу дополнительно вводят летучее соединение кобальта, осмия или цинка, а в качестве окислительной среды используют влажный кислород и процесс осаждения ведут при отношении давления продуктов реакции разложения пентакарбонила железа к парциальному давлению влажного кислорода, равном 1,1 - 1,3.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве летучих соединений кобальта, осмия и цинка используют соответственно нитрозилкарбонилкобальт, четырехокись осмия и диэтилцинк.

3. Способ по пп.1 и 2, отличающийся тем, что, с целью получения магнитных пленок на основе -Fe₂O₃, содержащих 2,5 ат.% кобальта, 3,5 ат.% цинка и 1,2 ат. % осмия, отношение давлений продуктов разложения нитрозилкарбонилкобальта и диэтилцинка и давления паров четырехокиси осмия к давлению продуктов разложения пентакарбонила железа принимают равным 0,025 : 0,05 и 0,015 соответственно.

4. Способ по пп.1, 2 и 3, отличающийся тем, что, с целью улучшения однородности пленок, снижения дефектности, уменьшения толщины дисковой основы используют в качестве подложки лейкосапфир, а для увеличения плотности записи используют монокристаллический лейкосапфир с плоскостной ориентацией преимущественно (1120) или (0001).

5. Устройство для получения магнитного носителя из тонких пленок оксида железа химическим осаждением из паровой фазы, содержащее камеру, подключенную к вакуумной системе через откачное отверстие, дискодержатель, установленный на валу вращения, нагреватель и источники паров вне нагревателя, установленные симметрично по обе стороны диска, отличающееся тем, что, с целью групповой обработки дисков, сокращения времени прогрева, улучшения однородности пленок по площади диска и на двух его сторонах, оно снабжено фрикционами, дискодержатель выполнен с тонкими стержнями, расположенными радиально к валу вращения, и осями на концах каждого стержня для свободной установки дисков, фрикционы смонтированы внутри камеры с возможностью контакта с диском при вращении дискодержателя, нагреватель выполнен в виде разомкнутых плоских колец, смонтированных с возможностью обхвата поверхности дисков, откачное отверстие выполнено симметрично плоскости вращения дисков.