Патент ссср 182250
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
I82 250
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 20.lV.)965 (№ 1004135/26-25) с присоединением заявки ¹
П риоритет
Опубликовано 25.Ч.)966. Бюллетень № 11
Дата опубликования описания 7.UII.)966
К т 2)î., 2),, 0) МПК Н 0)J
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Мииистров
СССР
УДК 537,581:621.365.91 (088.8) СПОСОБ КОНТРОЛЯ НАИМЕНЬШЕГО ДИАМЕТРА
ПЯТНА ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА
При использовании в измерительной цепи постоянного напряжения электрическое поле может влиять на электронный пучок. В этом случае через измерительную цепь проходят токи первичного пучка и вторичных электронов, что вносит дополнительную трудно учитываемую ошибку. Для ее устранения предлагается питать измерительную цепь импульсным напряжением, подавая измерительные
1О импульсы в промежутках между рабочими.
Измеряя ток, потребляемый от источника импульсного напряжения, можно точно определить момент наилучшей фокусировки.
1. Способ контроля наименьшего диаметра пятна электронного луча при импульсной электроннолучевой обработке материалов в
2О вакууме, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса фокусировки, измеряют ток термоэмиссни с обрабатываемой детали или с контрольной пластины и регулируют фокусирующие линзы так, чтобы получить максимальное значение тока термоэмиссии.
2. Способ по п. 1, с целью исключения луч электрического
30 мой измерения тока отличающийся тем, что, влияния на электронный поля, создаваемого схетермоэмнссии, и нсклюПри размерной импульсной электроннолучевой обработке материалов необходимо сфокусировать электронный пучок так, чтобы на обрабатываемой детали получилось электронное «пятно» минимального диаметра.
Предлагается для обнаружения момента острой фокусировки пучка использовать термоэлектронную эмиссию с обрабатываемой детали или (если материал обрабатываемой детали не позволяет получить значительную эмиссию) со специальной контрольной пластины, вводимой вместо детали. Известно, что при заданной мощности пучка температура в пятне примерно обратно пропорциональна площади пятна, а плотность тока эмиссии растет при повышении температуры быстрее, чем по экспоненциальному закону.
Поэтому, несмотря на уменьшение площади пятна с уменьшением диаметра, общий ток эмиссии пятна при улучшении фокусировки возр а стает.
По предлагаемому способу обрабатываемая деталь изолируется от заземленных частей установки, между деталью и землей включается источник напряжения (минусом к детали) и с помощью измерительного прибора контролируется ток в цепи этого источника напряжения. Максимуму тока соответствует минимум диаметра пятна.
Предмет изобретения
182250 импульсы напряжения подают в промежутках между рабочими импульсами, Составитель В. А. Богданова
Редактор и. Джарагетти Техред Г. F. Петровская
Заказ !931/5 Тираж 00 Формат бум. 60X90 /8 Объем О,! изд. л. Подписное
ЦНИ1ЛПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 чения ошибок, создаваемых токами вторичных и первичных электронов, измерительные
Корректоры: О. Б. Тюрина и T. Н. Костикова