Устройство для измерения толщииы и скорости нанесения пленок

Устройство для измерения толщииы и скорости нанесения пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

I82340

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено ОЗ.IV.1965 (№ 1002173/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 25Х.1966. Бюллетень ¹ 11

Дата опубликования описания 22.VII.1966

Кл. 42b, 12/03

МПК G 01Ь

Комитет по делам изобретений и открытий при Сосете Мииистрое

СССР

УДК 531,7:621.9.08:531. .717.1:531.767 — {088.8) . 1

В. В. Устинов, Н. М. Григорьева, А. А. Гришин, Л. В. Белбв,; .

А. A. Брусиловский и О. П, Синалаев ю ч

Авторы изобретения

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

И СКОРОСТИ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК

Известны устройства для измерения толщины:и скорости нанесения пленок в процессе их нанесения на основу, содержащие два генератора, пьезорезонаторы, из которых один пьезорезонатор является эталонным и помешен вне зоны контроля, с другой — измерительным и расположен в контролируемой части рабочего потока. Оба генератора соединены со смесителем, выделяющим разностную частоту, значение которой служит мерой толщины .наносимой пленки.

Однако в известных устройствах измерительные пьезорезонаторы нагреваются рабочим потоком, что вызывает погрешность измерения.

Для расширения диапазона измеряемых толщин и автоматизации процесса в предлагаемом устройстве установлена заслонка с блоком управления, поочередно переключающая контролируемую часть потока наносимого материала с одного резонатора на другой и обратно. Входы смесителя частот соединены с генераторами; выходы — с исполнительным блоком.

На чертеже изображена блок-схема описываемого устройства.

Устройство содержит два пьезоэлектрических резонатора 1, подключенных к генераторам 2. Около резонаторов 1 помещается заслонка 8 с блоком управления 4. Сигналы с генераторов подаются на смеситель 5, соединенный с олоком управления 4.

Устройство работает следующим образом.

Пьезоэлектрические резонаторы 1 с заслонками 8 помещаются в контролируемой части потока напыляемого материала. Каждый из кристаллических резонаторов задает частоту соответствующего генератора. Частоты обоих генераторов смешиваются в смесителе 5, а

10 сигнал, получаемый на выходе смесительного блока через блок управления 4, управляет заслонкой 8, направляющей поочередно поток напыляемого материала то на первый, то на второй резонатор.

Предмет изобретения

Устройство для измерения толщины и скорости нанесения пленок в процессе пх нанесения на основу, содержащее два пьезоэлектрических резонатора с генераторами, отлнчаюи ееся тем, что, с. целью расширения диапазона измеряемых толщин и автоматизации процесса. в нем установлена заслонка с блоком управления, поочередно переключающая

25 контролируемую часть потока наносимого материала с одного резонатора на другой и обратно, смеситель частот, входы которого соединены с генераторами, выход — с испол..ительпым блоком, управляющим положе30 нием заслонки.

182340

Составитель Г. Ф. Корчагина

Редактор Ь. С. Нанкина Техред Г. Е. Петровская Корректоры: М. П. Ромашова и 3. М. Райнина

Заказ 1939/12 Тираж 1100 Формат бум. 60+90 /е Объем 0,13 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2