Состав для очистки поверхности диэлектрика

Состав для очистки поверхности диэлектрика

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Сущность изобретения: состав для очистки поверхности диэлектрика содержит полирксизтиленглкколевые эфиры синтетических первичных жирных спиртов фракции 0,15-0,65%, полиоксиэтиленгликолевые эфиры синтетических первичных жирных спиртов фракции Ci2-Ci-$ 0,15-0,65%, гексзметафосфат или триполифосфаг натрия 0,45-0,65%. натриевое жидкое стекло 0,55-1,50% и воду до 100%. 1 табл.

COIO3 СОВЕТСКИХ социАлистических

PЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

0,15-0,65

0,15-0,65

0,45-0,65

0,55-1,50

Остальное (21) 4906973/04 (22) 04,02.91 (46) 07,07.93. Бюл. М 25 (71) Ярославское научно-производственное объединение "Электронприбор" (72) Н.П.Космодемьянская, И.Г.Шурова и

Л.А.Аранович (56) Патент Великобритании N. 1287940, кл. С 5 D, опублик, 1972.

Авторское свидетельство СССР

М 1068470, кл. С 11 0 1/12, 1982, Изобретение относится к средствам для очистки поверхности диэлектрика (стекла, ситалла и поликора) и может быть использовано при производстве гибридных интегральных схем.

Цель изобретения — повышение качества очистки, Поставленная цель достигается тем, что в известном составе для очистки поверхности диэлектрика, содержащем поверхностно-активное вещество, фосфорсодержащую добавку и воду, состав содержит в качестве поверхностно-активного вещества смесь полиоксиэтиленгликолевых эфиров синтетических первичных жирных спиртов фракций Сы-С2о и фракции С12-Си, в качестве фосфорсодержащей добавки он содержит гексаметафосфат или триполифосфат натрия и дополнительно состав содержит натриевое жидкое стекло при следующем соотношении компонентов, мас. ф,;

» Sd. „1825816 А1

<Я1;., С 11 9 1/72//(С 11 0 1/72, 3:04, 3:075) (54) СОСТАВ ДЛЯ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКА (57) Сущность изобретения: состав для очистки поверхности диэлектрика содержит полиоксизтиленгликолевые эфиры синтетических первичных жирных спиртов фракции Си-Cap 0,15-0,65$, полиоксизтиленгликолевые эфиры синтетических первичных жирных спиртов фракции С12-С14

0,15-0,65;4, гексаматафосфат или триполифосфат натрия 0,45-0,65, натриевое жидкое стекло 0,55-1,50 g и воду до 100 g,. 1 табл.

Полиоксизтиленгликолевые эфиры синтетических первичных жирных спиртов фракции

С16 С>р (Синтанол

АЦСЗ-12)

Полиоксизтиленгликолевые эфиры синтетических пе рвичных жирных спиртов фракции

С1р-С

AAM-10)

Гексаметафосфат или триполифосфат натрия

Н атрие вое жидкое стекло

Вода

1825816

Изобретение иллюстрируется следующими примерами.

Пример 1. В дистиллированной воде готовят раствор смеси Синтанола АЦСЭ-12, Синтанола АЛМ-10, гексаметафосфата натрия и натриевого жидкого стекла с концентрациями, мас.g: 0,15; 0,15; 0,45; 0,55 соответственно, Приготовленный раствор (объем 2 л) заливают в реакционную камеру установки ПВХО-ГС-60-1 и нагревают до, температуры 55"С. Установленные в кассету поликоровые подложки погружают в моющий раствор и обрабатывают в течение 12 мин с использованием вибрации.

После обработки в моющем составе подложки промывают в токе дистиллированной воды втечение 1,5-2 мин, проверяют на качество очистки поверхности по степени смачивания водой без образования капель, сушат на центрифуге при скорости вращения ротора 3000 об/мин, и далее подложки поступают на вакуумное напыление структуры V-AI, затем проводят фотолитографию и проверку на качество сварки и адГезии нзпыленнОГО контактноГО слОя к подло>кке.

АналоГично была проведена Очистка стеклянных и ситалловых подложек.

Показатели качества очистки стеклянных, ситалловых и поликоровых подложек приведены в таблице.

Пример 2, В дистиллированной воде готовят раствор смеси Синтанола АЦСЭ-12, Синтанола АЛМ-10, гексаметафосфата натрия и натриевого жидкого стекла с концентрац ями, мас, : 0,35; 0.35: 0,55; 1,00 соответственно. Приготовленный раствор (объем 2 л) заливают в реакционную камеру установки ПВХО-ГС-60-1 и нагревают до температуры 50 С.

Установленные в кассету поликоровые подложки погружают в моющий раствор и обрабатывают в течение 15 мин с использованием вибрации, Далее проводят операции по примеру 1, Аналогично была проведена очистка стеклянных и ситалловых подложек.

Показатели качества очистки стеклянных, ситалловых и поликоровых подложек приведены в таблице.

Пример 3. В дистиллированной воде готовят раствор смеси Синтанола АЦС3-12, Синтанола АЛМ-10, гексаметафосфата натрия и натриевого жидкого стекла с концентрациями. мас.$: 0,65; 0,65; 0,65: "„50 соответственно. Приготовленный раствор (объемом 2 л) заливают в реакционную камеру установки ПВХО-ГС-60-1 и нагревают до температуры 60 Ñ. Установленные в кассету поликоровые подложки погружают в мо0,150.65 ющий раствор и обрабатывают в течение 10 мин с использованием вибрации. Далее проводят операции по примеру 1.

Аналогично была проведена очистка си5 талловых и стеклянных подложек.

Показатели качества очистки стеклянных, ситалловых и поликоровых подложек приведены в таблице.

Было проделано еще 3 идентичных при"0 мера, отличающиеся от предыдущих лишь тем, что вместо гексаметафосфата натрия использовали триполифосфат натрия.

Очистку подложек в составе по прототипу проводили также с использованием виб15 рации.

Предлагаемый состав обеспечивает высокую эффективность процесса очистки. Он полностью снимает с поверхности диэлектрика (стекла, ситалла, поликора) органиче2Q ские, минеральные и механические загрязнения, не вносит дополнительных загрязнений. Как видно из таблицы, состав обеспечивает полную смачиваемость водой очищенных пластин и высокую адгезию на25 несенных на них контактных слоев. Биологическая разлагаемость раствора составляет 90;ь. Выход годных подложек, отмытых в заявляемом составе, составляет

98-100 ф„в составе по прототипу — 25-85 .

Формула изобретения

Состав для очистки поверхности диэлектрика, содержащий поверхностно-активное вещество, фосфорсодержащую добавку и воду,отлича ющийся тем, что,с целью

35 повышения качества очистки, состав содержит в качестве поверхностно-активного вещества смесь полиоксиэтиленгликолевых эфиров синтетических первичных жирных спиртов фракции Си-Czo и фракции C

Полиоксиэтиленгликолевые эфиры синтетических первичных жирных

50 спиртов фракции С<о-Сщ 0,15065

Полиоксиэтиленгликолевые эфиры синтетических первичных жирных

55 спиртов фракции С1г-С14

Гексаметафосфат или триполифосфат катрия 0,450,65

Натриевое жидкое стекло 0,55-1,50

Вода До 100

1825816

I а о х

1 1 S с х о

РР! r с о х

I C 1 Э

1 1 1с u

I m

z с а с

I Э 1 Ф

1 I 1 II

1 1

I

I

1

1 44

1

1 К

2 х

1 C

1

1 с о

К

1 ЗЗ

I—

СЗ

ОЗ

3 \

I

I

1

СЗ

«D

I I

1 1

СЗ

СЗ! о а

4I х

1 ! о о

1

1 1

1 X

r. а о ох

1 с с си л

"О

1 л

\У л м а

1 а v

CI

ОЗ а

ОЗ

1 1

I Х

1 Э

l "СЕ р

7 оз сл

О

СЗ

C\

СЗ

С1

CI о

Ф

3 о а

1. о о

1о

1 ! 5

1 X 14

I И I

LD

f4 а сЧ

1 а о х

1 5

1 о

1 C со

О О а а а

I

1

1 б

° 1

1 ! !

1 1

1 Y

1 41

1- О

v c

1 ! 2

z e

1 V I»

С4 IA CA а а

ОЗ

О Л С4 а а

СЗ

1 !

СЗ ! а. а а

1 I t

1 Э m

I 7 I Ф оэз

rmаIо 1- !о е

О O 47

t"

1 В к и

2cz

å ñ tо D o

m I X

X Ф эа1-х аIOg*

1

1

Iat LA СЗ

С! С»

1 1 о

1 C

1 m

I

I!

e t CI з, а оэ

I- Ф е Ф 1- е ааоа

IA ! Ъ

О О О а а сз

Cl

О

I

Ф с

alI

4 а С о

СЗ

I 1 1

1 и

СЗ

СЗ а о сэ !.mm xt1 — Э a4 О

1 а сз О а о а

СЗ

СЗ

О

О

СЗ

11 1 If. ! о и

S 8

1azme ! О S ! а а а

aA O о

LA л

СЗ

I

1 Ф ию х 11 ЭЭ т.

1- !С

I4 X

О а

V ILA

- 3

СЗ а аа

С1

LA а

СЗ а а мъ иЗ

СЗ 47

I

I з

v х х о э

1 X о 1! C Р)

I

1

Ф Z . 1 о х

I- 7LI t

aY1

z m < са й1

v Oo

;3

1й о g и

m3 а л о оо

1 а а а м о о о о а !

1

Ф

Ct о

tO!

z z с х

З, IС

К

* К и У Ф

ЭЗКО х Ф х а

1- aaz ээзс

1- с !Р и

t !

X

С1 хи х

Ф 1 а а!

L- t L! i

Э I

Ф X

Э v с о к

С. Е

L A

1 I.

1 X

u х

I g 11 с z

О 1с и а а а м ЧЗ

ct o .о а м о а о о

Р- О

И I о а

СЗ О а

I

s a ЛМ

1 C о s

l 1I 1

1 1

I 1 ! I

I I X

1 I X

I 1 И

1 t Э

1 I L

I 1

1 1 Ф

1 I l4

1 X I X х z

Р- 7

u t z

Э

О!о

I 1 о u

1 Ф 1

I l 1 X о

4l 1 и

I m!9

I + 1 Э

I . 1 !4

I 1 Ф

I )

I 1

v ! I

1 IL

1 I I

1 1 Э а

I I 4З

I!

1

I

I

1

1 !

1

I

1. Р

1 и

1 !

I S

I S

1 X

I m о

1 1 о

1 ! m

I lt

I Iи о

I l-l !

I

I

I т

1

I

Э К

zzxx

0 З! 7 2 2

YaXmZ

sxI-aa

cem41s

С.41!-C !Р

1 1 I ° Л аР

° 1

СЧ М -т IA.О ЛС

I X

Ф Iч) 1- Ф

О XLA л

Ф 7 Ф

1- Y Z о !

М Ф

zccm

ЛЛY

vux кссх

a0 X Х

Ф аа

m e e 1с сх с у

Ф Х. ZYY Я е43х