Способ измерения напряжения микропробоя мдп-структур

Способ измерения напряжения микропробоя мдп-структур

Реферат

 

Способ измерения напряжения микропробоя МДП-структур, заключающийся в том, что МДП-структуру заряжают путем пропускания прямоугольного импульса тока и одновременно измеряют временную зависимость напряжения на МДП-структуре, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени измерения и упрощения способа, одновременно с МДП-структурой заряжают емкость сравнения произвольной величины, определяют отношение емкости МДП-структуры к емкости сравнения n = C_мдп/C_ср, при этом заряжают МДП-структуру импульсом тока с амплитудой I_мдп = k I_пор, где I_пор - пороговая величина тока; k - коэффициент пропорциональности (k > 1), а емкость сравнения - импульсом тока с амплитудой I_ср = m I_мдп, где m - коэффициент пропорциональности, и определяют напряжение микропробоя как напряжение на МДП-структуре, при котором отношение производной по времени напряжения на МДП-структуре к производной по времени напряжения на емкости сравнения равно величине (k - 1)/(n m k).

Дата прекращения действия патента: 20.03.2002

Номер и год публикации бюллетеня: 20-2003

Код раздела: MM4A

Извещение опубликовано: 20.07.2003