Источник плазмы

Источник плазмы

Реферат

Источник плазмы, содержащий цилиндрический резонатор, СВЧ-генератор, диэлектрическую разрядную трубу, размещенную соосно резонатору и соединенную с системой откачки и системой напуска рабочего газа, и магнитную систему в виде соленоидов, соосных с диэлектрической трубой и подключенных к источнику постоянного напряжения, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности ионизации рабочего газа, источник содержит дополнительную магнитную систему, состоящую по меньшей мере из четырех электромагнитов, установленных симметрично относительно продольной оси симметрии разрядной трубы, причем каждый электромагнит подключен к источнику переменного напряжения таким образом, чтобы разность фаз между соседними электромагнитами составляла 360^o/n, где n - число электромагнитов.