Пьезоэлектрический преобразователь поверхностных акустических волн (пав)

Пьезоэлектрический преобразователь поверхностных акустических волн (пав)

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к акустоэлектронике и может быть использовано при со7 о- 1 е сто- j ., 1 ил. 1 А-А ЈLL± здании полосовых фильтров, линий задержки и т.д. Цель изобретения - уменьшение неравномерности амплитудно-частотной характеристики преобразователя в полосе пропускания. На диэлектрический звукопровод 1 нанесены сплошной металлический электрод 2, пьезоэлектрическая пленка 3, гребенчатые электродные структуры 4 и межэлектродные металлические площадки 5. Гребенчатые электродные структуры выполняются вдвинутыми друг в друга, длина электродов соответствует закону аподизации.а контактные площадки делаются в виде полосок неизменной ширины. Приведено соотношение шириньГполосок и длины поверхностной акустической волны. 1 ил. / (Л С

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 Н 03 Н 9/00

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) СПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2.

1 (21) 4954906/22 (22) 03.06.91 (46) 23,08.93. Бюл, M 31 (71) Ленинградское научно-производственное объединение "Авангард" (72) А.В.Груздев, В.С.Усов и Д,И,Дегтярев (56) Заявка Японии

% 5442239. кл. Н 03 Н 9/00, 1979.

Морозов А.и. и др. Пьезоэлектрические преобразователи для радиоэлектронных устройств. М.; Радио и связь, 1981, с. 30-32. (54) ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛН (57) Изобретение относится к акустоэлектронике и может быть использовано при со1

ЯЛ 1835591 А1 здании поласовых фильтров, линий задержки и т.д, Цель изобретения — уменьшение неравномерности амплитудно-частотной характеристики преобразователя в полосе пропускания. На диэлектрический звукопровод 1 нанесены сплошной металлический электрод 2, пьезоэлектрическая пленка 3. гребенчатые электродные структуры 4 и межзлектродные металлические площадки 5, Гребенчатые электродные структурь1 выполняются вдвинутыми друг в друга, длина электродов соответствует закону аподизации, а контактные площадки делаются в виде полосок неизменной ширины, Приведено соотношение ширины полосок и длины поверхностной акустической волны, 1 ил.

1835591

Изобретение относится к акустоэлектронике и может быть использовано в различных акустоэлектронных устройствах, например, при создании полосовых фильтров, линий задержки и др. устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ).

Цель изобретения состоит в уменьшении неравномерности амплитудно-частотной характеристики преобразователя в полосе пропускания.

Поставленная цель достигается тем, что в пьезоэлектри <еском преобразователе, содержащем пьезоэлектрическую подложку, на одной из основных граней которой расположен выполненный в виде металлической пленки сплошной электрод, на котором размещена пьезодиэлектрическая пленка с расположенными на ней двумя гребенками металлических электродов, выполненными аподизованными и сдвинутыми одна относительно другой на половину длины

ПАВ и соединенными с соответствующими суммирующими шинами, и металлические площадки, размещенные между металлическими электродами гребенок, причем ширина металлических электродов гребенок выбрана из выражения

dm Япдв/2 — 2h, где dm — ширина металлического электрода гребенок; пдв — длина волны ПАВ;

h — толщина пьезодиэлектрической пленки, а протяженность металлических площадок вдоль направления распространения

ПАВ выбрана из условия равенства пути, проходимого ПАВ под металлизированными участками пьезоэлектрической подложки на все протяжение соответствующей гребенки.

Нэ чертеже представлен преобразователь ПАВ, Преобразователь содержит диэлектрический звукопровод 1, нэ который нанесены; сплошной металлический электрод 2, пьезодиэлектрическая пленка 3, гребенчатые электродные структуры 4, межэлектродные металлические площадки 5.

Выравнивание фронта возбуждаемой волны, уменьшение ее переотражений электродами гребенок и уменьшение емкости при работе преобразователя предлагаемой конструкции достигается тем, что две электродные гребеаки выполняются вдвинутыми друг в друга, длины электродов которых сделаны изменяющимися в соответствии с требуемым законом аподизации, контактные площадки делаются в виде полосок неизменной ширины, 8 сво5

40 бодные зоны между концами электродов гребенок введены сплошные металлизированные площадки, конфигурация которых обеспечивает равенство пути, проходимого

ПАВ под (или над) металлизировэнными участками поверхности пьезоплаты на протяжении всей решетки и по любой траектории, перпендикулярной электродной гребенке, а зазоры между введенными металлизированными площадками, любым электродом составляют не менее Япдв!4. Толщина пьезопленки не должна превышать 1/8 длины волны ПАВ, Ширина металлических электродов гребенок не должна превышать значения, определяемого из выражения

Л ю

2 где dm — ширина металлических электродов гребенок;

Япдв — длина волны ПАВ;

h — толщина пьезопленки

Ограничения толщины пьезопленки 2 и ширины электродов 1 необходимы для того, чтобы электрическое поле от штырей было бы замкнуто через металлический электрод

3, а в противном случае возникнут искажения электрического поля в зоне перекрытия однофазных электродных решеток, что приведет к искажению импульсного отклика всего преобразователя, Преимущества предложенного преобразователя по сравнению с прототипом подтверждены экспериментально при сопоставлении амплитудно-частотных характеристик образцов полосовых фильтров, выполненных на основе преобразователей-прототипом и преобразователей предлагаемой конструкции. Зафиксировано уменьшение неравномерности вершины

АЧХ фильтров на 1,5 — 2,0 дБ, Формула изобретенияПьезоэлектрический преобразователь поверхностных акустических волн (ПАВ), содержащий пьезоэлектрическую подложку, на одной из основных граней которой расположен выполненный в виде металлической пленки сплошной электрод, на котором размещена пьезодиэлектрическая пленка с расположенными на ней двумя гребенками металлических электродов, выполненными аподизовэнными и сдвинутыми одна относительно другой на половину длины ПАВ и соединенными с соответствующими суммирующими шинами, и металлические площадки, размещенные между металлическими электродами гребенок, от лича ю щийся тем, что, с целью уменьшения неравномерности амплитудно-частотной характеристики в полосе про1835591 пускания, ширина металлических электродов гребенок выбрана из условия:

dm < il,/2 — 2h, h < 1/8

Составитель О. Кудрявцева

Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор М. Андрушенко

Редактор

Заказ 2985 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР t13035, Москва. Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

5 где d® — ширина металлического электрода гребенок, м;

it- длина ПАВ, м;

h — толщина пьезодиэлектрической пленки,м; 10 а протяженность металлических площадок вдоль направления распространения ПАВ выбрана из условия равенства пути, проходимого поверхностной акустической волной под металлизированными участками пьезоэлектрической подложки на всем протяжении соответствующей греоенки, причем величина зазора между металлическими площадками и электродами соответствует условию

Л пдв/4.