Электронный микроскоп

Электронный микроскоп

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Соеетских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 08.И1.1963 (№ 845855/26-10) с присоединением заявки №

Кл, 21g, 37/01

МПК Н 01j

Комитет по делам изобретеиий и открытий при Сосете (Лииистрсс

СССР

Приоритет

Опубликовано 09.VI I.1966. Бюллетень № И УДК 621.385.833(088.8) Дата опубликования описания 1.IX.1966

Лвторы изобретения

В. H. Верцнер и Ю. Ф

Заявитель

ЭЛЕКТРОННЫЙ МИК1 ОСКОП

Известны электронные микроскопы, увеличивающие изображение малоконтрастных объектов электронами низких скоростей, в которых узел формирования изображения объекта содержит расположенные на оптической оси кондецсор, объектив и камеру объектов.

Описываемый микроскоп отличается от известных тем, что его узел формирования изображения малоконтрастных объектов служит замедлителем пучка электронов, проходящего в стволе электронного микроскопа. Он выполнен в виде расположенных на оптической оси двух внешних электродов и одного внутреннего с полостью, служащей камерой объектов.

Торцы электродов со стороны входа и выхода образуют коиденсор и иммерсионный объектив соответственно. При этом внешние электроды заземлены, а внутренний электрод и электрически контактирующий с ним объектодержатель подключены к вводу регулируемого высокого напряжения.

Такое выполнение электронного микроскопа позволяет устранить влияние на качество конечного изображения загрязнения внутри ствола микроскопа, увеличить эффективность работы люминофоров и фотоматериалов его индикационных устройств и упростить конструкцию узла формирования изображения объекта.

На чертеже показан узел формирования изображения объектов в разрезе.

Электроды 1 и 2 находятся под потенциалом земли. На электрод 8 от высоковольтного делителя через высоковольтный ввод 4 подается высокое напряжение.

Объект 5 и объектодержатель 6, помещенные в полости электрода 8, служащей камерой объектов, электрически контактируют и, следовательно находятся под тем же потенциалом. Втулка 7 изолиру.ет объектодержатель. Фокусировка производится при помощи осевого перемещения объекта. За электродом

2 расположены подвижная аппертурная диафрагма 8 и электромагнитный стигматор 9.

Ограничивающая диафрагма 10 вырезает тонкий пучок электродов, выходящих из электронной пушки (на чертеже не показано), которая крепится на верхней части корпуса узла формирования объектов.

Форма электрода 1 и торец электрода 8, образующих конденсор, подобраны так, что пучок электродов фокусируется на объекте.

Электрическое поле конденсора понижает потенциал пучка электронов до величины, равной разнице между ускоряющим напряжением и напряжением на электроде 8. Электростатическая линза, образованная электродами 2 и вторым торцом электрода 8, использу30 ется как иммерсионный объектив. При выходе