Способ изготовления полупроводниковых слоев

Патент 1839713

Авторы

• Альбрехт Виннакер
• Герхард Риттмайер
• Зигфрид Биркле
• Йоханн Каммермайер
• Рольф Шульте

---

Классы МПК

• H01L21/205 - разложением газовой смеси с выходом твердого конденсата или химическим осаждением