Многоместный держатель подложек
Иллюстрации
Реферат
0 Л И С А Н И Е I84947 изоы етиния к лвто скомь свидетельствь
Союз Соеетокиз
Социелистичеокиа
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Кл. 21а4, 75
Заявлено 28Х.1965 (¹ 1009979/26-9) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано ЗО.VII.1966. Бюллетень № 16
Дата опубликования описания 28.IX.1966
Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Соеете Миииотроо
СССР
МПК H Оlп
УДК 621.3.049.75.002.2 (088.8) Авторы изобретения
В. А. Чирков и М. Г. Дрябина у, ч
Заявитель
МНОГОМЕСТНЫЙ ДЕРЖАТЕЛЬ ПОДЛОЖЕК
Предмет изобретения
Известные многоместные держатели подложек, предназначенные для напыления микросхем и содержащие фиксаторы, не позволяют с достаточной точностью фиксировать и прижимать подложки в процессе производства микросхем.
В предлагаемом держателе повышение надежности фиксации подложек достигнуто использованием в качестве фиксаторов штырей крестообразной формы, снабженных пазами, в которых размещены волнистые пружины.
На чертеже изображен описываемый держатель.
В основании 1 держателя выполнены отверстия под штыри 2 крестообразной формы.
Штыри служат фиксаторами подложек > и снабжены пазами 4, где размещены волнистые пружины 5.
Основание изготовляется из материала с хорошей теплопроводностью для поддержания одинаковой температуры в различных местах всех закрепленных подложек. Последние фиксируются на плоскости основания благодаря крестообразной форме штырей и прижимаются к основанию волнистыми пружинами через круглые головки штырей. Пружины продеваются через пазы 4 так, что каждый их гребень упирается в штырь, а каждая впадина — в основание.
Многоместный держатель подложек, предназначенный для напыления микросхем и соlь держащий фиксаторы, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности фиксации подложек, в нем в качестве фиксаторов использованы штыри крестообразной формы, снабженные пазами, в которых размещены
20 волнистые пружины.
184947
Составитель Л. Матевосов
Редактор Л. А. Ильина Техред Т. П. Курилко
Корректоры: Л. Е. Мариси1 и Е. Д. Курдюмова
Заказ 2724/11 Тираж 1175 Формат бум. 60;к,90 /з Объем 0,13 изд. л. Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2