Способ изготовления комплекта операционных шаблонов и установочной сетки для них

Способ изготовления комплекта операционных шаблонов и установочной сетки для них

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е I85202

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союа Советских

Социалистических

Республик

Ас goad ejoo

K АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт, свидетельства ¹

Заявлено 21.XI.1961 (№ 713495/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано ЗО.Ч11.1966. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 26,IX.1966

Кл. 57Ь, 13/02

75а, 13

МПК

Комитет по делан иасбретвиий и открытий при Совете Министров

C|:CP

УДK77

<», » »

Авторы изобретения

М. А. Ададурова и Ю. Г. Веннер

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОМПЛЕКТА ОПЕРАЦИОННЫХ

ШАБЛОНОВ И УСТАНОВОЧНОЙ СЕТКИ ДЛЯ НИХ

Известны различные способы изготовления комплекта фотошаблонов для последующего использования их, например, в производстве полупроводниковых приборов. Существует способ получения фотошаблонов путем вычерчивания всего комплекта фигур и последующего масштабного фотографирования.

Известные способы не обеспечивают точности совпадения координат положения совмещаемых фигур разных шаблонов и дают разброс размеров фигур в пределах одного шаблона, а также достаточно сложны и трудоемки.

Предложенный способ изготовления комплекта операционных шаблонов и установочной сетки для них отличается от известных способов тем, что комплект шаблонов получают копированием только одной, специальной для каждого шаблона и установочной сетки образцовой фигуры при одновременном общем перемещении всех заготовок шаблонов и сетки относительно всех образцовых фигур, Hpè этом установочную сетку изготавливают в виде дополнительного шаблона в выставляемом по ней комплекте шаблонов одновременно с изготовлением комплекта.

Предложенный способ позволяет повысить точность изготовления комплекта шаблонов и оследующего их совмещения.

Способ заключается в следующем.

Один образец фигуры каждого операционного шаблона выполняют любым известным способом в необходимом масштабе, затем репродуцируют образцы фигур на фотопластинку или фотопленку и получают комплект образцовых негативов.

Для получения множества фигур или множества групп фигур на каждом из операционных шаблонов производят последовательное многократное копирование, например контактное, фигур образцовых негативов в необходимых местах заготовок шаблонов на фотоштампе. Образцовые негативы выставляют в негативной рамке фотоштампа таким образом, чтобы оси симметрии фигур располагались на одной линии или на параллельных линиях. Расстояние между фигурами должны соответствовать размерам заготовок будущих операционных шаблонов. Выставление образцовых негативов производят, например, на измерительных микроскопах.

Образцовые фигуры копируют на светочувствительную поверхность заготовок шаблонов прн соответствующем экспонировашш. Копирование производят одновременно на всех заготовках столько раз, сколько фигур нли групп фигур должно быть получено на каждом шаблоне. При этом фигурами или группами фигур заполняют последовательно все

30 вертикальные или все горизонтальные «строч185202

Составитель Т. 14. Петрикова

Редактор И. Г. Карпас Текред Т. П. Курилко Корректор Г. Е. Опарина

Заказ 2727у8 Тираж 970 Формат бум. б0 90 /а Объем 0,13 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комите)а по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, д. 2 ки» на заготовке шаблона, при последовательном плоскопараллельном перемещении всего приспособления для крепления заготовок шаблонов относительно неподвижных образцовых негативов (или наоборот) на требуемый шаг, равный расстоянию между соседними фигурами или группами фигур операционного шаблона.

Полученные скрытые изображения фигур на заготовках шаблонов подвергают химической обработке известными способами обработки негативных изображений.

Использование комплекта шаблонов для последовательного наложения на заготовку изделия требует предварительного выставления всех шаблонов комплекга относительно определенного зафиксированного положения заготовки в приспособлении, в котором производят наложение. Выставление шаблонов осуществляют по общей установочной сетке, которая представляет собой прозрачную плоскопараллельную стеклянную пластину с нанесенными рисками, по которым выставляют фигуры шаблонов.

Установочную сетку изготавливают одновременно с комплектом шаблонов, который по пей будет выставляться, тем же фотографическим способом на фотоштампе, что и комплект шаблонов.

Предмет изобр етения

Способ изготовления комплекта операционных шаблонов и установочной сетки для них, основанный на фотографическом копировании многократно повторяющихся через определен. ные интервалы образцовых фигур, отличаю бийся тем, что, с целью повышения точности изготовления шаблонов и точности их после" дующего совмещения, комплект шаблонов по. лучают копированием только одной, специальной для каждого шаблона и установочной сетки образцовой фигуры при одновременном оощем перемещении всех заготовок шаблонов и сетки относительно всех образцовых фигур, при этом установочную сетку изготавливают в виде дополнительного шаблона в выставляемом по ней комплекте шаблонов одновременно с изготовлением этого комплекта.