Сорбционный вакуумный насос

Сорбционный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕПЬСТВУ

Союз Соеетоких

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 15Х.1965 (№ 1007755/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11.Х.1966. Бюллетень № 20

Кл. 27d, 4/00

МПК Г 04g

УДК 533.582(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Осеете Министров

GGCP

Дата опубликования описания 15.Х1.1966

Авторы изобретения

Г . Ф. Ивановский, A. С. Назаров, М. И. Медников, 3. А. Мах и С. К. Барабанщиков

Заявитель

СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Предмет изобретения

Известны сорбционные вакуумные насосы, содержащие испаритель геттерного вещества, P 2 C 11 0 t 0 < 0111l b! 14 B I I )T P H C0 P O U H 0 H I I OH ности, охлаждаемой низкотемпературным хладагентом, например жидким азотом, Конструкции таких насосов не позволяют осуществлять эффективную откачку газов в широком диапазоне давления непосредственно самими насосами.

Предлагаемый сорбционный насос существенно отличается от известных. Во-первых, его сорбционная поверхность выполнена в виде полого змеевика с зазорами между витками, расположенного внутри корпуса насоса, охлаждаемого водой, что расширяет диапазон откачки. Во-вторых, внутри полости змеевика смонтирован нагреватель, что дает возможность повысить эффективность прогрева при обезгаживании насоса.

Конструкция насоса представлена на чертеже.

Корпус 1 насоса имеет рубашку водяного охлаждения и фланцы для присоединения к откачиваемому объему и системе предварительного разрежения 2, а также для установки цоколя 3 с внутренней арматурой насоса.

На цоколе расположен полый змеевик 4 с двумя трубками, через которые подают низкотемпературный хладагент, например жидкий азот, Между витками змеевика предусмотрены зазоры, размеры которых определяются из условия равномерного запыления внутренней стенки корпуса при работе прямоканального испарителя 5, например титано-молибденовой проволоки, для откачки газов в диапазоне 10 з — 10 с лл рт, ст.

Размеры змеевика определяются из усло10 вия необходимой низкотемпературной сорбционной поверхности, на которую осуществляется напыление геттерного вещества при работе испарителя б с малым выделением тепла. При этом происходит откачка газов в диапазоне 10 - — 10 1- л м рт. ст. Электропитание испарителей осуществляется через токовводы

7 с металло-керамическими изоляторами.

Для об езгаживания насоса во внутренней полости змеевика установлен нагреватель 8.

1. Сорбционный вакуумный насос, содержащий испаритель геттерного вещества, расположенный внутри сорбционной поверхности, охлаждаемой пизкотемпературным хладагентом, отличающайся тем, что, с целью расширения диапазона откачки, сорбционная поверхность выполнена в виде полого змеевика

1&7205

Вхо подь акад аз огла

Состави еель Р. А. Жукова

Текрсд А. А. Каыышнииова Корректоры: Е. Д. Курди>мова и С. М, Бел гика

Редактор T. П. Ларина

У аква 34 4 11 Тираж 1226 срормат бум. 60р. 90 /в Обьех 0,16 изд, л. По;;-исн

ЦНИИПИ 1(омитета по делам изобретений тений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, нр. Сапунова, 2 с зазорами между витками, расположенного

2. внутри охлаждаемого водой корпуса наса а. с .. Насос IIo п. 1, отличаюи4ийся тем, что, с

4 пельн) повышения эффективности прогрева при ооезгаживании насоса, в полости змеевика расположен нагреватель.