Интерференционный микропрофи л омет р

Интерференционный микропрофи л омет р

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Сок)з Советскик

Социалистически)<

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 03.1Х.1965 (№ 1025542126-10) Кл. 424, 8/02

42h, 34/1) с присоединением заявки М

Приоритет

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

G 02c)

У, i, К 535.854:531.717.82:

:535.41 (088.8) Опубликовано 11.Х.1966. 1)!Оллстсиь М 19

Дата опубликования описания 3.Х.)9бб г4 .Стл

. <

Авторы изобретения

В. П. Линник и 1О. В. Коломийцов

Заявитель

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОПРОФИЛОМЕ 1 Р

Известны интерференционные микропрофилометры для контроля профиля поверхности в заданном сечении, выполненные в виде микропрофиловlе1ра Линникя, Опти (ескя5! система кОтОр010 !тросктирует изображение у3icoll щели на контролируемую поверхность и на эталонную поверхность, представляющую собой двойное зеркало с двугранным прямым углом, и передаст через цилиндрическую линзу расширенное изображение щели в окуляр л(икр()интсрфсромстра. Однако эти приборы пе да1оТ возможности контролировать внутренпис поверхности. Известные микроирофилометры

1О. В. Коломийцова, решающие эту задачу, ИМЕ!ОТ СЛО>КН ) iO ОПТИ<(ЕСКУ(0 СХС»(У, ITO 3

Предло>кенный микропрофилометр отличается от известных тем, что, имея несложную оптическую систему, позволяет контролировать профиль внутренних поверхностей. Это достигается тем, что он снабжен наконечником с размещенной в нем призмой, сопряженной с объективом, проектирующим изображение щели на контролируемую поверхность.

Ия черте>ке приведена принципиальная cxe(1 <1 ??i!! (??i>! ВЯ С.>! ОГО 11РИООРЯ. ,. ) Я М 110 1 КI(Нк с н н у (О в ф О к я, I I> H 0 I I I c! 0 сктив«! .1 1!cp(i(H litt<) li7pHo H li IociiocTH рисуикя. Выходящий из объектива параллельный пучок лучей рязделяетсл полупрозрачной поверхностью пластины 5 на двя пучка, один И3 которых падает на обьектив 6, а другой (,пос ле прохождения через комп Hc;IllHQHH) пла5 стину 7) — на обьектпв 8. O() I Ci<ти!3 6 вмссте с призмой 9 вводится внутрь контролируемой детали 10 и проектирует ня сс поверхность изоора>кенис щели ) . Оот)сктив 8 даст

II300p«i>I<(HIIC 11(C II! !30 1Н311 реб));(H p! !3! 151PT ИОЛМЧИТЬ ИНТ j)(J)C)PCHI;IIAHHI>10 i!(), IOCI)! ТР< . бусмой ширины.

Пу п<и 1учс(1, Отря>lсенныс От Гране>! (призмы 1! и от контролируемой поверхности 10, ВНОВЬ СОСДИНЯIОТС51 П.IЯСТПНОЙ д П 1 Oil

20 зрительную трубу, состоящую из сбъ< ктива

12, 01<1 ???? j) h 1??) ?? ??1>и<лlочяlо!цейс я !(fi I liH (!) П>1< ci<0l1 itth3l>1 14. При Hi>! I(!10

ИОл(зрсниfl 01 >> ляp". Пи;цtl>i;i,в I сl>1, <))Орм;! к< т()р<,;х Ilo!31

))5!(,1 ИРОфп,!!> I! )I)C)). НО(ТИ,((ТЯ. IИ ) () И,(<) II>

CIlj)0(i;ÒI)))()I3

30 Д"i!I ),10<)cT!3«< рЯ00 ГI! и иолучспия точных результатов измерения существенно, что I3cc

187320

CocT: Hèòñëü Л. А. Калгобакина

Текред T. П. Курилко Корректоры: Л. Е. Марисич и С. Н. Соколова

Редактор Н. Коган

Заказ 3363y i6 Тираж 2725 Формат буки 60 90 /, Обьсгк 0,16 изд. л. Подписное

ЦН11ИПИ Комизста по делам изобретений и открытий при Совстс Министров CCCIа

Москва, Цен гр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 интерференционные полосы имеют одинаковую ширину независимо от радиуса кривизны контролируемой поверхности, причем ширину полос можно регулировать перемещением зеркала 11 или объектива 4 перпендикулярно к оптической оси. Методика измерения высоты неровностей на поверхности не отличается от известной методики, используемой при работе с микроинтерферометрами.

Предмет изобретения

Интерференционный микропрофилометр для контроля профиля поверхности в заданном ее сечении, выполненный в виде микропрофилометра Линника с оптической системой, проектиру1ощей изображение узкой щели на контролируемую поверхность и на эталонную поверхность, представляющую собой двугранное зеркало, и передающей через цилиндрическую линзу расширенное изображение щели в окуляр микроинтерферометра, отличающийся тем, что, с целью контроля профиля внутренних поверхностей, он снабжен наконечником с размещенной в нем призмой, сопряженной с объективом, проектирующим изображение щели на контролируемую поверхность.