Способ нанесения диэлектрических пленок

Способ нанесения диэлектрических пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е l87852

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

"+Ъ

1 в

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 21а, 73

Заявлено 15Х.1 963 (№ 951650/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 20.Х,1966. Бюллетень № 21

Дата опубликования описания 16.ХП.1966

МПК Н 01п

УДК 539.234(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

Д. Г. Цитрон и С. И. Мишук

Заявитель

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ДИЭЛЕКПхИЧЕСКИХ

ПЛЕНОК

Предмет изобретения

Известны способы испарения диэлектриков в вакууме в процессе нанесения их на основание.

Особенностью предложенного способа нанесения диэлектрических пленок на основание является то, что подъем диэлектрика производят электрическим полем высокого напряжения, а испарение — тепловым ударом в зоне высоких температур. Это обеспечивает более высокую степень однородности пленок по толщине и химическому составу.

На чертеже изображено устройство, реализующее предложенный способ.

Резервуар 1 устройства заполнен порошком диэлектрика и закрыт сеткой 2, находящейся под отрицательным потенциалом. Порошок диэлектрика поднимается, проходит испаритель 8 и в виде атомно-молекулярного пара осаждается на поверхность основания 4.

Способ нанесения диэлектрических пленок на основание, осуществляемый в вакууме, от10 личаюи1 ий ся тем, что, с целью повышения степени однородности пленок по толщине и химическому составу, подъем диэлектрика производят электрическим полем высокого напряжения, а испарения диэлектрика †теп15 ловым ударом в зоне высоких температур.

187852

Составитель Э. Фролова

Тсхред Л. К. Ткаценко Корректоры: В. В. Крылова и О. Б. Тюрина

Редактор И. С. Грузова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3632/8 Тираж 1175 Формат бум. 60><90 >

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4