Способ нанесения тонких пленок

Способ нанесения тонких пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

188256

ОПИСАН И Е

ИЗОЬГЕт ЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ooes Соввтскив

Социвлиотичвскнл

Рвслублик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 06. т/.1964 (№ 898764/22-2) с присоединением заявки №

Приоритет

Or.: бликовано 20.Х.1966. Бюллетень № 21

Кл. 48Ь, 13/02

48b, 13/04

МПК С 23с

С 23с

УДК 621.793.14(088.8) Ксмитвт со лвлавв изобрвтвний и открытий ври Соввтв Министров

СССР

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК

Известны различные способы нанесения тонких гленок путем испарения в вакууме и термического отражения молекулярного пучка испаряемого вещества.

Предлагаемый способ позволяет получать покрытие с заданным распределением толщины на поверхности любой формы и заключается в том, что отражение и деформацию молекулярного пучка производят при помощи вогнутого отражателя, определенной формы, который отделен от испарителя.

Геометрию отражателя можно получить на основе математического расчета для каждого отдельного случая.

Предмет изобретения

5 Способ нанесения тонких пленок путем испарения в вакууме и термического отражения молекулярного пучка испаряемого вещества, отличающийся тем, что, с целью получения слоя с заданным распределением тол10 щины на поверхности любой формы и экономии испаряемого вещества, отражение и деформацию молекулярного пучка производят при помощи вогнутого отражателя.