Шлгозовое устройство для нанесения покрытий катодным напылением в вакууме

Шлгозовое устройство для нанесения покрытий катодным напылением в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

1(л, 48b, 15/00

Заявлено 24.1.1966 (№ 1051152/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 26 1.1967. Бюллетень ¹ 4

Дата опубликования описания 14.IV.1967

МПК С 23с

Комитет llo делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.793,14.004. .3-577 (088.8)- --.

1- --.-: 1"А":И1Т11

Авторы изобретения

Заявитель

И. JI. Блаер и 1О. В. Аникии

Проектный технологический и научно-исследовательский институт

Министерства автомобильной промышленности СССР

КЛ 10ЗОВО Е УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕН ИЯ ПО КРЫТИ Й

КАТОДНЬ1М НАПЬ1ЛЕНИЕМ В ВАКУУМЕ

Предмет изооретення

Известно устройство для llанссения покрытий I!IIIII!.ae! Il!C»l и вакууме, включающее рабочтчо камеру, транспортирующии механизм, захваты для крепления напыляемого металла в вертикальной плоскости и источник подачи напряжения.

В описываемом шлюзовом устройстве рабочая камера снабжена приспособлением для стспорення транспортирующего механизма, сблокнрованным с источником подачи напряжения на электроды. Это способствует нанесе1гию равномерного покрытия, толщиной слоя более 15 лк на цилиндрические поверхности деталей.

На фиг. 1 изображено описываемое устройство, общий вид; на фиг. 2 — разрез рабочей камеры по А-А на фиг. 1.

Устройство содержит загрузочную камеру 1, камеру 2 очистки изделий в поле тлеющего разряда, рабочую камеру 8 с захватами 4 для крепления напыляемого металла 5 и приспособлением б для стопорения, разгрузочную камеру 7, кассету 8 с вертикально установленными на ней изделиями 9, роликовый механизм 10 транспортирования кассет с изделиями и систему вакуумных насосов 11, 1(амеры разделены вакуумными заслонками !2 и каждая имеет свою систему откачки. В рабочей камере на позициях нанесения покрытия установлены механизмы 11 нращеш1я изделий. (Источник подачи напряжении на электроды на чертеже не показан).

5 Кассета с изделиями проходит загрузочную камеру, камеру очистки н поступает в раоочую камеру, где поочередно на каждой позиции осуществляется процесс нанесения coGTветствутощей части покрытия на вращающие10 ся изделия. По мере продвижения кассеты к г1ослс.IIIEII позиции рабочей камеры изделия покр.-.1ваются необходимой толщиной металла

Процесс нанесения покрытий осуществляется в режиме импульсной подачи напряжепня на

15 захваты прн неподвижных кассетах и враша1ощнхся изделиях одновременно на всех позициях рабочей камеры. Кассеты по позициям

I.0()oчеи камеры перемещаются прп срабатыII. oIèè приспособления стопорения в интерва20 лах между подачами напряжения на захваты.

25;1ë ÿ и а нес ешгя покрытийытнй катодным напылением и вакууме, содержащее рабочую камеру, транспортирующий механизм, захваты для крепления катодов в всртика чьной плоскости н источник пода1чн

30 н11пря>кения на электроды, or1нчаюацеесл тем, t91986

Фиг. 1

A -А моиг. Z

Составитель H. Комарова

Редактор T. В. Данилова Техред А. А. Камышникова Корректоры: А. М. Смак и Г. E. Опарина

Заказ 793/1 Тира>к 535 Подписное

ЦНИИ1!И Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СГГР

Москва, Центр, IIp. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 что, с целью нанесения равномерного покрытия, толщиной слоя более 15 11к, рабочая камера снабжена приспособлением для стопоре1111я транспортирующего мехь1ннзма, сблоки роьапным с источником подачи напряжения на электроды.