Патент ссср 193251

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е f93251

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

1 л. 48, 13/10

Заявлено 07.1 т .1966 (№ 1070066/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 02,lll.1967. Бюллетень № 6

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

МПК С 23с

УДК 621,793.14: 621.771-426 (088.8) V,19б7 редкометаллической промышленности

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Известные устройстга,для нанесения однослойных н многослойных покрытий на поверхность изделий в вакууме содержат рабочие вакуумные камеры, испарители и транспортирующий механизм (тянущие ролики). В этих устройствах изделие в процессе нанесения покрытия транспортируется над поверхностью испарителя.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что нспарнтель выполнен в виде кольцевого тигля с укрепленным на нем отражающим экраном с отверстием. Это позволяет наносить равномерное покрытие на по верхность проволоки.

На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство. Оно выполнено в виде нескольких последовательно расположенных сообщенных между собой вакуумных камер, средние нз которых яьляются рабочими 1 и служат для нанесения покрытий на проволоку

2. В каждой из камер 1 установлены испарители, состоящие из нагревателя 3 и размещенного внутри последнего кольцевого тигля 4, на котором укреплен отражающий экран 5 с отверстием. В крайних камерах б и 7 расположен транспортирующий механизм.

Испаряехтое в вакууме вещество находится

13 тигле в расплавленном состоянии.

Проволоку с помощью транспортирующего механизма (тянущих роликов) протягивают B ьертикальпом направлении через внутреннее отверстие в кольцевом тигле.

Получение покрытия нз различных веществ (многослойного) на проволоке достигается тем, что проволоку протягтп ают через ряд последовательно расположенных кольцевых тиглей, загру>кенных различными веществами.

Реверснруя направление движения проволоки, непрерывно наносят на нее многослойное тонкопленочное покрытие нз различных веществ.

Устройство для нанесения покрытий в вакууме путем последовательного испарения

20 одного нли нескольких веществ, включающее рабочие камеры, испарнтели и тянущие ролики, оТ.ò÷àþè1ååñÿ тем, что, с целью обеспечения более равномерного покрытия проволоки, испарнтечь выполнен в виде кольцевого тигля, снабженного отраукающнм экраном с отверстием для протягивання проволоки.

193251

Составитель Н. Комарова

Тсхрсд Л. Брнккер Корректоры: Е. Д. Френкель и А. М. Смак

Редактор М. Андреева

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 866/17 Тираж 535 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4