Патент ссср 193251
Иллюстрации
Показать всеРеферат
О П И С А Н И Е f93251
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
1 л. 48, 13/10
Заявлено 07.1 т .1966 (№ 1070066/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 02,lll.1967. Бюллетень № 6
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
МПК С 23с
УДК 621,793.14: 621.771-426 (088.8) V,19б7 редкометаллической промышленности
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ
Предмет изобретения
Известные устройстга,для нанесения однослойных н многослойных покрытий на поверхность изделий в вакууме содержат рабочие вакуумные камеры, испарители и транспортирующий механизм (тянущие ролики). В этих устройствах изделие в процессе нанесения покрытия транспортируется над поверхностью испарителя.
Предложенное устройство отличается от известного тем, что нспарнтель выполнен в виде кольцевого тигля с укрепленным на нем отражающим экраном с отверстием. Это позволяет наносить равномерное покрытие на по верхность проволоки.
На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство. Оно выполнено в виде нескольких последовательно расположенных сообщенных между собой вакуумных камер, средние нз которых яьляются рабочими 1 и служат для нанесения покрытий на проволоку
2. В каждой из камер 1 установлены испарители, состоящие из нагревателя 3 и размещенного внутри последнего кольцевого тигля 4, на котором укреплен отражающий экран 5 с отверстием. В крайних камерах б и 7 расположен транспортирующий механизм.
Испаряехтое в вакууме вещество находится
13 тигле в расплавленном состоянии.
Проволоку с помощью транспортирующего механизма (тянущих роликов) протягивают B ьертикальпом направлении через внутреннее отверстие в кольцевом тигле.
Получение покрытия нз различных веществ (многослойного) на проволоке достигается тем, что проволоку протягтп ают через ряд последовательно расположенных кольцевых тиглей, загру>кенных различными веществами.
Реверснруя направление движения проволоки, непрерывно наносят на нее многослойное тонкопленочное покрытие нз различных веществ.
Устройство для нанесения покрытий в вакууме путем последовательного испарения
20 одного нли нескольких веществ, включающее рабочие камеры, испарнтели и тянущие ролики, оТ.ò÷àþè1ååñÿ тем, что, с целью обеспечения более равномерного покрытия проволоки, испарнтечь выполнен в виде кольцевого тигля, снабженного отраукающнм экраном с отверстием для протягивання проволоки.
193251
Составитель Н. Комарова
Тсхрсд Л. Брнккер Корректоры: Е. Д. Френкель и А. М. Смак
Редактор М. Андреева
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 866/17 Тираж 535 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4