Патент ссср 194967
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Респуйлик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 25.Х1.1965 (№ 1039338/26-25) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 12.IV.1967. Б1оллстсн1 № 9
Дата опубликования описания 8Л 1,1967
МПК Н 011
УД К 537.534.2 (088.8) Комитет по делам изооретений и открытий при Совете Министров
СССР
Автор изобретения
Д. А. Носков
Заявитель
ИОННЫЙ ИСТОЧНИК
Известны ионные источники, состоящие из катода, анода и экстрактора, помещенные г, магнитное поле. Однако их конструкции не позволяют получить радиально сходящегося потока ионов.
Предлагаемое устройство отличается от 11звестных тем, что оно выполнено с кольцевым извлечением ионов внутрь системы.
На чертеже представлена конструкция данного устройства.
Оно представляет собой трехэлектродную систему, образованную полым катодом, состоящим из полюсных наконечников постоянного магнита 1 и цилиндрического катодного электрода 2, выполненного нз немагнитного материала, цилиндрическим анодом 3 и экстрактором 4. Полый катод находится в магнитном поле.
При подаче на анод 8 положительного потенциала между катодом и анодом возникает затрудненный магнитным полем тлеющий разряд. Ионы из разрядного пространства под действием поля экстрактора 4 вытягиваются через отверстия в электроде 2 н движутся к центру системы. Газ, ионы которого необходимо получить, поступает по трубчатому
5 вводу через анод непосредственно в разрядную полость.
Данное устройство может быть использовано ..1ля очистки прутков и проволок, для получения пленок на круглых стержнях, для легн10 рования монокристаллов и других целей, когда требуется получить радиально сходящийся поток ионов.
Предмет изобретения
15 Ио11ный1 НсТо 1H1(li, состоящий анода, расположенных между полюснымн наконечниками постоянного магнита, н экстрактора, отличающийся тем, что, с целью создаvèë радиально сходящегося потока ионов
20 повышенной плотности, электроды выполнены кольцевыми, а на катоде и экстракторе имеются отверстия.
194967
Составитель Т. М. Орешкииа
Редактор Н. А. Джарагетти Тскрсд Т. 11. Курилко Корректоры: Г. И Плешакова и E. Н. Гудзона
Заказ 1672/12 Тирагк 535 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, д. 2