Способ определения эллипсометрических параметров объекта

Способ определения эллипсометрических параметров объекта

Реферат

 

Использование: эллипсометрия. Сущность изобретения: способ включает в себя отщепление известной опорной части от пучка излучения поляризованных электромагнитных волн до взаимодействия его с излучаемым объектом, последующее разделение отщепленной опорной части непосредственно и оставшейся информационной части пучка излучения после взаимодействия ее с объектом на четыре опорных и соответственно информационных пучка с различными идентичными для соответственных опорных и информационных пучков типами поляризации, одновременные измерения интенсивностей упомянутых пучков и определение in situ по их совместным соотношениям трех эллипсометрических параметров (модулей и сдвига фаз для коэффициентов отражения от объекта компонент излучения с ортогональными линейными р- и s-поляризациями) излучаемого объекта. Отщепление известной опорной части от пучка излучения до его взаимодействия с объектом осуществляют с обеспечением в ходе процесса постоянства в соотношениях между амплитудами и соответственно фазами для компонент излучения в упомянутых опорной и информационной частях пучка излучения до его взаимодействия с излучаемым объектом. 3 з. п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к оптико-физическим измерениям, а точнее - к эллипсометрии, и может найти применение в научных исследованиях, технологии и технике.

Эллипсометрия известна как область оптико-физических измерений параметров тонких и сверхтонких слоев и пленок на поверхности жидких и твердых тел на основе изменений в состоянии поляризации электромагнитного излучения в результате его взаимодействия с изучаемым объектом. Эти измерения по сути своей являются бесконтактными и неразрушающими, а при некоторых условиях и невозмущающими изучаемый объект. Другая особенно ценная черта эллипсометрии состоит в возможности вести измерения и контроль параметров поверхностных слоев и процессов в режиме in situ, т. е. в процессе роста пленок, в ходе технологического процесса, при изучении быстротекущих процессов, а также и при использовании, в частности, импульсного излучения. Главные условия для осуществления таких измерений в режиме in situ состоят в соблюдении быстродействия, соответствующего характерным временам изучаемого или контролируемого процесса, и одновременности определения эллипсометрических параметров, характеризующих изучаемый объект. В качестве таких параметров выбирают поддающиеся экспериментальному определению эллипсометрические параметры и объекта, где - отношение модулей _р и _s и - разность фаз комплексных амплитудных коэффициентов отражения объектом компонент излучения с главными ортогональными линейными р- и s - поляризациями соответственно. Упомянутые параметры и определяются не только параметрами объекта, но и внешними условиями проведения эксперимента, такими как оптические характеристики окружающей среды, длина волны излучения и угол падения его на объект. Конкретный эксперимент по определению эллипсометрических параметров объекта, особенно в режиме in situ, проводят при известных и поддерживаемых неизменными в ходе эксперимента упомянутых выше внешних условиях. Однако возможность экспериментального определения только двух эллипсометрических параметров и объекта ограничивает информативность эллипсометрии в целом и снижает ее практическую ценность в частности, особенно в экспериментах in situ и при использовании импульсного излучения. Так, даже наиболее простой случай объекта, например непоглощающая пленка на непоглощающей подложке, требует для своего описания как минимум три параметра: показатели преломления n₁ пленки и n₂ подложки и толщину d пленки. Другой практически важный случай объекта, например поглощающая пленка на поглощающей подложке, требует для своего описания уже пять параметров: действительные n₁, n₂ и мнимые ₁, ₂ части комплексного показателя преломления соответственно пленки и подложки и толщину d пленки. При этом параметры n₂ и ₂ для подложки обычно находят на основе предварительных измерений, но и в такой ситуации число независимых параметров, необходимых для описания объекта, остается равным как минимум трем, что больше числа экспериментально определяемых параметров и объекта. По этой причине связь измеряемых непосредственно и необходимых для описания объекта параметров зависит от выбираемой модели изучаемого объекта, что делает эллипсометрические измерения параметров объекта не прямыми, а косвенными, зависящими от модели объекта. Поэтому расширение информативности способа определения in situ эллипсометрических параметров объекта за счет увеличения числа непосредственно определяемых в эксперименте параметров является актуальной задачей эллипсометрии в целом и имеет большую ценность для многообразной практики контрольно-измерительной техники и современных технологий.

Известны способы определения эллипсометрических параметров объекта [1] , заключающиеся в том, что пучок поляризационного электромагнитного излучения направляют на объект и после взаимодействия с ним посылают в измерительный канал, измеряют интенсивности пучка для ряда последовательных операций и в результате определяют два эллипсометрических параметра объекта.

Известен другой способ определения эллипсометрических параметров объекта, заключающийся в том, что пучок поляризованного излучения модулируют по амплитуде и по фазе с различными частотами, расщепляют светоделителем на два одинаковых пучка и направляют на объект и соответственно эталон, после взаимодействия с ними посылают упомянутые пучки попеременно в измерительный канал, измеряют интенсивности пучков на разных частотах модуляции и в результате определяют два эллипсометрических параметра объекта. Принципиальным недостатком известных способов, приведенных в [1] , и другого известного способа определения эллипсометрических параметров объекта является разновременность выполнения операций в измерительном канале с целью определения параметров и , что, во-первых, ограничивает быстродействие характерными временами на самих изучаемых процессов, а временами выполнения смены операций и, во-вторых, делает такие известные способы малопригодными для измерений в режиме in situ параметров слоев и процессов на поверхности различных тел.

По этой причине в качестве ближайшего прототипа выбираем известный способ определения in situ эллипсометрических параметров объекта [2] , заключающийся в том, что пучок поляризованного электромагнитного излучения направляют на объект и после взаимодействия его с объектом разделяют на четыре информационных пучка с различными типами поляризации, измеряют интенсивности информационных пучков и определяют по их соотношениям эллипсометрические параметры объекта. Однако серьезным недостатком этого способа определения in situ эллипсометрических параметpов объекта остается упомянутая выше возможность определения одновременно только двух параметров и объекта, что ограничивает информативность способа. Другой серьезный недостаток этого способа заключается в том, что полученные параметры и несут в себе информацию не только об изучаемом объекте, но и об изменении поляризации излучения по всему его пути прохождения, которые вносят заметную аппаратную погрешность.

Цель изобретения - расширение информативности способа определения in situ эллипсометрических параметров объекта путем определения одновременно трех эллипсометрических параметров объекта.

Дополнительная цель изобретения - повышение точности измерений путем исключения аппаратурной погрешности.

Цель достигается тем, что отщепляют одну - опорную часть от пучка излучения до взаимодействия его с объектом, направляют на объект другую - информационную часть пучка излучения, а отщепленную опорную часть пучка разделяют на четыре опорных пучка с различными типами поляризации, идентичными типам поляризации соответствующих информационных пучков, измеряют интенсивности опорных пучков одновременно с измерениями интенсивностей информационных пучков и определяют по их совместным соотношениям три эллипсометрических параметра объекта. При этом информационные пучки формируют из отраженной, а для частично пропускающего объекта - из пропущенной объектом доли информационной части пучка излучения.

С целью дальнейшего расширения информативности способа для частично пропускающего объекта и путем определения одновременно шести параметров объекта интенсивности информационных пучков от отраженной и пропущенной объектом доли информационной части пучка измеряют одновременно.

Отщепляют опорную часть от пучка излучения до взаимодействия его с объектом любым известным способом с обеспечением в течение всего изучаемого или контролируемого процесса in situ постоянства характерных (для используемого известного способа отщепления опорной части от пучка излучения соотношений) между амплитудами и соответственно фазами компонент поляризованного излучения с главными ортогональными поляризациями в отщепленной опорной и оставшейся информационной частях пучка излучения.

П р и м е р 1. Отщепляют опорную часть от пучка излучения до взаимодействия его с объектом одинаковой по интенсивности и типу поляризации с оставшейся информационной частью пучка излучения, при этом обеспечивают повышение точности и упрощение процедуры определения эллипсометрических параметров объекта.

П р и м е р 2. Отщепляют опорную часть от пучка до взаимодействия его с объектом поляризованной по кругу, при этом повышают чувствительность способа к малым значениям фазового эллипсометрического параметра объекта.

Разделяют отщепленную опорную часть непосредственно и оставшуюся информационную часть пучка излучения после взаимодействия ее с объектом на четыре опорных и соответственно информационных пучка с различными идентичными для соответственных опорных и информационных пучков типами поляризации по-разному и способы упомянутой операции разделения известны.

П р и м е р 3. В принятом нами в качестве прототипа известном способе определения in situ эллипсометрических параметров объекта [2] пучок поляризованного электромагнитного излучения после взаимодействия его с объектом расщепляют светоделителем, расщепленные светоделителем пучки излучения разделяют линейными поляризационными призмами на четыре информационных пучка с различными типами поляризации, при этом одну из упомянутых призм устанавливают на отбор компонент пучка излучения с главными ортогональными линейными р- и s-поляризациями, а другую призму поворотом вокруг оси падающего на нее пучка излучения устанавливают так, что направление s-поляризации для упомянутой призмы составляет 45^о с таковым направлением для падающего на нее излучения в системе координат главных линейных поляризаций излучения на объекте.

П р и м е р 4. Отщепленную опорную часть непосредственно и оставшуюся информационную часть пучка излучения после взаимодействия ее с объектом разделяют на четыре опорных и соответственно информационных пучка с различными идентичными для соответственных опорных и информационных пучков типами поляризации с обеспечением замены упомянутой выше установленной под углом 45^о другой линейной поляризационной призмы круговой поляризационной призмой.

Одновременность измерений интенсивности опорных пучков с измерениями интенсивности информационных пучков обеспечивают тем, что при осуществлении предлагаемого способа не предусматривают и не используют какие-либо разновременные операции измерений интенсивностей опорных и информационных пучков излучения или операции переключения режимов работы, а также устанавливают равными в пределах точности измерений оптические пути для любого из опорных и информационных пучков излучения и не обнаруживают в пределах точности измерений временного сдвига в моментах отсчета результатов измерений интенсивности для любого из упомянутых опорных и информационных пучков излучения.

П р и м е р 5. Минимальную величину t_мин временного сдвига в моментах отсчета результатов измерений интенсивности опорных и информационных пучков в видимой области спектра оценивают точностью установления равенства оптических путей для различных упомянутых пучков, при этом минимальную предельную точность (погрешность) измерения разницы l оптических путей оценивают примерно одной восьмой длины волны излучения и потому минимальную величину t_мин оценивают около 0,2 фс.

П р и м е р 6. Минимальный временной сдвиг t_мин в отсчетах результатов измерений интенсивностей опорных и информационных пучков излучения, отличного от видимого света, оценивают также точностью установления равенства оптических путей для каждого пучка.

Необходимое для осуществления способа определения in situ эллипсометрических параметров объекта быстродействие измерений интенсивностей опорных и информационных пучков обеспечивают подбором характерных времен детектирования электромагнитного излучения, регистрации интенсивности упомянутых пучков и обработки результатов измерений существенно меньшими характерных времен изучаемых процессов.

П р и м е р 7. Достигнутым быстродействием известных способов детектирования электромагнитного излучения, регистрации интенсивности пучков излучения, обработки результатов измерений обеспечивают изучение быстротекущих процессов in situ с характерными временами до единиц наносек - пикосек.

Измерения интенсивностей опорных и информационных пучков осуществляют фотоприемниками электромагнитного излучения, при этом отбирают обычно фотоприемники для опорных и информационных пучков идентичными и оптически изотропными по динамической вольт-ваттной чувствительности, а также и пороговой чувствительности.

П р и м е р 8. Возможную погрешность при определении эллипсометрических параметров объекта из-за поляризационной зависимости динамической чувствительности фотоприемников линейно поляризованного излучения исключают преобразованием до измерения интенсивности такого пучка линейно поляризованного излучения линейной поляризации его в круговую поляризацию.

На чертеже представлена блок-схема устройства для осуществления предлагаемого способа, где показаны источник 1 излучения, блок 2 питания и пуска источника 1 излучения; линейный поляризатор 3, оптический столик 4 для установки линейного поляризатора 3 в пучок излучения, отщепитель 5, оптический столик 6, для установки отщепителя 5 в пучок излучения, объект 7, оптический столик 8 для установки объекта 7 в пучок излучения; 9_о и 9_и (9_т) - каналы опорный и соответственно информационный для отражаемой (пропускаемой) объектом 7 доли информационной части пучка излучения, светоделители 10_о и 10_и в опорном и соответственно информационном каналах, оптические столики 11_о и 11_и для установки упомянутых светоделителей в пучок излучения. Линейные поляризационные призмы 12_о и 12_и в опорном и соответственно информационном каналах, оптические столики 13_о и 13_и для установки упомянутых поляризационных призм 12_о и 12_и в пучок излучения, круговые поляризационные призмы 14_о и 14_и в опорном и соответственно информационном каналах, оптические столики 15_о и 15_и для установки упомянутых круговых поляризационных призм в пучок излучения, фотоприемники 16_о (1, 2, 3, 4) и 16_и (1, 2, 3, 4) электромагнитного излучения в опорном и соответственно информационном каналах, система 17 регистрации, система 18 обработки, система 19 отображения, дополнительный источники 20 излучения; дополнительный линейный поляризатор 21. оптический столик 22 для установки дополнительного линейного поляризатора 21 в пучок излучения, плоскопараллельная стеклянная пластина 23, оптический столик 24 для установки пластины 23 в пучок излучения, анализирующие поляризаторы 25_ои 25_и для опорного и соответственно информационного каналов, оптические столики 26_о и 26_и для установки упомянутых анализаторов в пучок излучения, плоские отражатели 27_о (1, 2) и 27_и (1, 2) с отверстиями в опорном и соответственно информационном каналах, вспомогательные фотоприемники 28_о (1, 2) и 28_и (1, 2) в опорном и соответственно информационном каналах, при этом система 17 регистрации соединена с выходами фотоприемников 16_о (1, 2, 3, 4) и 16_и (1, 2, 3, 4), система 18 обработки соединена с системой 17 регистрации и блоком 2 питания и пуска источника излучения, система 19 отображения соединена с системой 18 обработки.

Предлагаемый способ осуществляется следующим образом (фиг. 1).

Электромагнитное излучение от источника 1 излучения после пуска упомянутого источника блоком 2 питания и пуска направляют через линейный поляризатор 3, установленный на оптическом столике 4, на отщепитель 5 пучка излучения, установленный на оптическом столике 6, отделяют отщепителем 5 опорную часть 0 пучка излучения и направляют ее непосредственно в опорный канал 9_о, в то же время оставшуюся информационную часть И пучка излучения направляют на объект 7 на оптическом столике 8 и после взаимодействия ее с объектом 7 направляют в информационный канал 9_и, при этом отщепленная опорная 0 и оставшаяся информационная И части пучка излучения непосредственно на выходе из отщепителя 5 имеют одинаковую интенсивность и круговую поляризацию, далее отщепленную опорную часть 0 непосредственно и оставшуюся информационную часть И после ее взаимодействия с объектом разделяют на четыре опорных и соответственно информационных пучка с различными идентичными для соответственных опорных и информационных пучков типами поляризации, при этом опорную и информационную части пучка излучения расщепляют соответственно одинаковыми светоделителями 10_о и 10_и, установленными на оптических столиках 11_о и соответственно 11_и, на два пучка излучения и I₀ и соответственно и I_и, упомянутые пучки и I_0,и разделяют помещенными на их пути соответственно одинаковыми поляризационными линейными 12_о и 12_и призмами, установленными на оптических столиках 13_о и соответственно 13_и, и одинаковыми круговыми 14_о и 14_и призмами, установленными на оптических столиках 15_о и соответственно 15_и, на четыре опорных и соответственно информационных пучка с различными идентичными для соответственных опорных и информационных пучков типами поляризации, причем с ортогональными линейными р- и s-поляризациями для первой пары пучков и на выходе из линейных поляризационных призм 12_о и соответственно 12_и и ортогональными круговыми поляризациями с левым и правым вращениями для другой пары пучков I₀ и I_и на выходе из круговых поляризационных призм 14_о и 14_и, далее разделенные четыре опорных и соответственно информационных пучка направляют на отдельные фотоприемники 16_о-1, 16_о-2, 16_о-3, 16_о-4 и соответственно 16_и-1, 16_и-2, 16_и-3, 16_и-4, удовлетворяющие условиям в примере 7 измеряют интенсивности опорных пучков I_о1, I_о2, I_о3, I_о4 одновременно с измерениями интенсивностей информационных пучков I_и1, I_и2, I_и3, I_и4, измеренные одновременно упомянутые интенсивности опорных и информационных пучков регистрируют системой 17 регистрации, обрабатывают вычислительной системой 18 обработки и определяют по совместным соотношениям для интенсивностей опорных и информационных пучков три эллипсометрических параметра _p, _s и объекта, далее выдают системой 19 отображения определенные одновременно три упомянутых эллипсометрических параметра объекта, при этом управляют пуском источника 1 излучения системой 18 обработки. В случае слабопоглощающего или частично пропускающего излучение объекта используют одновременно отражение и пропускание излучения объекта 7, установленным на оптическом столике 8, взаимодействующей с ним оставшейся информационной части И пучка излучения (фиг. 1), при этом направляют отражаемую объектом долю информационной части пучка излучения в информационный канал 9_и для отражаемой объектом доли информационной части пучка излучения и пропускаемую объектом долю информационной части пучка излучения в информационный канал 9_т для пропускаемой объектом доли информационной части пучка излучения, а дальнейшие операции разделения долей информационных частей - на информационные пучки с различными идентичными соответственному опорному пучку типами поляризации, операции измерений интенсивностей информационных пучков одновременно с измерениями интенсивностей опорных пучков и определения эллипсометрических параметров объекта для отражаемой и пропускаемой объектом информационных частей пучка излучения осуществляют идентично описанному выше случаю взаимодействующей с объектом информационной части излучения, причем система 19 отображения в этом случае частично пропускающего излучения объекта выдает шесть независимых эллипсометрических параметров объекта: два модуля _p и _s и разность фаз для отражения и два модуля _р и _s и разность фаз для пропускания объектом компонент излучения с главными линейными р- и s-поляризациями.

Возможность определения одновременно трех эллипсометрических параметров _р, _s и объекта, а в случае частично пропускающего излучения объекта и шести эллипсометрических параметров _р, _s, и _р, _s, объекта следует из общих известных законов взаимодействия поляризованного электромагнитного излучения с объ ектом. Так, в общем случае изаимодействия поляризованного пучка излучения с объектом измерения интенсивностей информационных и опорных пучков дают восемь поддающихся экспе риментальному определению независимых величин. Но эти же упомянутые пучки несут также информацию, описываемую семью другими независимыми параметрами: начальной амплитудой А_о пучка излучения, модулями _р, _s и фазой объекта, модулями А_р, А_s и фазой _А для комплексных амплитудных коэффициентов отражения объектом и соответственно аппаратных функций оптического тракта осуществляющего предлагаемый способ устройства по всему пути прохождения излучения с исключением лишь самого объекта. Тогда на основе решения системы известных нелинейных соотношений для упомянутых выше семи независимых параметров, описывающих состояния поляризованного излучения, при наличии одновременно измеряемых интенсивностей информационных I_и1, I_и2, I_и3, I_и4и опорных I_о1, I_о2, I_о3, I_о4 пучков возникает возможность определения одновременно в режиме in situ трех упомянутых выше эллипсометрических параметрпов _р, _s и объекта. Для этого берут отношения интенсивностей информационных пучков I_и1, I_и2, I_и3, I_и4 или их определенных линейных независимых комбинаций к соответственным интенсивностям опорных пучков I_о1, I_о2, I_o3, I_о4 или к их соответственным линейным независимым комбинациям и таким образом исключают неопределенность из-за отсутствия информации о начальной амплитуде A_о пучк излучения. Затем формируют при известном отношении интенсивностей отщепляемой опорной и оставшейся информационной частей пучка излучения пять относительных величин видa: , , , , , (I) исключают последовательно в алгоритме расчета аппаратные параметры А_р, А_s и _А для главных линейных р- и s-поляризаций излучения и определяют в режиме in situ три эллипсометрических параметра _р, _s и объекта. нклбыханыхя главл В случае частично пропускающего излучения объекта на основе измерений интенсивности информационных пучков I_т1, I_т2, I_т3, I_т4 для пропускаемой объектом доли информационной части пучка излучения с выходов фотоприемников в информационном канале 9_т для пропускаемой объектом доли информационной части пучка излучения формируют дополнительно четыре независимых относительных величины вида: , , , (2) Одновременно достигают и дополнительную цель, поскольку исключают аппаратную погрешность, вносимую аппаратными диаметрами А_р, А_sи _А из-за изменений состояния поляризации пучка излучения на всем его пути прохождения.

П р и м е р 9. На чертеже: 1 - непрерывно накачиваемый твердотельный лазер на АИГ: Nd³⁺ в режиме "обрывания импульса" с внутритрезонаторной генерерацией гармоник (основая мода = 1064 нм, длительность импульса _и 35 нс, пиковая мощность Р_пик 500 Вт; вторая гармоника = 532 нм, < 25 нс, Р_пик 10 Вт; частота повторения импульсов f 295 кГц, в режиме "обрывания импульса". f до 1 МГц); 2 - блок питания и пуска лазера 1; 3 - призма Глана-Фуко (коэффициент гашения ~ 10^-7); 4 - оптический столик для установки призмы 3 в пучок излучения; 5 - составная круговая поляризационная призма Френеля (угол расхождения пучков круговой поляризации с левым и правым вращениями = 12', отношение интенсивностей упомянутых пучков с левым и правым вращениями = 1,000+0,001); 6 - оптический столик для установки упомянутой призмы 5 в пучок излучения; 7 - объект (эпитаксиальные слои структуры nSi - n⁺Si толщиты до 0,6 мкм, удельное сопротивление ~ 20 мкОмм); 8 - оптический столик для установки объекта 7 в пучок излучения; 9_о и 9_и - опорный и соответственно информационный каналы; 10_о и 10_и - светоделительные кубики в опорном и соответственно информационном каналах; 11_о и 11_и - оптические столики для установки упомянутых светоделителей 10_о и 10_и соответственно в пучок излучения; 12_о и 12_и - призмы Глана-Фуко; 13_о и 13_и - оптические столики для установки призм 12_о и 12_и соответственно в пучок излучения; 14_о и 14_и - составные круговые поляризационные призмы Френеля; 15_о и 15_и - оптические столики для установки упомянутых круговых призм 14_о и 14_исоответственно в пучок излучения; 16_о (1, 2, 3, 4) и 16_и (1, 2, 3, 4) - фотодиоды из германия, легированного золотом (азотное охлаждение, пороговая чувствительность Р_пор 100 фВт/Гц^1/2, полоса пропускания частот f 10 ГГц, минимальная мощность Р_мин 0,2 нВт, вольт-амперная динамическая чувствительность D 1 В/Вт); 17 - система регистрации (электрооптическая камера "Агат-"СФВ") [4] ; 18 - система обработки и 19 - система отображения с автоматическим управлением от вычислительного комплекса на основе IBM РС/АТ; 20 - дополнительный гелий-неоновый лазер непрерывного излучения типа ЛГ-36А, мощность Р_о = 20 мВт; 21 - дополнительная призма Глана-Фуко; 22 - оптический столик для установки призмы 21 в пучок излучения от вспомогательного источника излучения; 23 - плоскопараллельная стеклянная пластина; 24 - оптический столик для установки пластины 23 в пучок излучения; 25_о и 25_и - призмы Глана-Фуко; 26_о и 26_и - оптические столики для установки призм 25_о и 25_исоответственно в пучок излучения; 27_о и 27_и - плоские отражатели с диафрагмами в опорном и соответственно информационном каналах; 28_о и 28_и- дополнительные фотоприемники в опорном и соответственно информационном каналах (ФЭУ-68, ширина частот f600 кГц, частота модуляции f_м = 12 МГц, усиление К 40 дБ).

П р и м е р 10. На чертеже: 1 - инфракрасный СО₂-лазер типа ЛГ-74 (длина волны = 10,6 мкм, мощноть Ро = 100 кВт); 2 - блок питания и пуска лазера 1; 3 - брюстеровский отражательный линейный поляризатор; 5 - дифракционная поляризационная решетка (число штрихов 1200 на 1 мм, направления штрихов под 45^о к направлению поляризации падающего пучка излучения, плоскость решетки ориентирована под 45^о к оси упомянутого пучка излучения, угол расхождения пучков с ортогональными линейными поляризациями = 90^о, отношение интенсивностей упомянутых пучков с ортогональными линейными поляризациями = 1,0000,001); 6 - оптический столик для установки поляризационной призмы 5 в пучок излучения; 7 - объект (эпитаксиальная пленка антимонида индия n-типа, толщина d до 0,6 мкм, концентрация носителей N 10¹⁵ см^-3, температура Т = 77 К, на подложке из высокоомного антимонида индия р-типа); 8 - оптический столик для установки объекта в пучок излучения; 9_о и 9_и - опорный и информационный каналы; 10_о и 10_и - светоделительные кубики их хлористого натрия в опорном и соответственно информационном каналах; 11_о и 11_и - столики оптические для установки светоделителей 10_ои соответственно 11_и и пучок излучения; 12_о и 12_и - дифракционные решеточные поляризаторы (типа поляризатора 5) в опорном и соответственно информационном каналах; 13_о и 13_и - оптические столики для установки поляризаторов 12_о и соответственнео 12_и в пучок излучения; 14_о и 14_и - дифракционные решеточные поляризаторы (число штрихов 1200 на 1 мм, направление штрихов под 45^о к направлению поляризации излучения, падающего на дифракционный решеточный поляризатор 5, плоскость решетки ориентирована под углом 45^о к оси падающего на нее пучка излучения, угол расхождения пучков с ортогональными линейными поляризаторами = 90^о) в опорном и соответственно информационном каналах; 15_о и 15_и - оптические столики для установки дифракционных поляризаторов 14о и соответственно 14и в пучок излучения; 16_о (1, 2, 3, 4) и 16_и (1, 2, 3, 4) - германиевые легированные золотом фотодиоды в опорном и соответственно информационном каналах; 17 - многоканальная система регистрации (широкополосные усилители типа УЗ-7А, цифровые вольтметры, аналого-цифровые преобразователи АЦП); 18 - система обработки и 19 - система отображения на основе вычислительного комплекса I ВМ РС/АТ; 25_ои 25_и - дифракционные поляризаторы; в опорном и соответственно информационном каналах; 26_о и 26_и - оптические столики для установки поляризаторов 25_о и соответственно 25_и в пучок излучения.

П р и м е р 11. Подготовка работы в режиме in situ. Осуществляют подготовку работы в режиме in situ в описанном выше примере 9 следующим образом: включают вспомогательный источнике излучения 20 (Не-Ne лазер ЛГ-36А, длина волны = 630 нм); пучок электромагнитного излучения от источника 20 излучения направляют на линейную поляризационную призму 21 (призму Глана-Фуко), установленную в оправе на оптическом столике 22; устанавливают ось поляризационной призмы 21 вдоль направления оси пучка излучения от источника 20 излучения; поворотом поляризационной призмы 21 вокруг оси пучка излучения устанавливают направление колебаний электрического вектора на выходе из поляризационной призмы 21 по вертикали вдоль направления главной S-поляризации излучения на объекте 7; устанавливают плоскопараллельную стеклянную пластину 23 на оптическом столике 24; снимают объект 7 с оптического столика 8; поворотом плоскопараллельной пластины 23 вокруг вертикальной оси направляют отражаемый ею пучок линейно поляризованного излучения в опорный канал 9_о и пропускаемый ею пучок упомянутого излучения в информационный канал 9_и; устанавливают на пути отражаемого и пропускаемого плоскопараллельной пластиной 23 пучков линейно поляризованного излучения анализирующие поляризационные призмы Глана-Фуко 25_о и соответственно 25_и в позиции А_о и соответственно А_иперед входами в опорный и соответственно информационный каналы; далее вводят в один из опорных и соответственно информационных пучков на выходе из круговой поляризационной призмы Френеля 14_о и соответственно 14_и плоский отражатель 27_о-1 и соответственно 27_и-1 и отклоняют ими упомянутые пучки на фотоприемники 28_о-1 и соответственно 28_и-1 типа мФЭУ-68; устанавливают анализаторы 25_о и соответственно 25_и поворотом вокруг оси падающего на них линейно поляризованного излучения в положение почти полного скрещивания с линейным поляризатором 21, о чем судят по сильному уменьшению сигнала на выходе упомянутых фотоприемников 28_о-1 и 28_и-1, далее в упомянутом выше положении анализаторов 25_о и 25_иполучают еще большее уменьшение сигнала на фотоприемниках 28_о и 28_иповоротом светоделителя 10