А. а. новожилое и р. н. хафизоз

А. а. новожилое и р. н. хафизоз

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союа Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 48а, 1/02

Заявлено 07.Х.1966 (¹ 1106045/22-1) с присоединением заявки №

ЫПК С 23Ь

УДК 621.357.8: 621.315.

592 (088. 8) Приоритет

Опубликовано 08.1Х.1967. Бюллетень ¹ 18

Дата опубликования описания 22.XI.1967

Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

А. А. Новожилов и P. H. Хафизов

Заявитель

СПОСОБ ЗЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО РЕЗАНИЯ

ПОЛУПРОВОДНИКОВ работать на скоростях, превышающих скорость, достигаемую с электролитом без указанной добавки в несколько десятков раз при ширине пропила 0,3 — 0,4 ил, что позволяет

5 значительно увеличить процент выхода готовых деталей и, что особенно важно, появляется возможность анодной резки крупных заготовок.

Расход электролита 5 — 6 л/час. Напряже10 ние между электродами 60 в.

Способ электрохимического резания полу15 проводников, например сурьмянистого индия, с применением вольфрамовой нити в электролите на основе воды или этиленгликоля, отличаюи1ийся тем, что, с целью увеличения производительности труда и активизации процесса, в раствор вводят нитрат щелочных или щелочно-земельных металлов в количестве 0,01—

0,04 N для воды и до насыщения для этиленгликоля.

Известный способ электрохимического резания полупроводников в электролитах на основе воды или этиленгликоля с помощью вольфрамовой нити имеет тот недостаток, что продукты анодного растворения быстро снижают скорость травления.

Предложен способ электрохимического резания полупроводников, например сурьмянистого индия, в электролите на основе воды или этиленгликоля, где, с целью увеличения производительности труда и активизации процесса, в раствор вводят нитрат щелочных или щелочно-земельных металлов в количестве 0,01—

0,04 Х для воды и до насыщения для этиленгликоля.

Добавка в электролит нитрата щелочных или щелочно-земельных металлов резко уменьшает образование анодного шлама и придает последнему свойства, обеспечивающие его непрерывное удаление с поверхности реза в виде плотных тонких чешуек, легко вымываемых из зоны резания.

Благодаря этому появляется возможность

Предмет изобретения