Устройство для нанесения селективно-локального гальванического покрытия на длинномерные ленты

Устройство для нанесения селективно-локального гальванического покрытия на длинномерные ленты

Реферат

 

Использование: гальванотехника, в частности гальванические цеха для обработки длинномерных металлических лент в производстве полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: с целью повышения производительности процесса покрытия обрабатываемая лента совместно с маскирующей лентой свернута в рулон. Рулон намотан на кассету и сжат двумя планками, являющимися одновременно катодами. Для установки устройства на рабочей позиции служит подвеска. Рулон наматывается на кассету так, чтобы на обрабатываемой ленте оставались незакрытыми маскирующей лентой участки, подлежащие покрытию. В таком виде устройство погружается в раствор. 2 ил.

Изобретение относится к технике гальванопокрытий и может быть использовано для обработки длинномерных металлических лент в производстве полупроводниковых приборов.

Наиболее близким по технической сущности к заявляемому техническому решению является устройство селективно-локального гальванического покрытия длинномерных металлических лент путем их непрерывной протяжки через позиции обработки по принципу перемотки с рулона на рулон. Устройство представляет собой агрегат непрерывного действия, содержащий устройства размотки и намотки ленты, ячейки, баки, насосы и блоки управления агрегатом. Процесс покрытия может проходить с контролируемой или неконтролируемой глубиной погружения ленты в электролит. В первом случае лента движется в вертикальной плоскости и без маскирующей ленты, во втором - в горизонтальной плоскости с подвижной маскирующей лентой. Движение последней обеспечивается дополнительно специальным механизмом.

Недостатками прототипа является следующее: производительность процесса ограничена количеством одновременно обрабатываемых лент (не более двух); необходимость обеспечения одновременности начала и окончания отдельных операций в общем цикле процесса; устройство представляет собой сложный, узкоспециализированный, дорогостоящий агрегат.

Целью изобретения является повышение производительности процесса покрытия, которая достигается тем, что обрабатываемая лента совместно с маскирующей лентой свернута в рулон и в таком виде проходит по циклу процесса.

Предлагаемое техническое решение обеспечивает получение значительного положительного эффекта.

На фиг.1 и 2 показано предлагаемое устройство.

Устройство содержит рулон из подлежащей обработке ленты 1 и маскирующей ленты 2. Рулон намотан на кассету 3 и сжат двумя планками 4, являющимися одновременно катодами. Для установки устройства на рабочей позиции служит подвеска 5. Рулон наматывается на кассету 3 так, чтобы на ленте 1 оставались незакрытыми лентой 2 участки, подлежащие покрытию. В таком виде устройство погружается в раствор и подвешивается на подвеске 5. Наиболее оптимальная длина покрываемой ленты 15-20 м, предпочтительное количество лент в рулоне - две.

Формула изобретения

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ СЕЛЕКТИВНО-ЛОКАЛЬНОГО ГАЛЬВАНИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯ НА ДЛИННОМЕРНЫЕ ЛЕНТЫ, содержащее ванну, подвеску, приемную и подающую кассету для перемотки обрабатываемой ленты и маскирующую ленту, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности процесса, длина маскирующей ленты выбрана соразмерной длине обрабатываемой ленты, причем обе ленты совместно свернуты в рулон и смонтированы на кассете с возможностью идентичного перемещения по ходу технологического процесса.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2