Патент ссср 202685

Патент ссср 202685

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союа Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт, свидетельства ¹

Заявлено 26ЛХ.1966 (№ 1104001/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 14ЛХ.1967. Бюллетень № 19

Дата опубликования описания 6.XII.1967

23с

Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

21.793.1 (088.8) Авчоры изобретения Я. М. Беккер, Е. К. 10рьева, Л. М. Борисенко, И. В. Берг и Ф. Г. Старос

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ГАЗОТРАНСПОРТНЫХ

РЕАКЦИЙ

Предмет изобретения

Известное устройство для проведения газотранспортных реакций, например, с разложением галлоидных солей металлов, содержащее герметизированную камеру и нагреватели, не позволяет вести процесс разложения с высокой скоростью, так как при увеличении скорости реакции ухудшается качество наносимого слоя.

В описываемом устройстве этот недостаток устранен.

Ускорение процесса проведения реакции при сохранении высокого качества наносимого на подложку в процессе реакции слоя, достигнуто тем, что оно снабжено двумя ленточными нагревателями, один из которых выполнен прямолинейным и служит для размещения на нем исходного вещества, .подвергаемого разложению и переносу, а второй— имеет V-образную форму и расположен над подложкой.

На чертеже показано предлагаемое устройСтво.

В герметизированной камере 1 на прямолинейном ленточном нагревателе 2 размещено подвергаемое разложению и переносу вещество 8 и установленная на опорах 4 подложка

5, покрываемая .слоем вещества 8. Второй ленточный, нагреватель б имеет V-образную форму и расположен непосредственно над подложкой 5. V-образный нагреватель позволяет получить оптимальный температурный

5 режим, чем обеспечивается изотермичность поверхности подложки 5, а следовательно, и покрытие всей подложки 5 равномерным слоем вещества 8. Устройство может быть использовано для нанесения на подложку слоя

10 вещества через маску.

Устройство для проведения газотранспорт15 ных реакций, содержащее герметизированную камеру и нагреватели, отличающееся тем, что, с целью ускорения проведения реакции .при сохранении высокого качества наносимого на подложку в процессе реакции слоя, оно снаб20 жено двумя ленточными нагревателями, одчн из которых выполнен прямолинейным и служит для размещения на нем исходного вещества, подвергаемого разложению и переносу, и установленной на опорах подложки, покры25 ваемой слоем исходного вещества, а второй— имеет V-образную форму и расположен над подложкой.

202685

Редактор А. Шиллер

Заказ 3630)7 Тираж 535 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель В. Судариков

Техред T. П. Курилко

Корректоры: Н. И. Быстрова и А. П. Татаринцевя