Устройство для выращивания монокристаллов

Устройство для выращивания монокристаллов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 12g, 17/24

Заявлено 24.VI.1966 (№ 1085964/22-1) с присоединением заявки ¹

МПК В Olj

УДК, 669-172.002.2.002.5 (088.8) Приоритет

Опубликовано 09.Х.1967. Бюллетень №21

Дата опубликования описания 18.XII.1967

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

Л. А. Литвинов и Ф. E. Гуляев

Всесоюзный научно-исследовательский институт монокристаллов

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАИИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ

Предмет изобретения

Известно устройство для выращивания монокристаллов по способу Вернейля, включающее установленныи на вертикальной штанге разъемныи керамическии муфель, жестко скрепленныи с металлическим корпусом.

Отличие ii предлагаемого устроиства ляется то, что оно выполнено в виде двух полуцилиндров, шарнирно установленных на штанге с помощью перекрестных рычагов, связанных с эксцентриками приводного вала.

11ри этом части корпуса расположены с зазором между ними и взаимно подпружинены в направлении, перпендикулярном плоскости соединения частей муфеля. ! акое выполнение дает возможность ускорить сборку и разборку аппаратов ростового блока и обеспечить необходимую плотность соединения частей муфеля. г1а чертеже изображено описываемое yñтройство.

Устройство состоит из муфеля в виде двух керамических полуцилиндров 1 и металлического корпуса, также состоящего из двух полуцилиндров 2. Части муфеля соединены с частями корпуса, шарнирно установленными на вертикальной штанге 8 аппарата с помощью перекрестных рычагов 4, которые через ролики б связаны с эксцентриками б приводного вала 7. Части корпуса прижаты друг к другу пружинами 8, степень сжатия которых peryлируют с помощью гаек 9. На валу 7 может быть расположено несколько пар эксцентриков, количество которых соответствует числу аппаратов ростового блока.

Подготовленное к работе устройство закрывают, поворачивая приводной вал. lips этом эксцентрики взаимодействуют с роликами рычагов, и керамические части муфеля соединяются. Части корпуса установлены таким обра10 зом, что между ними при закрывании муфеля имеется зазор. В связи с этим под действием пружин полуцилиндры муфеля плотно смыкаются. Ilo окончании процесса выращивания муфели открывают поворотом вала в обрат15 Iloi 1 направлении, 20 Устройство для выращивания монокристаллов по способу Вернейля, включающее установленный на вертикальной штанге разъемный керамический муфель, расположенный в полости металлического корпуса и жестко с

25 нпм скрепленный, отличающееся тем, что, с целью ускорения его сборки и регулирования плотности соединения частей муфеля, оно выполнено в виде двух полуцилиндров, шарнирно установленных на штанге с помощью пере30 крестных рычагов, связанных с эксцентрика203639

»о подпружинены в направлении, перпендикулярном плоскости соединения частей муфеля.

Составитель Т. Г. Фирсова

Редактор Н. Л. Кориенко Текред Л. Я. Бриккер

Заказ 3868/13 Тираж 535 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретения и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, z м» приводного вала. причем части корпуса расположены с зазором между ними и взаимКорректоры: T. Д. Чунаева и С. А. Башлыкова