Способ нанесения пленочных покрытий на внутреннюю поверхность трубы

Способ нанесения пленочных покрытий на внутреннюю поверхность трубы

Реферат

 

1. Способ нанесения пленочных покрытий на внутреннюю поверхность трубы, включающий распыление в вакууме материала покрытия и осаждение его на внутреннюю поверхность трубы, отличающийся тем, что компенсированный ионный пучок направляют внутрь трубы вдоль ее оси, а распыляемую мишень, имеющую углубление и систему боковых отверстий, продвигают внутри трубы углублением вперед от одного конца трубы до другого навстречу ионному потоку.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что перед распылением в вакууме материала покрытия поверхность трубы активируют ионным пучком.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что мишень продвигают внутри трубы с постоянной или возрастающей скоростью.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что распыляемую мишень и/или трубу постоянно вращают вокруг продольной оси с несовпадающими угловыми скоростями.