Устройство для изготовления радиоэлектронных

Устройство для изготовления радиоэлектронных

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1 -.с 1 т p тJ

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

208058

Союз Советскик

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 25.Х1.1966 (№ 1114474/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 29.XII.1967. Бюллетень № 3

Дата опубликования описания 6.111.1968

Кл, 21а, 75

МПК Н 01п

УДК 621.3.049.75 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения В. М. Суминов, Е. В. Промыслов, А. К. Скворчевский и Б. Г. Кузин

Заявитель

Московский авиационный технологический институт

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РАДИОЭЛЕКТРОННЫХ

СХЕМ И МАСОК

Предмет изобретения

Известные устройства для изготовления радиоэлектронных схем и масок, содержащие оптический квантовый генератор (ОКГ) и роторный держатель подложки, малопроизводительны.

В предлагаемом устройстве использована оптическая проекционная система, раоположенная между, вращающимися дисками, один из которых служит для размещения масок, а другой, изготовленный из стекла, — для заШиты оптической проекционной системы. Это позволяет значительно повысить производительность и упростить, процесс .изготовления радиосхем и масок.

На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.

Луч от ОКГ 1 проходит через открытые элементы исходной маски 2. Маску располагают в диске 8, имеющем четыре гнезда. Поворот диска осуществляется оператором. Положение диска строго фиксируется относительно светового луча. Луч, пройдя оптическую проекционную систему 4 и стекло б, необходимое для загциты проекционной системы от загрязнения, прожигает заготовку б в местах, соответствующих открытым элементам исходной маски. Заготовки располагают в диске 7, имеющем шесть гнезд.

Диск 7 и защитное стекло 5 поворачиваются шаговым механизмом 8. Поворот диска 7 осуществляется синхронно с импульсом излучения ОКГ. В тот момент, когда заготовка находится в исходном положении, с выхода шагового механизма 8 подается сигнал на вход

5 блока 9 синхронизации. С блока 9 сигнал поступает на вход блока 10 инициирования высоковольтного разряда,,который поджигает лампы накачки генератора I. Основной высоковольтный заряд на лампы подается с кон10 денсаторной батареи блока 11 автоматической накачки.

Продолжительность цикла работы установки составляет 1 — 2 сек.

Изображение рисунка исходной маски на

15 заготовку б проецируется с помощью подсветки 12 и оптической системы 4.

20 Устройство для изготовления радиоэлектронных схем и масок, содержащее оптический квантовый .генератор и роторный держатель подложки, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности устройст25 ва, в нем использована оптическая проекционная система, расположенная между вращающимися дисками, один из которых служит для размещения масок, а другой, изготовленный из стекла, — для защиты оптической проек30 ционной системы.

208058

i2

Составитель М. Порфирова

Редактор Н. О. Громов Техред Т. П. Курилко Корректоры: Т. П. Лаврухина и С. П. Усова

Заказ 188/11 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2