Устройство для регулирования диаметра кристалла

Устройство для регулирования диаметра кристалла

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗ ОБРЕ ТЕ Н И Я

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2O94I2

Союз Советских

Социалистических

Республин

Зависимое от авт, свидетельства №

Кл, 12g, 17/08

Заявлено 21.XI 1966 (№ 1114999/22-1) с присоединением заявки №

MHK В 013

Приоритет

Опубликова <о 26.1.1968. Бюллетень ¹ 5

Дата опубликования описания 21. т1.1968

Иомитет по делам ивоооетеиий и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.365.58:669-172-52 (088.8) Авторы изобретения А. Е. Волпянский, В. И, Щипунов, В. H. Забелышенский, А, С. Чистов, А. Г. Лагутин, О. И. Каморин, Б. М. Миттельштейн, Х. И. Макеев и И. Н, Воронов

Заявитель Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ ДИАМЕТРА

КР И СТАЛЛА

Известно устройство для регулирования диаметра кристалла в процессе бестигельной зонной плавки, состоящие из оптической системы, установленного неподви кно фотоприемника, импульсного преобразователя и регулятора.

Особенностью предложенного устройст ва является то, что его оптическая система включает в себя последовательно установленные па оптической оси две призмы, обращенные одна к другой параллельными основаниями, собирающу1о,и рассеивающую линзы и проекционный экран. Прн этом фотоприемник визирован на проекционный экран и снабжен приводом вращения его в направлении продольной оси проецируемого изображения, а преобразователь выполнен с каскадом сравнения входного и эталонного импульсов по длительности. Зто дает возможность, повысить точечность стабилизации заданного диаметра.

На чертеже изображена схема устройства для регулирования диаметра.

Изображение расплавленной зоны 1 кристалла 2 формируется объективом 8 со све "офильтром 4. Размер изображения по высоте ограничивается щелевой диафрагмой 5. С помощью оптических призм б и 7, обращенных одна к другой параллельными основаниями, и линз 8 и 9 изображение преобразуется таким образом, что большая часть его середины вырезается, а периферийные части имеют увеличенный линейный масштаб.

Преобразованное изображение проецируется на полупрозрачный проекционный экран

10, за плоскостью которого установлен фогоприемник 11, снабженный приводом !2, вращения его в горизонтальной плоскости, в .на10 правлении,продольной оси проец даруемого изображения. Скорость вращения фотоприемника должна быть больше скорости вращения кристалла с тем, чтобы изменение скорости вращения кристалла не влияло на точность

15 измерения диаметра.

Фотоприемник 11 вырабатывает имгпульсы прямоугольной формы, длительность которых зависит от изменений размера изображения диаметра расплавленной зоны, соответствую20 щего заданному диаметру кристалла. Импульсы поступают в преобразователь 18 с время-импульсной схемой измерения, вырабатывающий эталонный импульс и снабженный каскадом сравнения входного и эталонного

25 юипульсов. При отклонении величины диаметра от заданного значения на выходе каскада появляется сигнал разбаланса, по величине и полярности пропорциональный величине и

209412

Г !

1 !

1 !

Составитель T. Г. Фирсова

1 сдактор И. С. Грузова Техред Л. Я. Бриккер Корректоры: Е. Н. Гудзона и А. П. Татаринцева

Заказ 501!9 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изооретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр, Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 знаку отклонения величины диаметра от заданного значения, который подаегся на вход электронного регулятора 14, вырабатывающего управляющие сигналы в цепи управления генератора 15 высокой частоты. При этом изменяется мощность высокочастотного поля в индукторе 16 и, следовательно, тепловые условия процесса, до установления величипы диаметра, равной заданной.

Устройство может быть применено и для автоматического регулирования диаметра кристалла по заданной программе.

Предмет изобретения

Устройство для регулирования диаметра кристалла, например растущего кристалла, в процессе бестпгельной зонной плавки, включающее оптическую систему с фотоприемником, импульсныи преобразователь и рсгуля тор, отличающееся тем, что, с целью повыше5 ния точности стабилизации заданного диаметра, оптическая система включает последовательно установленные на оптической оси дв< призмы, обращеHHb10 одна к другой параллельными основаниями, собирающую и рас10 сеивающую линзы и проекционный экран, причем фотоприемнпк визирован на проекционный экран и снабжен приводом вращения его в направлении продольной оси проецируемого изображения, а преобразователь выполнен с

I5 каскадом сравнения входного и эталонного импульсов по длительности.