Способ очистки деталей (варианты)

Реферат

 

Использование: для очистки деталей. Сущность изобретения: детали обрабатывают очистителем на основе перфторуглерода или его парами. Промывают и сушат. По другому варианту детали обрабатывают очистителем и промывают моющим средством. При этом в качестве очистителя используют по меньшей мере один легковоспламеняющий растворитель. В качестве моющего средства используют агент на основе перфторуглерода. По третьему варианту детали обрабатывают очистителем и сушат. Сушку ведут парами очистителя на основе перфторуглерода. 12 з.п. ф-лы, 10 ил. 5 табл.

Изобретение касается способа очистки деталей, обеспечивающего минимальное загрязнение окружающей среды.

Известен способ очистки изделий, включающий обработку изделий очистителем на основе галоидированного углеводорода и ПАВ с последующей промывкой галоидированными углеводородами и сушкой [1] Известен также способ очистки изделий, включающий их обработку чистителем на основе галоидированного углеводорода с последующей сушкой [2] Задачей изобретения является уменьшение загрязнения окружающей среды и возможность проводить ультрапрецизионную очистку в условиях влияния на состояние окружающей среды.

Данная задача решается тем, что в способе очистки деталей, включающем их обработку очистителем, промывку и сушку, согласно изобретению, обработку, промывку и сушку осуществляют очистителем на основе перфторуглерода или парами его.

В качестве очистителя используют перфторуглерод или его смесь со вспомогательной добавкой для улучшения чистящей или обезвоживающей способности, взятой в количестве до 70% объемных от массы перфторуглерода.

Перед сушкой детали повторно подвергают воздействию очистителя на основе перфторуглерода или его паров.

Используют водный очиститель.

Данная задача решается также тем, что в способе очистки детали, включающем их обработку очистителем и промывку моющим средством, согласно изобретению, в качестве очистителя используют по меньшей мере один легковоспламеняющийся растворитель, выбранный из группы, содержащей терпеновые, углеводородные, силиконовые, спиртовые растворители и керосин, а в качестве моющего средства средство на основе перфторуглерода.

Обработку очистителем ведут в атмосфере неактивных паров, образующихся в результате термического испарения перфторуглерода.

Обработку очистителем осуществляют для удаления смазки и/или обезвоживания, и/или прецизионной очистки.

Промывку ведут погружением детали в моющее средство, либо вспрыскиванием на деталь моющего средства, либо в парах моющего средства, образующихся в результате термического испарения перфторуглерода.

Данная задача решается также тем, что в способе очистки деталей, включающим их обработку очистителем и сушку, согласно изобретению, в качестве очистителя используют по меньшей мере один растворитель, выбранный их группы, содержащей перфторуглеродный или спиртовой, терпеновый, углеводородный, силиконовый растворитель и керосин, а сушку ведут парами очистителя на основе перфторуглерода.

При этом очиститель используют водным.

Обработку детали ведут легковоспламеняющимся очистителем в атмосфере неактивных паров, образующихся в результате термического испарения перфторуглерода.

Перфторуглерод используют с температурой кипения, по меньшей мере, на 20oC ниже температуры кипения очистителя при обработке.

После обработки дополнительно ведут промывку моющим средством на основе по меньшей мере одного наводного растворителя, выбранного из группы, содержащей перфторуглеродный, терпеновый, углеводородный, силиконовый растворитель и керосин, или спиртовым растворителем, охлажденным ниже его температуры воспламенения с последующим удалением спиртового растворителя с поверхности детали в атмосфере паров очистителя на основе перфторуглерода.

Обработку осуществляют для удаления смазки, обезвоживания и прецизионной очистки.

Пары, полученные в результате термического испарения и перфторуглерода и очистителя на его основе дополнительно охлаждают, конденсируют и полученный при этом конденсат подвергают разделению с помощью сепаратора.

Очиститель, содержащий в качестве главного компонента перфторуглерод и используемый, согласно настоящему изобретению, применим для эффективного обезвоживания мокрой очищенной детали и в то же самое время этот очиститель годен и для очистки детали, а также для ее промывки. Кроме того, после того как деталь очищена водным очистителем, а затем промыта водой, очиститель можно эффективно использовать для удаления влаги, налипшей на поверхность очищенной детали, причем данная операция удаления налипшей влаги частично перекрывает упомянутую операцию высушивания.

Перфторуглерод представляет собой соединение, в котором все замещающие радикалы, способные присоединяться к атомам углерода данной молекулярной структуры, являются атомами фтора. Как правило, предполагается, что при комнатной температуре это соединение находится в жидком состоянии. Однако в некоторых выпускаемых промышленностью образчиках перфторуглерода указанное замещение радикалы не все являются атомами фтора, но частично включают в виде примесей атомы водорода, хлора или брома. Указанные примеси неустранимы из-за специфики производства. Их содержание в упомянутых образчиках находится приблизительно в интервале 0,5-5,0% Подобный уровень содержания примесей не оказывает существенного влияния на практическую применимость перфторуглерода. Таким образом, перфторуглерод, предназначенный для применения, согласно настоящему изобретению, не ограничен такой разновидностью, в которой главная цепочка образована исключительно атомами углерода, а, напротив, допускается частичное включение атома кислорода в виде эфирной связи или же атома азота, кремния и т.п.

Высококачественный перфторуглерод является негорючим, нетоксичным, не имеет запаха и обеспечивает высокую степень безопасности. Так как он почти не содержит хлора, исключается вероятность последствий, связанных с загрязнением окружающей среды. Кроме того, так как данное соединение обладает летучестью, сравнимой с летучестью фреонового растворителя и исключена коррозия ряда материалов, включая металлы, пластмассы и стекло, данное соединение обещает эффективную и полностью удовлетворительную очистку деталей из различных материалов.

Перфторуглерод не смешивается с различными растворителями, включая воду и исключая фтористые растворители. Таким образом, даже если эти несмешивающиеся с ним очистители и находят свое применение совместно с перфторуглеродом на операциях очистки и промывки, перфторуглерод без труда удается регенерировать для повторного применения. Имеющиеся в продаже образцы перфторуглерода, например, обладают высокой плотностью, составляющей 1,5-2,0 при 25oC, т.е. эти значения превышают плотность обычных неводных растворителей. Следовательно, благодаря такому различию в плотности перфторуглерод можно отделить от других растворителей отстаиванием. В результате удается обеспечить регенерирование и повторное использование как перфторуглерода, так и очистителя или моющего средства или моющего средства на его основе. При использовании очистителя, главным компонентом которого является перфторуглерод, для удаления влаги, налипшей на поверхность детали, удается не только эффективно удалять налипшую влагу и высушивать мокрую очищенную деталь, но, используя различие плотностей перфторуглерода и воды, в то же время обеспечить отделение перфторуглерода от водки. При желании отделить перфторуглерод от воды можно перегонкой, используя различие температур кипения компонентов.

Перфторуглероды, которые можно эффективно применять согласно настоящему изобретению, включают соединение общей формулы CnF2+2, где n - целое положительное число от 4 до 12, в том числе соединения таких частных молекулярных формул, как C3F6, C4F8 C5F10, C6F12, C6F12О, C6F14, C7F14, C7F14О, C7F16, C8F16О, C8F18, C9F18О и C10F20O, а также соединения структурных формул: где p и g в отдельности представляют собой целые положительные числа. Согласно настоящему изобретению указанные перфторуглероды можно использовать как самостоятельно, так и в смесях. В качестве примеров коммерчески доступных препаратов можно привести "флоринат (Florinate) FC-72" с температурой кипения 56oC, FC-84 c температурой кипения 80oC, FC-77 с температурой кипения 97oC, FC-75 с температурой кипения 102oC, FC-40 с температурой кипения 155oC, FC-43 с температурой кипения 174oC, выпускаемые фирмой "Сумитомо-3М" (Sumitomo-3М): "Гаруден (Garuden) Д-80" с температурой кипения 84oC, Д-100 с температурой кипения 102oC и Д-01 с температурой кипения 110oC, выпускаемые фирмой "Ниппон Монтэдисон" (Nippon Montedison); "Аффлюд (afflude) Е-8" c температурой кипения 82oC и Е-10 с температурой кипения 100с, выпускаемые фирмой "Асахи гарасу, Лтд." (Asqhi Glass, Ltd.), а также "Текнокэйр (Technocare) FRV-I" с температурой кипения 100oC, выпускаемый фирмой "Тосиба" (Toshiba). При этом в равной степени пригодны любые коммерческие доступные препараты: перфторуглероды серии "Гаруден", выпускаемые фирмой "Монтедисон" в Италии, а также различные препараты серии "Текнокэйр FRV", выпускаемые фирмой "Тосиба" в Японии.

В зависимости от химического строения молекул можно получить перфторуглероды с различными температурами кипения. На операции высушивания целесообразно применять конкретный перфторуглерод с температурой кипения на 20oC ниже температуры кипения очистителя, применяющегося на операции очистки. Это различие температур кипения предотвращает повторное налипание очистителя на очищенную деталь на операции высушивания. Желательно, чтобы упомянутые различие температур кипения составляло не менее 50oC, предпочтительно не менее 100oC.

Упомянутый выше жидкий перфторуглерод можно применять самостоятельно или же в смеси с вспомогательными добавками. Эти добавки включают растворитель, добавляемый к перфторуглероду для улучшения его чистящей способности, когда чистящая способность, проявляемая самим перфторуглеродом, недостаточна для удаления влаги, остающейся на поверхности очищенной детали.

Примерами вспомогательных добавок могут быть терпеновые, углеводородные и силиконовые растворители, керосин, фреоновые растворители, неводные растворители, такие как хлорсодержащие органические растворители, а также гидрожильные растворители, такие как спирты. Разумеется целесообразно исключить применение таких фреоновых растворителей, как "Фреон 113", и таких хлорсодержащих органических растворителей, как I, I, I-тихлорметан, ввиду загрязнения ими окружающей среды, а также ввиду недостаточной безопасности. Однако их неблагоприятное воздействие на окружающую среду можно в значительной степени ослабить применением перфторуглерода в качестве главного компонента очистителя. При использовании перфторуглерода в сочетании с упомянутыми вспомогательными добавками целесообразно, чтобы общее содержание вводимых вспомогательных добавок не превышало 70% (об. доли), а лучше всего 30% от количества перфторуглерода. А именно, предмет изобретения реализуется легче, если показатель влияния фреонового растворителя на окружающую среду составляет менее 0,7, предпочтительно менее 0,5, а лучше всего ниже 0,3. Если вспомогательной добавкой служит легковоспламеняющийся растворитель, то целесообразно, чтобы его температура кипения была выше, чем у перфторуглерода.

Очиститель, применяющийся на операции очистки, согласно настоящему изобретению, можно выбрать с учетом соответствия характеру искомой очистки, например, очистке с целью удаления смазки, обезвоживающей очистке или же прецизионной очистке. Конкретная операция очистки допускает применение упомянутого выше очистителя, содержащего в качестве главного компонента перфторуглерод, неводных очистителей, содержащих в качестве главного компонента неводные растворители: силиконовые, углеводородные, терпеновые, а также керосин; гидрожильных очистителей, содержащих в качестве главного компонента гидрофильные растворители, например, спиртовые; водорастворимых очистителей, включая щелочные, нейтральные и кислотные очистители. В качестве конкретных очистных устройств можно, например, выбрать ванну для погружения или опрыскивания, при желании в сочетании с ультразвуковым или вибрационным взбалтыванием, механическим перемешиванием.

Растворители, применимые в качестве главного компонента очистителя, описанного выше, подробно описаны в последующем изложении. Среди неводных растворителей в качестве силиконового растворителя можно упомянуть по меньшей мере один низкомолекулярный полиорганосилоксан, выбранный из группы, содержащей линейные полидиорганосилоксаны, представленные общей формулой I: где радикалы R независимо друг от друга могут представлять собой замещенные или незамещенные группы одновалентных замещенных углеводородов, а m означает целое положительное число от 0 и 5; а также циклическое полидиорганосилоксаны, представленные общей формулой II: где R независимо друг от друга представляют собой замещенные или незамещенные группы одновалентных углеводородов, а n означает целое положительное число 3 и 7.

Упомянутый выше низкомолекулярный полиорганосилоксан сам по себе проявляет превосходную чистящую способность за счет легкого проникания (благодаря летучести паров) в труднодоступные места очищаемых деталей сложной конфигурации, в том с покрытиями, делает очищенные детали стойкими к ржавлению и обещает более чем удовлетворительную способность вытеснять влагу. Полидиорганосилоксан линейного молекулярного строения, представленный формулой I, и полидиорганосилоксан циклического молекулярного строения, представленный формулой II, можно использовать совместно, в комбинированном виде. В упомянутых выше формулах I и II радикалы P независимо друг от друга представляют собой замещенные и незамещенные группы одновалентных углеводородов. В качестве конкретных примеров можно привести такие незамещенные группы одновалентных углеводородов, как алкильные группы, а именно группы метила, этила, пропила, бутила и группу фенила, а также такие замещенные группы одновалентных углеводородов, как трифторметил. С точки зрения стабильности образующихся систем и гарантии летучести лучше выбрать группу метила.

В качестве углеводородных растворителей можно упомянуть алкилбензольный и керосиновый растворители. Их можно использовать как самостоятельно, так и в виде смеси двух и более компонентов. В качестве эффективно действующих керосиновых растворителей можно упомянуть низкокипящие изокеросиновые фракции с 1-30 атомами углерода. Среди других низкокипящих изокеросиновых фракций с точки зрения чистящей способности в особенности подходят изокеросин, главным компонентом которых являются фракции с 3-15 атомами углерода. Такие углеводородные растворители обладают летучестью, безвредны, не имеют запаха и обещают такую же эффективность очистки, что и упомянутые выше полиорганосилоксаны. Терпеновые растворители получают главным образом из масел, экстрагируемых из апельсинов.

В качестве гидрофильных растворителей, приемлемых в качестве главного компонента очистителя, отвечающего настоящему изобретению, можно привести спиртовые растворители, а именно, растворители на основе высших и многоатомных спиртов.

Описанные выше неводные растворители проявляют чистящую способность, даже будучи взяты в отдельности. В зависимости от цели применения такие растворители целесообразно употреблять в смеси с добавкой, улучшающей и усиливающую ее. В случае применения добавки, улучшающей чистящую способность, деталь, подлежащую очистке, лучше промывать силиконовым растворителем, углеводородным или перфторуглеродным растворителем. Такая промывка облегчает проведение операции высушивания, когда применяют пары очистителя, содержащего в качестве главного компонента перфторуглерод.

В качестве улучшающих чистящую способность добавок, которые можно с большим эффектом вводить в подобные неводные растворители, можно упомянуть поверхностно-активные вещества (ПАВ), в том числе в сочетании с совместимыми с ними гидрофильными растворителями. ПАВ можно разделить по химическому строению молекул, определяющему их активность, на катионные, анионные, неионные, амфотарные и комбинированные. Настоящее изобретение допускает использование этих ПАВ независимо от их вида.

В частности ПАВ усиливает чистящую способность очистителя.

К особенно предпочтительным ПАВ относятся, например, анионные ПАВ, представителями которых являются сульфонаты полиооксиэтиленалкилефира и эфиры фосфорной кислоты; неионные ПАВ, представителями которых являются сложные эфиры многоатомного спирта и жирной кислоты, полиоксисилоксановые сложные эфиры жирной кислоты и полиоксиалкиленалкилэфиры; амфотерные ПАВ, представленные производными имидазолина, а также катионные ПАВ, представленные солями алкиламина и алкильными четвертичными солями аммония. Приемлемы также терпеновые растворители и сложные эфиры высших жирных кислот. Кроме того, приемлемы и синтетические соединения, содержащие элементы упомянутых выше химических молекулярных структур, замещающих атомами фтора и кремния.

С точки зрения удобства применения особо предпочтительны также гидрофильные растворители с температурами вспышки, превышающими 40oC. Гидрофильные растворители включают, например, многоатомные спирты, такие как простой монометиловый этиленгликолевый эфир, простой моноэтиловый этиленгликолевый эфир, простой монопропиловый этиленгликолевый эфир, простой монобутиловый этиленгликолевый эфир, ацетат простого монобутилового этиленгликолевого эфира, простой монобутиловый диэтиленгликолевый эфир, а также производные упомянутых многоатомных спиртов.

В случае применения очистителя, включающего добавку, улучшающую чистящую способность, на относительное содержание указанной добавки в смеси особых ограничений не налагается. Желательно, чтобы относительное содержание ПАВ в смеси не превышало 20 мас.ч. (предпочтительно не превышало 3 мас.ч.) на 100 мас. ч. неводного растворителя. Что касается гидрофильного растворителя, то желательно, чтобы его относительное содержание не превышало 100 мас.ч. неводного растворителя.

Приведенные примеры добавок, улучшающих чистящую способность, которые можно использовать в таких неводных растворителях, как терпеновые, включают также ПАВ на основе терпеновых эмульсий.

Целесообразно, чтобы способ очистки, отвечающий настоящему изобретению, после операции очистки предусматривал операцию промывки моющим средством, выбранным из упомянутых выше неводных растворителей, содержащих перфторуглерод, низшие спирты, такие как метиловый и этиловый, а также обычных водных растворителей, содержащих ацетон, метилэтилкетон и воду.

В частности, более чем удовлетворительный результат достигается, когда на операции очистки применяют очиститель, главным компонентом которого является легковоспламеняющийся растворитель: терпеновый, углеводородный, силиконовый, спиртовый или же керосин, а промывку осуществляют моющим средством, главным компонентом которого является перфторуглерод. Промывку перфторуглеродом проводят, погружая в моющее средство деталь, подлежащую очистке или впрыскивая моющее средство деталь, подлежащую очистке или впрыскивая моющее средство на поверхность такой детали, или же подвергая упомянутую деталь воздействию паров, полученных в результате нагревания моющего средства. Указанные способа промывки можно также применять все вместе одновременно.

В результате описанной выше промывки перфторуглеродом легковоспламеняющийся растворитель, налипший на поверхность детали, подлежащей очистке, удаляется с этой поверхности и таким образом может подмешиваться к моющему средству, главным компонентом которого является перфторуглерод, вследствие чего и происходит удаление легковоспламеняющегося растворителя с поверхности детали. В результате удается в заметной степени предотвратить утечку легковоспламеняющегося растворителя в окружающую воздушную среду и свести к минимуму вероятность таких последствий, как загрязнение окружающей среды легковоспламеняющимся растворителем и возгорание последнего. Кроме того, так как перфторуглерод совместим с очистителем, используемым согласно настоящему изобретению как указано выше, перфторуглерод можно отделить от очистителя и тем самым регенерировать независимо. В результате использования перфторуглерода заметно снижает расход очистителя и повышает экономичность операции очистки.

Операция очистки и промывки с использованием описанного выше легко воспламеняющегося растворителя целесообразно проводить в атмосфере невоспламеняющихся паров, получаемых термическим испарением перфторуглерода. В этом случае очистку и промывку легковоспламеняющимся растворителем можно осуществить в атмосфере, отличающийся отсутствием или очень небольшим содержанием кислорода. Так как пары перфторуглерода имеют большую плотность, чем воздух, удается предотвратить утечку легковоспламеняющихся газов (паров) из рабочей атмосферы и их подмешивание к окружающему воздуху. Тем самым в значительной степени снижается вероятность таких последствий проведения указанных операций, как загрязнение воздушной среды и пожар, и в то же самое время удается обеспечить высокую эффективность операции очистки.

На отвечающей настоящему изобретению операции промывки в качестве моющего средства можно использовать спиртовой растворитель. В данном случае этот спиртовой растворитель лучше предварительно охладить до температуры, лежащей ниже его температуры вспышки. Высушивание очищенной детали легче осуществить, если вместо неводного растворителя со сравнительно высокой температурой кипения воспользоваться спиртовым растворителем с низкой температурой кипения. В данном случае спиртовый растворитель, которому позволяют налипнуть на поверхность детали, надлежащей очистке, является легковоспламеняющимся. Тем не менее, когда подлежащую очистке деталь с налипшим на нее легковоспламеняющимся растворителем подвергают высушиванию нагреванием в атмосфере паров очистителя, содержащего в качестве главного компонента перфторуглерод, удается исключить риск возгорания упомянутого налипшего легковоспламеняющегося растворителя и осуществить высушивание в улучшенных условиях безопасности.

Отвечающую настоящему изобретению операцию высушивания проводят, подвергая прошедшую очистку деталь, на поверхности которой имеются остатки очистителя и моющего средства, воздействию паров, получаемых нагреванием вышеупомянутых парофазного очистителя, а именно, очистителя, содержащего в качестве главного компонента перфторуглерод. На поверхности детали, подлежащей очистке, вещество паров перфторуглерода остается в виде капель до тех пор, пока температура этой детали не достигает температуры кипения перфторуглерода. Благодаря различию плотностей перфторуглерода и очистителя (или моющего средства) последние вытесняются с поверхности очищенной детали. Так как налипший перфторуглерод легко испаряется, предварительно очищенная деталь по высушиванию оказывается абсолютной чистой.

В предложенном способе очистки, в частности, на операции очистки процесс неводной очистки по всей технологической цепочке может состоять в использовании на операции очистки неводного очистителя, содержащего в качестве главного компонента неводный растворитель, такой как перфторуглерод, силиконовый растворитель, углеводородный растворитель, терпеновый растворитель или керосин, причем деталь, подлежащая очистке, требует промывки с использованием на промывочной операции моющего средства, содержащего аналогичный неводный растворитель. Кроме того, требуется обезвоживание очищенной и промытой детали парами очистителя, содержащего в качестве главного компонента перфторуглерод.

В очистной установке физически реализован пример описанного выше способа очистки, предложенного в данном изобретении. Согласно настоящему изобретению оборудование очистной установки оформлено в виде замкнутой герметичной конструкции, причем внутреннее пространство установки разделено перегородкой на две камеры. Целесообразно, чтобы обе эти обособленные камеры были оснащены самостоятельными устройствами отсасывания воздуха, создающими внутри установки пониженное давление. Такая конструкция очистной установки предотвращает утечку из нее паров очистителя, содержащего в качестве главного компонента перфторуглерод, а также утечку жидкого очистителя или моющего средства. Благодаря указанному предотвращению утечки в сочетании с тем фактом, что отвечающий настоящему изобретению очиститель, содержащий в качестве главного компонента перфторуглерод, а также различные имеющие в составе очистителя растворители не совместимы между собой и могут быть регенерированы независимо друг от друга, удается уменьшить количественный расход этих веществ.

Детали, подлежащие очистке с использованием способа очистки и очистной установки, представляют собой детали из металла, керамики и пластмасс. Точнее говоря, к таким деталям относятся, например, металлические детали, детали со специальной обработкой поверхности, детали для электроники, полупроводниковые и электротехнические детали, детали, подвергнутые прецизионной механической обработке, оптические, стеклянные и керамические детали.

На фиг. 1 представлена схема конструкции очистной установки, представляющей собой один из вариантов осуществления изобретения; на фиг.2 - схема устройства, предназначенного для перевода парофазного очистителя, содержащего в качестве главного компонента перфторуглерод, в паровую фазу, причем это устройство является составной частью установки, показанной на фиг.1; на фиг. 3 схема, показывающая конструкцию устройства, предназначенного для регенерирования очистителя, причем данное устройство также является составной частью очистительной установки, показанной на фиг.1; на фиг.4 - схема, показывающая очистную установку, представляющую собой другой вариант осуществления настоящего изобретения; на фиг.5 поперечный разрез, показывающий конструкцию устройства для перегонки загрязненного очистителя; на фиг.6 схема, показывающая разновидность очищающего устройства; на фиг.7 - схема, показывающая конструкцию очистительной установки, представляющей собой еще один вариант осуществления настоящего изобретения; на фиг.8 схема, показывающая конструкцию промывочного устройства; на фиг.9 на схема, показывающая еще одну разновидность конструкции промывочного устройства; на фиг.10 график зависимости между относительным содержанием перфторуглерода в смеси, составляющей препарат "фреон 113", и степенью влияния "фреона 113" на окружающую среду.

На фиг. 1 в качестве одного из вариантов изобретения представлена схема очистительной установки, сконструированной для осуществления способа очистки согласно настоящему изобретению. Предусмотрено, что внутри очистительной установки, показанной на этом рисунке, размещено оборудование, включающее ленточный транспортер 10 для транспортирования подвергаемой очистке детали 1, а также устройство 30 для очистки опрыскиванием, предусмотренное на операции очистки, устройство 40 для промывки погружением, а также сушильное устройство 50, приспособленное для высушивания парами парофазного очистителя, содержащего на операции высушивания, причем устройства 30, 40 и 50 расположены последовательно одно за другим по ходу движения транспортирующего устройства 10.

Указанное оборудование 20 смонтировано внутри конструкции, герметически закрытой за исключением входного проема 21 и выходного проема 22 для транспортирующего устройства 10.

Внутреннее пространство установки, занимаемое оборудованием 20, разделено на две камеры 20а и 20b перегородкой 23, находящейся на позиции промывочного устройства 40. К предшествующей камере 20а и к последующей камере 20в, которые разделены перегородкой 23, подсоединены самостоятельные воздухоотсасывающие системы 24, 25. Таким образом, воздух засасывается в эти камеры независимо через открытые части, а именно через входной проем 21 и выходной проем 22, упомянутого оборудования 20. Благодаря тому, что вследствие этого внутри предшествующей камеры 20а и последующей камеры 20в устанавливается пониженное давление, удается предотвратить утечку паров, таких как пары перфторуглерода, из пространства, занятого оборудованием 20, и осуществить повторное использование перфторуглерода.

В устройстве 30 для очистки опрыскиванием имеется транспортер 12, обеспечивающий операцию очистки и состыкованный с входным транспортером 11. Эти транспортеры служат для перемещения деталей, подлежащих очистке. Устройство 30 для очистки опрыскиванием включает ванну 32 для очистки опрыскиванием, опрыскиватель, которой оснащен множеством впрыскивающих насадок 31, размещенных таким образом, что они впрыскивают струйки очистителя на деталь 1 с обеих ее сторон (боковых по ходу движения). Такая очистка опрыскиванием позволяет удалить с поверхности обрабатываемой детали 1 такие налипшие на поверхность этой детали загрязнения, как смазка и влага.

Упомянутый выше очиститель подбирают с учетом цели очистки и вида детали, подвергаемой очистке. Например, применяют неводный очиститель, приготовленный введением ПАВ, служащего добавкой, улучшающей чистящую способность, в силиконовый растворитель типа "Текнокэйр (Nechnocare) FRW-13" с температурой кипения 176oC, выпускаемый фирмой "Тосиба", или же применяют неводный очиститель, приготовленный введением многоатомного спирта в качестве упомянутой добавки в силиконовый растворитель типа "Текнокэйр FRW-14" с температурой кипения 176oC или FRW-15 с температурой кипения 178oC, выпускаемые фирмой "Тосиба". Ванна 32 для очистки опрыскиванием соединена с накопительным резервуаром 34 трубопроводом 33. Насос 35 накачивает очиститель из накопительного резервуара 34 на участок обработки детали. В трубопровод 33 вмонтирован фильтр 36. Фильтр 36 освобождает протекающий через него очиститель от таких загрязнений, как твердые частицы и нерастворимые компоненты.

Промывочное устройство 40 оборудовано ванной 41 для промывки погружением, содержащей моющее средство, заменяемое в зависимости от цели промывки. Предусмотренный на операции промывки транспортер 13 расположен таким образом, что очищенная деталь 1 может перемещаться, окунаясь в содержимое ванны 41 или промывки погружением. Благодаря такому прохождению детали 1 с окунанием в содержимое ванны 41 или промывки погружения очиститель и ионные загрязнения, налипшие на деталь 1 во время ее прохождения через устройство 30 для очистки опрыскиванием, смываются с этой детали. В качестве моющего средства применяют, например, "Текнокэйр FRW-1", содержащий только силиконовый растворитель с температурой кипения 176oC и выпускаемый фирмой "Тосиба", или "Текнокэйр FRV-1" (содержащий перфторуглерод) с температурой кипения 100oC, также выпускаемый фирмой "Тосиба".

К ванне 41 промывки погружением подключена циркуляционная система, которая на рисунке не показана. Отработанное моющее средство очищают, например, в устройстве очистки жидкого очистителя, рассчитанном на эффект экстрагирования из водной среды. Экстракция из водной среды достаточна для обеспечения очистки, так как и добавка, улучшающая чистящую способность, и ионное загрязнение, подмешивающееся к промывочной жидкости, приготовленной на основе силиконового растворителя или перфторуглерода, поддаются экстрагированию из водной среды. Указанное устройство для очистки жидкости позволяет постоянно поддерживать моющее средство в безопасном состоянии.

Основными составными частями сушильного устройства 50 являются сушильная нагревательная камера 51, предназначенная для поддержания парофазного очистителя, состоящего преимущественно из перфторуглерода, в состоянии пара в зависимости от температуры кипения перфторуглерода, а также охлаждающий трубопровод 52, расположенный над сушильной нагревательной камерой 51 таким образом, что предотвращается просачивание паров перфторуглерода из сушильной нагревательной камеры 51 вовне. Кроме того, транспортер, предусмотренный на операции высушивания, расположен таким образом, что очищенная деталь 1 может проходить внутри сушильной нагревательной камеры 51, внутренне пространство которой заполнено упомянутыми парами перфторуглерода.

Парофазный очиститель, содержащий в качестве главного компонента перфторуглерод, переводят в паровую фазу при помощи парогенератора 62, оснащенного нагревателем 61, как это показано на фиг.2, так что образующиеся пары подаются через патрубок 53 ввода паров в сушильную нагревательную камеру 51. В качестве парофазного очистителя, состоящего главным образом из перфторуглерода, можно использовать один из препаратов ряда, включающего "Флоринат (Florinate) FC-72", а также FC-84, FC-77, FC-75 и "Текнокэйр FRV-1".

На детали 1, перемещаемой транспортером 14 на операцию высушивания в сушильной нагревательной камере 51, заполненной парами, такими как пары перфторуглерода, вещество этих паров остается в виде капель до тех пор, пока их температура не достигнет температуры кипения перфторуглерода, и в этом жидком виде служит для смывания остатков моющего средства, налипших на поверхность детали 1. После того как температура детали 1 превысит температуру кипения перфторуглерода, указанное вещество не остается более на поверхности детали 1. Таким образом, очищенная деталь транспортируется из установки в абсолютно чистом состоянии. Моющее средство, снятое с поверхности детали при помощи указанной обработки парами, выводится через спусковой кран 54, расположенный в донной части сушильной нагревательной камеры 51, освобождается от загрязнений, например экстрагированием из водной среды, и в результате этого разделяется на силиконовый растворитель и перфторуглерод, которые направляют на дальнейшее использование независимо друг от друга. Такое разделение силиконового растворителя и перфторуглерода проводят, например, методом отстаивания основанным на различии их плотностей, или методом центрифугирования.

Воздухоотсасывающие системы 24, 25, предусмотренные в комплексе оборудования 20, раздельно связаны с устройствами 64 регенерирования очистителя, каждое из которых оснащено механизмом 63 впрыскивания, обеспечивающим контактирование воды (употребляемой для экстрагирования очистительного компонента) с отсасываемым воздухом. Устройство 64 регенерирования очистителя, присоединенное к воздухоотсасывающей системе 24 на стороне предшествующей камеры 20а, обеспечивает исключающее разделение с целью регенерирования и повторного использования нерастворимого в воде силиконового растворителя впрыскиванием воды W навстречу потоку G отсасываемых газообразных продуктов, вызывая тем самым экстрагирование добавки, улучшающей чистящую способность, из водной среды. Устройство 64 регенерирования очистителя, присоединенное к воздухоочистительной системе 25 на стороне последующей камеры 20в, обеспечивает взаимное разделение нерастворимого в воде силиконового растворителя и перфторуглерода (с целью их регенерирования и повторного использования) простым экстрагированием добавки, улучшающей чистящую способность, из водной среды. К входному проему 21 комплекса оборудования 20 присоединена самостоятельная воздухоочистительная система 26, предназначенная для повышения эффективности регенерирования очистителя.

Следующий вариант относится к очистительной установке, в которой на операции очистки применяют устройство 30 для очистки опрыскиванием. Как показано на фиг.4, в такой установке по желанию может быть использовано ультразвуковое устройство 70 для очистки погружением. Очистная ус