Устройство для контроля совмещения подвижной и неподвижной плоскостей

Устройство для контроля совмещения подвижной и неподвижной плоскостей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскив

Социалистическил

Респуолив

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 42d, 1/15

576, 5/02

Заявлено 04.IV.1966 (№ 1066543/26-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 26.1.1968. Бюллетень № 5

Дата опубликования описания 25.III.1968

МПК G 01d

G 03(УДК 53,087.354(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

В. Г. Лужецкий, В. Г. Лужецкий и П. А. Чернов

Институт математики Сибирского отделения АН СССР

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ ПОДВИЖНОЙ

И НЕПОДВИЖНОЙ ПЛОСКОСТЕЙ

Данное изобретение относится к области электроавтоматики и электровакуумной техники.

Известные устройства для контроля совмещения подвижной и неподвижной плоскостей, содержащие осветители, механизм перемещения подвижной плоскости, оптическую систему и индикатор, обладают рядом недостатков: невысокой точностью измерения совмещения, невозможностью непрерывного контроля совмещаемых плоскостей, отсутствием автоматизации процесса совмещения, применением сложной оптики, малой производигельностью, невозможностью передачи информации о контроле на расстояние.

Предлагаемое устройство лишено указанных недостатков благодаря тому, что в нем оптическая система выполнена в виде трех непрерывно закрепленных световодов, а на подвижной плоскости нанесены две щели, пропускающие свет от осветителей к световодам, при этом к выходным торцам последних подключена схема преобразования световых потоков, выполненная в виде диска с тремя рядами отверстий, нанесенных с разной частотой, и фотоприемника, на выходе которого включены три фильтра, последовательно подключенные к индикатору.

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.

Для совмещения неподвижной плоскости, например подложки 1 с подвижной маской 2, на последней нанесены две щели 8 и 4. Контроль совмещения производится по трем точкам с помощью трех неподвижно закрепленных световодов 5, б и 7, на выходе которых установлены три схемы 8, 9 и 10 преобразования световых потоков. Момент точного совмещения определяется максимальными показаниями всех схем преобразования световых потоков, на которые свет поступает от осветителей 11 и 12 через щели 8 и 4. Схема преобра15 зования световых потоков в простейшем случае может состоять из фотоэлектрического преобразователя и микроамперметра. При осуществлении процесса совмещения, когда маска 2 занимает положение, при котором ни

20 один из световодов не совпадает со щелями, необходимо сначала осуществить поворог маски в одну из сторон механизмом 18 до момента появления увеличения показаний одной из схем 8 или 9. После того, как схема даст

25 максимальные показания, маска 2 переместится механизмом 14 до максимального увеличения показаний схемы 9, при этом обе схемы (8 и 9) должны давать максимальные показания. Для совмещения в третьей точке ucÇ0 пользуется механизм 15, при этом световой

3 поток от осветителя 12 проходит через щель 8 и преобразуется схемой 10.

Максимальные показания всех трех схем соответствуют моменту окончания совмещения, Для упрощения схемы преобразования световых потоков используется вращающийся с постоянной скоростью диск 16 с тремя рядами отверстий, фотоприемник 17 и три фильтра 18, 19 и 20, выходы которых последовательно подсоединены к индикатору 21, например микроамперметру. Фильтры настроены на соответствующие частоты отверстий, нанесенных на диске. Применение модуляции повышает чувствительность схемы преобразования слабых световых потоков. Точность контроля совмещения определяется размерами щелей, диаметром световодов и чувствительностью схемы преобразования, 209781

Предмет изобретения

Устройство для контроля совмещения под. вижной и неподвижной плоскостей, содержащее осветители, механизмы перемещения подвижной плоскости, оптическую систему и индикатор, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и непрерывного контроля совмещаемых плоскостей, оптическая система

10 выполнена в виде трех световодов, неподвижно закрепленных, а на подвижной плоскости нанесены две щели, пропускающие свет от осветителей к световодам, при этом к выходным торцам последних подключена схема пре15 образования световых потоков, выполненная в виде диска с тремя рядами отверстий, нанесенных с разной частотой, и фотоприемника, на выходе которого включены три фильтра, последовательно подключенные к индикатору.

Составитель Т. М. Сердобольскай

Редактор П. А. Вербова Текред А, А. Камышникова Корректоры: Н. И. Быстрова и А. П. Васильева

Заказ 493!11 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2