Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

209942

О П И С А Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Кл. 48b, 13/10

Заявлено 21 VI.1966 (№ 1084511/22-1) с присоединением заявки ¹â€”

МПК С 23с

УД К 621.793.14.002. .51 (088.8) Приоритет—

Опубликовано 26.!.1968. Бюллетень № 5

Дата опубликования описания 14.Ш.1968

Комитет ло делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

С. И. Гриншпун, К. Т. Киршфельд, А. Л. Кокле, А. П Лацйс,"....,. 7.-. и П. Н. Озеров

Авторы изобретения

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которои расположен барабан с деталями, испаритель и электрод тлеющего разряда, откачную систему и бак электрооборудования.

В этом устройстве электрод тлеющего разряда и испаритель не взаимосвязаны, что усложняет конструкцию вакуумной камеры.

Предложенное устройство позволяет упростить конструкцию. Для этого электрод тлеющего разряда расположен под испарителем и служит одновременно поддоном-экраном, На чертеже представлено описываемое устройство.

Устройство состоит из вакуумной камеры 1, крышки 2, каретки 8, которая вместе с барабаном 4 может перекатываться иа транспортную тележку 5 для транспортировки на перезарядку; привода о для вращения в камере барабана во время напыления, защитного экрана 7 у входа патрубка откачной системы, плоскости электрода 8 тлеющего разряда, сменного испарителя 9 периодического действия и пульта управления 10.

Барабан 4 заряжают подготовленными для напаривания деталями и вкатывают с тележки 5 в камеру 1. Затем в камере закрепляют заряженный испаритель периодического действия, крышку камеры закрывают, и начинается

Ю процесс напаривания.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в ко15 торой расположен барабан с кассетами, испаритель, электрод тлеющего разряда, откачную систему и блок электрооборудования, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, элекгрод тлеющего разряда

20 расположен под испарителем и служит одновременно поддоном-экраном.

209942

Редактор В. Н. Торопова

Заказ 482/12 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель Е. Кубасова

Техред Т. П. Курилко

Корректоры: С. П. Усова и Н. И. Быстрова