Датчик давления

Датчик давления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

,,210436

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистическик

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 21.III. 1966 (№ 1063854/26-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 06.1!.1968. Бюллетень № 6

Дата опубликования описания 9.IV.1968

Комитет по делам изобретений и открытиЯ при Совете Мииистров

СССР

8.8) Авторы изобретения

Л. В. Новиков и P. С. Смирнова

Центральный научно-исследовательский институт машиностроения

Заявитель

ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

Известные датчики давления содержат корпус и мембрану с тензометрами.

Предлагаемый датчик давления отличается от известных тем, что в нем тензометры BL. полнены из полупроводниковой пленки и нанесены на мембрану в виде двух концентрических колец. Такое выполнение датчика позволяет повысить его чувствительность.

На чертеже схематически изображена конструкция описываемого датчика давления.

На круглую мембрану 1, жестко закрепленную по контуру, предварительно наносится плазменным методом тонкий слой изоляции 2 из окиси алюминия, который затем шлифуется.

На слой изоляции 2 в вакууме с использованием трафарета методом термического испарегия и конденсации наносится германий концентрическими кольцами около центра мембраны в областях максимальных радиальнь;х напряжений от места заделки мембраны.

В местах пайки выводов наносится серебро.

Под воздействием давления мембрана 1 прогнется и ее деформация преобразуется чензометрами 8 в электрический сигнал.

Датчик давления по данному изобретению может быть использован для статических и динамических измерений давления без приме10 нения усилителя.

Предмет изобретения

Датчик давления, содержащий корпус и мембрану с тензометрами, отличающийся тем, 15 что, с целью повышения чувствительности, тензометры выполнены из полупроводниковой пленки и нанесены на мембрану в виде двух концентрических колец.

210436

Составитель Г. Н. Невская

Редактор П. И. Шлайн Техред A. А. Камышникова Корректоры: М. П. Ромашова и T. Д. Чунаева

Заказ 594/20 Тираж 530 Подписное

Ц1(ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2