Испаритель порошкообразных материалов
Патент 210604
Классы МПК
Испаритель порошкообразных материалов
Иллюстрации
Реферат
О П И С А Н И Е 2Ю604
Союз Советских
Социалистических
Республик
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 09.IX.1963 (№ 953869/23-26) с присоединением заявки ¹
Приори гет
Опубликовано 6.11.1968. Бюллетень № 6
Дата опубликования описания 16.IV.1968
Кл. 48b, 13/12
МПК С 23с
УДК 621.793(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Автор изобретения
К. С. Гельман и В. И. Смирнов
Заявитель
ИСПАРИТЕЛЬ ПОРОШКООБРАЗНЫХ МАТЕРИАЛОВ
Известен испаритель порошкообразных материалов, состоящий из нагревательного элемента, выполненного в виде спирали, внутрь которой вставлен тигель с испаряемым веществом. В таком испа рителе химический состав нспаряемого материала изменяется от одного напыления к другому, что ведет к плохой воспроиз водимости физических свойств пленок, скорость и поверхность испарения с расходом испаряемого материала изменяются, величина загрузки испаряемого материала ограничена.
Предложенный испаритель отличается от известного тем, что для воспроизводимости физических свойств напыляемых плено к, а также для обеспечения независимости скорости и поверхности испарения от расхода испаряемого материала, нагревательный элемент выполнен в виде перфорированной ленты, Кроме того, для равномерной подачи испаряемого материала к нагревательному элементу, механизм подачи представляет с0бою цилиндр с поршнем, На чертеже изображена схема испарителя.
Иопаритель содержит нагревательный элемент 1, выполненный в виде ленты из тугоплавкого материала (тантал, ниобий, молибден и т. д.) с отвер стиями в центральной части, цилиндр 2 для испаряемого материала с по ршнем 8, обеспечивающим равномерную подачу испаряемого материала к нагревательному элементу. Цилиндр с поршнем установлен под нагревательным элементом, а нагревательный элемент расположен между алундовыми кольцами 4. Кроме того, испаритель снабжен приводом 5 для перемещения поршня 8.
Испаритель работает следующим образом.
В цилиндр 2 загружают испаряемое вещество и на нагревательный элемент подают соответствующее напряжение (в зависимости от свойств испаряемого вещества). При этом с поверхности материала, находящейся в постоянном коятакте с нагревательным элементом, происходит непрерывное испарение этого вещества через отверстие в нагревательном
15 элементе.
Предмет изобретения
1. Испаритель порошкообразных материалов, содержащий нагревательный элемент, 20 емкость для испаряемого материала, отличающийся тем, что, с целью обеспечения воспроизводимости физических свойств напыляемых пленок и независимости скорости и поверхности испарения от расхода испаряемого
25 материала, нагревательный элемент выполнен в виде перфорированной ленты.
2. Испа ритель по п. 1, отличающийся тем, что, с целью обеспечения равномерной подачи испаряемого материала к нагревательному
30 элементу, механизм подачи выполнен в виде цилиндра с поршнем.
210604
Составитель Ю. Паткин
Редактор Л. К. Ушакова Техред Л. К. Малова Корректоры: О. Б. Тюрина и Л. В. Наделяева
Заказ 600/15 Тираж 530 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2