Способ нанесения тонких пленок

Способ нанесения тонких пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 2Л 1265

{61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено21.03.66 (21)106671 2/22-l1 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (43) Опубликовано25.05.76 Бюллетень «¹19 (45) Дата опубликования описания 23.09.76

2 (51)»Ч. Ел.

С - 3 С 13/02

Гасударственный ноиитет

Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий (53) УДК 621.703.7 (08R.61 (72) Автор изобретения

1

I 11

1 !

Г. Л. Саксаганский (71} Заявитель (54) СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕ11ОК

Известен способ нанесения тонких пленок, в частности на диэлектрические материаль путем металлизации в вакууме с предварительной очисткой поверхности подложки, например, возбуждением тлеющего разряда в непосредственной близости от очищаемой поверхности. Однако этот процесс недостаточно эффективен и зачастую неосуществим, особенно в высоковакуумных напылительных устBIlàâêàõ, Предложенный способ позволяет повысить эффективность очистки подложки и, следовательно, улучшить качество наносимых покрытий, Для этого поверхность подложки очищают с помощью пучка электромагнитныхх волн, генерируемых, например, оптическим квантовым генератором, Предлагаемый способ "сновал иа,.сп-..;. :— зсвании эффекта фотодес рбции и бес:.еч;.— вает более совершен»иую оч1стку псверхи— сти подложки перед начал" м i!. и 9 нанесения многослойных покрытий, несосоедственно в процессе напыления» повьш.....-". тем самы.. качество напь»ляемых —.ленск.

Ф о р м у л а и з о б р е т е:. :и

Сгоссб нанесения тонких ллет»"к п «-е. метал;тизации в вакуум . с счистко;1 .-»онер«хн=сти подложки, о Tтл и ч а ю !i й; я тем» что» с це!гью /лучшения качес тва металлических п.-.енок, очистку и-верхчсс:и подложки производят пучкох электпсм .:гии-.— ньK всяi!,