Способ получения ферритовых илипленок

Способ получения ферритовых илипленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

2II997

Сойз Советских

) Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 48Ь, 19/00

Заявлено 06Л.1967 (№ 1124533/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 19Л1.1968. Бюллетень № 8

Дата опубликования описания 24.IV.1968

МПК С 23с

УД1:, 539.216 2.002.2 (088.8) Комитет по делам ивобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

Я. М. Беккер и Л. М. Борисенко

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФЕРРИТОВЫХ ИЛИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ

ПЛЕЙОК

Известный способ получения ферритовых или металлических пленок, основанный на переносе поликристаллического вещества на рабочую подложку при помощи химических транспортных реакций, не позволяет получить достаточно однородных пленок, обладающих хорошей адгезией к подложке.

В предложенном способе повышение однородности структуры пленок и улучшение их адгезии к подложке достигнуто тем, что поликристаллическое вещество последовательно переносят на несколько промежуточных подложек, а с последней промежуточной подложки — на рабочую подложку.

Число промежуточных подложек выбирают, исходя из требований к степени однородности пленки, получаемой на рабочей подложке.

Обычно число промежуточных подложек со. ставляет 1 — 3.

Использование промежуточных подложек улучшает также воспроизводимость параметров пленок.

Предмет изобретения

Способ получения ферритовых или металлических пленок, основанный на переносе поликристаллического вещества на рабочую подложку при помощи химических транспортных реакций, отличающийся тем, что, с целью повышения однородности структуры пленок и улучшения их адгезии к подложке, поликристаллическое вещество последовательно переносят на несколько промежуточных подло?KeK, а с последней промежуточной подложки — на рабочую подло?кку.